1.一种偏脊结构带有焊线图形的半导体激光器的制备方法,该半导体激光器的衬底及外延层(1)从下至上依次包括衬底、下缓冲层、下限制层、下波导层、量子阱层、上波导层、上限制层、上缓冲层及欧姆接触层,其特征在于,包括如下步骤:
a)利用光刻掩膜版通过曝光、显影及腐蚀的工序在衬底及外延层(1)上刻蚀出两个沟槽ⅰ(5),两个沟槽ⅰ(5)之间形成凸起的脊型结构(4),两个沟槽ⅰ(5)的外侧分别形成肩部ⅰ(2)和肩部ⅱ(3),所述肩部ⅱ(3)的宽度大于肩部ⅰ(2)的宽度;
b)利用光刻掩膜版通过曝光、显影及腐蚀的工序在肩部ⅱ(3)中刻蚀出沟槽ⅱ(8),沟槽ⅱ(8)将肩部ⅱ(3)分割成左右两部分,位于内侧的分割后的肩部ⅱ(3)的宽度与脊型结构(4)的宽度相匹配;
c)在肩部ⅰ(2)、脊型结构(4)以及肩部ⅱ(3)的外表面生长介质膜ⅰ(6),在脊型结构(4)上端面的介质膜ⅰ(6)上通过光刻机腐蚀工艺制备出电流注入窗口(10);
d)在介质膜ⅰ(6)的表面生长p面电极(7);
e)在沟槽ⅱ(8)两侧的肩部ⅱ(3)的上端面上制备金丝焊线位置图形(9),将金丝焊线位置图形(9)作为金丝打线的位置;
f)在p面电极(7)上表面上除金丝焊线位置图形(9)之外的区域生长一层介质膜ⅱ(11)。
2.根据权利要求1所述的偏脊结构带有焊线图形的半导体激光器的制备方法,其特征在于:步骤a)中的腐蚀工艺为湿法腐蚀或干法刻蚀。
3.根据权利要求1所述的偏脊结构带有焊线图形的半导体激光器的制备方法,其特征在于:步骤c)中介质膜ⅰ(6)的厚度为1000埃-2000埃。
4.根据权利要求1所述的偏脊结构带有焊线图形的半导体激光器的制备方法,其特征在于:步骤a)中两个沟槽ⅰ(5)的宽度及深度均相等。
5.根据权利要求1所述的偏脊结构带有焊线图形的半导体激光器的制备方法,其特征在于:沟槽ⅱ(8)与脊型结构(4)之间的间距与肩部ⅰ(2)的宽度相等,沟槽ⅱ(8)的宽度与沟槽ⅰ(5)的宽度差小于等于30%。
6.根据权利要求1所述的偏脊结构带有焊线图形的半导体激光器的制备方法,其特征在于:步骤e)中金丝焊线位置图形(9)的宽度大于90um。
7.根据权利要求1所述的偏脊结构带有焊线图形的半导体激光器的制备方法,其特征在于:步骤f)中介质膜ⅱ(11)由