技术特征：
技术总结
一种弱图案识别方法包含：从晶片上的一组图案获取检验数据；识别所述晶片上的失效图案类型；及将所述失效图案类型的相同图案类型分组成图案群组集。所述弱图案识别方法还包含从分组于第一群组中的第一图案类型的多个变化例子获取图像数据，其中在不同条件下形成所述第一图案类型的所述多个变化例子。所述弱图案识别方法还包含比较从所述第一图案类型的所述例子的共同结构获得的图像以识别所述第一图案类型的部分内的局部差异。此外，所述弱图案识别方法包含识别所述第一图案类型的所述部分内靠近所述第一图案类型的所述部分内的所述局部差异的位置的计量位点。
技术研发人员：A·克罗斯;A·帕克
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2017.12.18
技术公布日：2019.11.01