衬底升降机构和包含衬底升降机构的反应器的制作方法

技术特征：

技术总结
公开一种适合用于反应器中的衬底支撑组合件，所述反应器包含共同处理和衬底转移区。所述衬底支撑组合件包含基座和一个或多个升降销，所述一个或多个升降销可用于将衬底降低到所述基座的表面上以及使所述衬底从所述表面升高，从而在不升高或降低所述基座的情况下允许所述衬底从所述处理区转移。

技术研发人员：E·希尔;J·迪桑托
受保护的技术使用者：ASMIP控股有限公司
技术研发日：2018.06.28
技术公布日：2019.02.26