超精密芯片制造流水线的制作方法

文档序号:16190419发布日期:2018-12-08 05:37阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及工业自动化装备,更具体地说,涉及一种用于芯片的自动化输送和存储装置。超精密芯片制造流水线,包括:用于输出芯片体的汇合轨道、用于接纳芯片体的接纳输送线、用于整理并搬运芯片体的旋转机械手、用于对芯片体的进行标签印刷的印刷机构、用于对芯片体的位置进行校正的摆正机构、用于输送芯片体的打标输送线、用于推送芯片体的单向机械手、用于对芯片体的侧面进行激光打标作业的激光打标机构;所述接纳输送线和打标输送线的输送方向相互垂直,所述接纳输送线和打标输送线连接的部位设置盖板和所述单向机械手,所述激光打标机构位于所述打标输送线的侧边。本发明超精密芯片制造流水线,用于实现芯片的自动化输送和制造。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:温州市科泓机器人科技有限公司
技术研发日:2018.09.01
技术公布日:2018.12.07
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