1.一种框架单元，其是在保持被加工物时使用的框架单元，其特征在于，
该框架单元具有：
环状的框架，其具备收纳该被加工物的开口；
电极片，其覆盖该框架的该开口的一部分，具备包含正负电极的电极层；以及
供电单元，其安装有向该电极供电的电池并对从该电池向该电极的供电进行控制，
该框架单元利用静电力对该被加工物进行吸附保持。
2.如权利要求1所述的框架单元，其特征在于，该电极层具备正负电极彼此交错地排列而成的一对梳齿电极。
3.如权利要求1或2所述的框架单元，其特征在于，该电极片设置在外周部被固定于该框架的树脂片上。
4.如权利要求1～3中任一项所述的框架单元，其特征在于，
该电极片构成为相对于该被加工物具有透过性的波长的激光束可透过，
在隔着该电极片对该被加工物照射该激光束时使用该框架单元。
5.一种被加工物的激光加工方法，其是使用权利要求4所述的框架单元的被加工物的加工方法，其特征在于，该加工方法具备下述步骤：
吸附步骤，将该被加工物载置在该框架单元的该电极片上并对该电极供电，利用静电力对该被加工物进行吸附；
框架单元支承步骤，在具有第1面和该第1面相反侧的第2面的板状的支承工作台的该第1面侧对吸附有该被加工物的该框架单元的该电极片侧进行支承，该支承工作台让相对于该被加工物具有透过性的波长的该激光束透过；
激光加工步骤，从该支承工作台的该第2面侧隔着该支承工作台和该电极片向该被加工物照射该激光束，使该被加工物的内部改质，形成改质层；
框架单元拆卸步骤，在实施该激光加工步骤后，从该支承工作台拆下该框架单元；以及
剥离步骤，在该框架单元拆卸步骤后，调整向该电极的供电，将该被加工物从该框架单元的该电极片剥离。