技术特征：
技术总结
本发明设计一种具有周期性的表面电势梯度的材料的制备方法，用于在半导体材料表面形成电势梯度，包括如下步骤：S1，提供一种在离子束辐照下电势会发生变化的半导体材料；S2，提供一种掩模；S3，将掩模固定于半导体材料的顶表面上形成样品；S4，利用离子束辐照样品，以使未被掩模覆盖的半导体材料的顶表面的电势升高或降低。本发明首次将离子束辐照技术应用于制备具有周期性的表面电势梯度的材料，实现了具有周期性的表面电势梯度的材料的大面积制备，过程简单、速度快，成本低廉，具有良好的应用前景；此外，本发明的制备方法仅仅通过改变掩模的形状就可以得到具有任意分布的表面电势梯度的材料，使得该方法复杂性低。
技术研发人员：周玉莹;汪颖;闫隆;胡钧
受保护的技术使用者：中国科学院上海应用物理研究所
技术研发日：2018.04.19
技术公布日：2018.11.06