技术特征：
技术总结
提供静电卡盘，该静电卡盘抑制了在带与保持面之间产生气泡，防止带灼烧。静电卡盘(4)利用保持面(41)对在下表面粘贴有带(T)的晶片(W)进行保持，该静电卡盘(4)包含：多个细孔(40)，它们形成于保持面，与吸引源(43)连通；凹凸(D)，其形成在保持面上，与多个细孔连接；以及电极(44)，其配设在该静电卡盘(4)的内部。在使细孔与吸引源连通而对晶片进行吸引保持时，凹凸成为保持面上的吸引路。
技术研发人员：千东谦太;饭田英一;山田智広;西田吉辉;高桥宏行;藤谷凉子;横尾晋
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：2018.07.09
技术公布日：2019.01.22