用于腔室的门装置的制作方法

本发明涉及一种用于腔室的门装置，以及特别是涉及一种用于半导体或各种电子设备的热冲击测试的用于腔室的门装置。

背景技术：

半导体工艺大多在密封腔室中进行，腔室的入口通过门装置打开和关闭。

例如，在半导体工艺中所使用的老化测试室是在对半导体器件进行供电和操作时测试封装的半导体器件的热冲击(应力)的可靠性的设备。

这样的测试室必须在腔室的入口处关闭，以便在处理过程中不受外部环境的影响。

因此，需要开发能够确保足够的密封力并具有打开和关闭操作稳定性的门装置。

技术实现要素：

技术问题：本发明要解决的问题是提供一种用于腔室的门装置，该装置在打开和关闭操作中稳定并具有优良的密封力。

技术方案：为了解决上述问题，根据本发明的一个方面，提供一种用于腔室的门装置，所述门装置包括：一对导轨，设置在腔室的入口侧；支架，沿着一对导轨可移动地设置；门，安装在支架上，以定位在腔室的入口侧和支架之间；第一驱动部件，设置成沿着一对导轨移动支架；及第二驱动部件，设置成相对于支架移动门，以将门按压到入口或者将门与入口分离，其中门通过第一驱动部件定位在入口的前方。

有益效果：如上所述，根据本发明的一个实施例的用于腔室的门装置具有以下效果。

该装置具有这样的结构：门从腔室的外部按压到腔室的入口侧，其具有优良的密封力，并且通过分别执行移动操作到打开和关闭位置以及通过单独的驱动部件按压/分离操作而允许稳定的打开和关闭操作。

附图说明

图1是与本发明的一个实施例有关的用于腔室的门装置的主要部分的透视图。

图2是腔室的正视图。

图3是图1所示的用于腔室的门装置的一些部件的透视图。

图4是图1所示的用于腔室的门装置的俯视图。

图5是图1所示的用于腔室的门装置的仰视图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细描述根据本发明的一个实施例的用于腔室的门装置。

此外，相同或相似的附图标记赋予相同或相应的部件而与附图标记无关，其中将省略重复的解释，并且为了便于解释，可以放大或者减小所示的每个构成部件的尺寸和形状。

图1是根据本发明的一个实施例的用于腔室的门装置的主要部分的透视图，而图2是腔室的正视图。

另外，图3是图1所示的用于腔室的门装置的一些部件的透视图，图4是图1所示的用于腔室的门装置的俯视图，图5是图1所示的用于腔室的门装置的仰视图。

在本文件中，腔室10可以包括用于半导体及各种电子设备的热冲击测试的测试腔室。

例如，腔室可以是老化测试腔室。老化测试腔室是用于使用测试器基板来测试装载在测试板上的半导体器件的腔室。老化测试腔室可以配备有容纳半导体器件的板腔室(或老化腔室)和测试器腔室，在测试器腔室中，容纳有用于向容纳在板腔室中的半导体器件施加测试信号以及然后读取反馈结果信号的测试器基板。

另外，腔室10包括用于腔室的门装置100。腔室10具有入口12，通过入口12，测试基板等进入腔室内或容纳在腔室内的测试基板等取出到外部。此外，入口12设置在腔室10的前表面上。

用于腔室的门装置100包括一对导轨101,102，支架110，门120，第一驱动部件130和第二驱动部件140。

具体地，用于腔室的门装置100包括设置在腔室10的入口12侧处的一对导轨101,102。

此时，一对导轨101,102包括设置在腔室10的前表面11的入口侧上部区域的上导轨101和设置在腔室10的前表面11的入口侧下部区域的下导轨102。

上导轨和下导轨101,102分别沿着腔室10的宽度方向(图2中的前表面11的左和右方向)延伸。而且，上导轨和下导轨101,102中的每一个可具有门120宽度的两倍或更多倍的长度，以密封入口12。

用于腔室的门装置100包括沿着该对导轨可移动地设置的支架110。支架110可以由金属材料和/或树脂材料形成，以具有预定的刚性。例如，支架110可以具有与门120的边缘大致重叠的框架形状，但不限于此。

参照图4和图5，支架120设置有多个滚筒170，每个滚筒170可以沿着导轨行进。

具体而言，参照图4，在上导轨101侧中，支架110上设置有多个滚筒170，所述多个滚筒170设置在上导轨101的上部/下部，以使多个滚筒170可各自行进。

此外，参照图5，在下导轨102侧中，支架110上设置有滚筒170，所述滚筒170安装在下导轨102上，以使其能够行进。

而且，用于腔室的门装置100包括安装在支架120上的门120，以便定位在腔室10的入口12侧与支架110之间。门120执行密封腔室10的入口12的功能。门120的尺寸可以等于或大于入口12的尺寸。

门120安装到支架110以朝向入口12前进或从入口12缩回，使得门120能够被按压到入口12或从入口12分离。

此外，用于腔室的门装置100包括第一驱动部件130，所述第一驱动部件130设置用于沿着该对导轨101,102移动支架120。

第一驱动部件130可以安装在腔室10的前表面上的入口侧上部区域中。另外，第一驱动部件130可以包括马达和滚珠丝杠。

例如，参照图3，第一驱动部件130可以包括正向旋转或反向旋转的第一驱动马达131，连接到第一驱动马达131的旋转轴的滚珠丝杠轴132，以及取决于滚珠丝杠轴132的旋转在滚珠丝杠轴132的长度方向上往复运动的滚珠丝杠螺母133。

滚珠丝杠螺母133安装在支架110上。因此，如果第一驱动马达131沿预定方向(正向旋转或反向旋转)旋转，则滚珠丝杠轴132旋转，固定在滚珠丝杠螺母133上的支架110沿着一对导轨101,102移动。例如，当第一驱动马达131正向旋转时，支架110可以移动到入口12的关闭位置，相反，当第一驱动马达131反向旋转时，支架110可移动到入口12的打开位置(图2中支架的位置)。而且，取决于支架110沿一对导轨101,102的左右滑动运动，门120可移动到入口12的关闭位置和入口12的打开位置。

如图2所示，门120和入口12在入口12的关闭位置彼此重叠，而门120和入口12在打开位置处不重叠，并基于腔室10的前表面11在左侧和右侧并排定位。

另外，用于腔室的门装置100具有第二驱动部件140，所述第二驱动部件140设置成使得门120相对于支架110向前/向后移动，以将门120按压到入口12或将门120从处于通过第一驱动部件130定位在入口120的前方的状态(入口的关闭位置)中与入口120分离，

第二驱动部件140包括正向旋转或者反向旋转的第二驱动马达141和用于传递由第二驱动马达141产生的旋转力的轴143。此时，可以设置多个轴143。

此外，第二驱动部件140可以包括齿轮箱142，所述齿轮箱142用于将由第二驱动马达141产生的旋转力传递到两个不同的输出端口。参照图3，齿轮箱142可配置成使得所述齿轮箱142连接到第二驱动马达141的旋转轴，并且两个轴143分别连接到齿轮箱142。

在该结构中，如果第二驱动马达141旋转，则连接到齿轮箱142的两个轴143可以分别通过齿轮箱142旋转。通过该结构，第二驱动马达141可以将旋转力分别传递到下面将描述的第一和第二圆柱齿轮箱150-1,150-2。

此外，第二驱动部件140包括圆柱齿轮箱150，所述圆柱齿轮箱150用于连接门120和支撑板110，以及通过使用轴143的旋转力使门120相对于支架120向前移动到入口侧和从入口侧向后移动。可以提供多个圆柱齿轮箱150，使得多个圆柱齿轮箱150可以分别安装在门120的多个区域中。多个圆柱齿轮箱150可以具有相同的结构以执行相同的功能。

圆柱齿轮箱150可以包括第一旋转轴，圆柱部件和第二旋转轴。参考图3，圆柱齿轮箱150，例如150-1可以包括：第一旋转轴151，旋转动力输入到第一旋转轴151；圆柱部件152所通过所述第一旋转轴151的旋转动力向前/向后移动；及第二旋转轴153凸出在不同于第一旋转轴151的方向上，并通过第一旋转轴151的旋转动力旋转。此外，可以在每个旋转轴上安装耦合器。

例如，圆柱齿轮箱150的圆柱部件152可以固定在支架110上，圆柱齿轮箱150的安装凸缘部可以固定在门120上。

此外，圆柱齿轮箱150可以包括第一至第四圆柱齿轮箱150-1,150-2,150-3,150-4，所述第一至第四圆柱齿轮箱150-1,150-2,150-3,150-4安装在门120的上部区域左/右侧及下部区域左/右侧。

此时，如上所述，设置在门120的上部区域左侧或右侧的第一和第二圆柱齿轮箱150-1,150-2可以各自通过轴143和齿轮箱142连接到第二驱动马达141。

而且，设置在门120的下部区域左侧的第三圆柱齿轮箱150-3可以经由轴143连接到第一圆柱齿轮箱150-1。此外，设置在门120的下部右侧的第四圆筒齿轮箱150-4可以经由轴143连接到第二圆筒齿轮箱150-2。另外，第三和第四圆柱齿轮箱150-3,150-4可以通过轴连接。

此时，如果第二驱动马达141沿预定方向旋转(正向旋转/反向旋转)，则第二驱动马达141的旋转力被传递到每个圆柱齿轮箱150-1,150-2,150-2,150-3,150-4，且第一至第四圆柱齿轮箱150-1,150-2,150-3,150-4设置成同时(向前或向后)移动门。

此外，在支架和门之间还可以设置一个或多个滚珠衬套161。

在上述结构中，通过第一驱动部件130的操作，门120和支架120一起移动到入口12的关闭位置，然后门120通过第二驱动部件140的操作向前移动到入口12侧，以按压入口12。

可选地，通过第二驱动部件140的操作，门120从入口12缩回以与入口12分离，并且通过第一驱动部件130的操作，门120和支架120一起移动到入口12的打开位置。

另一方面，未说明的附图标记160表示电缆托盘，181表示用于感测支架的位置的第一限位开关，182表示用于感测门的位置的第二限位开关。

以上所述的本发明的优选实施例是为了示例性目的而公开的，其中，具有本发明的普通知识的本领域技术人员可以在本发明的构思和范围内进行各种修改，变型和添加，而这样的修改，变型及添加应该被认为落入以下权利要求的范围内。

附图标记的说明

10腔室

12入口

100用于腔室的门装置

101,102导轨

110支架

120门

130第一驱动部件

140第二驱动部件

150圆柱齿轮箱

160电缆托盘

170滚筒

181,182限位开关