技术总结
本发明涉及的半导体装置具有:基板;半导体激光器,其设置于基板的上表面,发出激光;波导,其具有第一导电性层和波导层,该第一导电性层设置于基板的上表面,该波导层设置于第一导电性层之上,对激光进行传导;以及掩埋层,其设置于基板的上表面,将半导体激光器和波导包围,在波导的与半导体激光器连接的端部的两侧,通过使掩埋层在波导的波导方向被截断,由此设置使基板从掩埋层露出的露出部,在端部设置第一导电性层在波导方向被截断的截断区域。
技术研发人员:川*和重
受保护的技术使用者:三菱电机株式会社
技术研发日:2017.05.29
技术公布日:2020.01.24