一种母板及其检测方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种母板及其检测方法。

背景技术：

随着显示技术的发展，人们对显示面板的显示质量的要求越来越高，对阵列基板的设计也越来越精细化，其中，阵列基板上的薄膜晶体管的导通能力直接影响着显示面板的数据传输的准确性。

膜层与膜层之间的界面品质直接影响电子导通的能力，从而影响传输电流的大小，尤其是在薄膜晶体管中有源层与源漏电极之间界面膜层的品质直接影响着薄膜晶体管的导通能力，进而影响薄膜晶体管处于开态时的电流大小，从而影响显示面板的数据传输。但是直接对有源层与源漏电极之间的界面品质进行检测且不对膜层产生破坏的难度较大，且现有技术中，并未对有源层与源漏电极之间的界面品质进行有效的监控。

因此，如何对有源层与源漏电极之间的界面品质进行监控，提高显示面板的质量是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本发明提供一种母板及其检测方法，用以解决现有技术中未对有源层与源漏电极之间的界面品质进行有效的监控的问题。

本发明实施例提供了一种母板，包括基板，位于所述基板上的多个显示区域，以及位于所述显示区域之间的非显示区域，所述显示区域包括用于控制像素显示的薄膜晶体管，以及位于所述非显示区域的至少一个检测元件；

所述检测元件包括：与所述薄膜晶体管的源漏电极同层设置的第一电极和第二电极，与所述薄膜晶体管的有源层同层设置的第三电极，所述第一电极与所述第三电极存在交叠区域，所述第二电极与所述第三电极存在交叠区域，且所述第一电极与所述第二电极不交叠。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板中，所述检测元件还包括：第一检测电极和第二检测电极，所述第一检测电极和所述第二检测电极通过引线分别与所述第一电极和所述第二电极相连。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板中，所述非显示区域至少包括三个所述检测元件：第一检测元件、第二检测元件和第三检测元件，所有所述检测元件中所述第一电极与所述第三电极的交叠面积，所述第二电极与所述第三电极的交叠面积均相等；

所述第一检测元件与所述第二检测元件中的所述第一检测电极的面积与所述第二检测电极的面积之和，以及所述引线的面积均相等，所述第二检测元件中所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的面积与所述第一检测元件中所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的面积不相等；

所述第三检测元件中所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的面积与所述第一检测元件中所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的面积相等，所述第三检测元件中所述引线的面积与所述第一检测元件中所述引线的面积不相等，所述第三检测元件中所述第一检测电极和所述第二检测电极的面积之和与所述第一检测元件中所述第一检测电极和所述第二检测电极的面积之和不相等。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板中，在所有所述检测元件中，所述引线、所述第一检测电极、所述第二检测电极、所述第一电极和所述第二电极均同层设置。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板中，各所述检测元件中的所述引线的宽度相等，所述第三检测元件中的所述引线的长度与所述第一检测元件中所述引线长度不相等。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板中，所述第三检测元件中的所述第一检测电极和所述第二检测电极的面积之和与所述第一检测元件中的所述第一检测电极和所述第二检测电极的面积之和不相等。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板中，各所述检测元件中所述第三电极的宽度相同；

所述第二检测元件中所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的长度与所述第一检测元件中所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的长度不相等。

相应地，本发明实施例还提供了一种母板的检测，在所述检测元件包括所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极时，所述检测方法包括：检测所述非显示区域内的所述第一电极与所述第二电极之间的第一电阻值；

根据所述第一电阻值，所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的电阻计算所述第一电极和所述第二电极与所述第三电极之间的接触电阻。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板检测方法中，在所述检测元件包括所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、所述第一检测电、所述第二检测电极和所述引线时，所述检测方法包括：

检测所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的第二电阻值；

根据所述第二电阻值，所述第一检测电极的电阻，所述第二检测电极的电阻，所述引线的电阻，所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极未交叠部分的电阻值计算所述第一电极和所述第二电极与所述第三电极之间的接触电阻。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述母板检测方法中，在所述非显示区域包括：所述第一检测元件、所述第二检测元件和所述第三检测元件时，所述检测方法包括：

检测所述第一检测元件中的所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的第三电阻值，所述第二检测元件中所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的第四电阻值，所述第三检测元件中所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的第五电阻值；

根据所述第三电阻值、所述第四电阻值和所述第五电阻值计算所述第一电极和所述第二电极与所述第三电极之间的接触电阻。

本发明有益效果如下：

本发明实施例提供了一种母板及其检测方法，该母板，包括基板，位于所述基板上的多个显示区域，以及位于所述显示区域之间的非显示区域，所述显示区域包括用于控制像素显示的薄膜晶体管，包括：位于所述非显示区域的至少一个检测元件；所述检测元件包括：与所述薄膜晶体管的源漏电极同层设置的第一电极和第二电极，与所述薄膜晶体管的有源层同层设置的第三电极，所述第一电极与所述第三电极存在交叠区域，所述第二电极与所述第三电极存在交叠区域，且所述第一电极与所述第二电极不交叠。通过在非显示区域内设置与有源层和源漏电极等同的检测元件，通过对非显示区域内的第一电极或第二电极与第三电极之间的接触电阻进行检测，从而反映薄膜晶体管内的源漏电极与有源层之间的界面的品质，实现对源漏电极与有源层之间的界面的品质的监控，从而提高显示面板的质量。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种母板的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的检测元件的结构示意图之一；

图3为本发明实施例提供的检测元件的结构示意图之二；

图4为本发明实施例提供的检测元件的结构示意图之三。

具体实施方式

针对现有技术中的未能有效的对薄膜晶体管的源漏电极与有源层之间的界面品质进行监控的问题，本发明实施例提供了一种母板及其检测方法。为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

附图中各部件的形状和大小不反应真实比例，目的只是示意说明本发明内容。

具体地，本发明提供一种母板，如图1和图2所示，包括基板1，位于基板1上的多个显示区域2，以及位于显示区域2之间的非显示区域，显示区域2包括用于控制像素显示的薄膜晶体管3，以及位于非显示区域的至少一个检测元件4；

检测元件4包括：与薄膜晶体管3的源漏电极同层设置的第一电极41和第二电极42，与薄膜晶体管的有源层同层设置的第三电极43，第一电极41与第三电极43存在交叠，第二电极42与第三电极43存在交叠，且第一电极41与第二电极42不交叠。

需要说明的是，在本发明实施例提供的母板中，图1中是以各检测元件位于不同的两个显示区域之间的非显示区域处，当然，各检测元件可以按规则的方式或不规则的方式分别在非显示区域，其中该非显示区域指的并不是显示面板的边框区域，而是在制作完显示面板的结构，对母板进行切割，该检测元件位于被切割掉的区域处。

具体地，在本发明实施例提供的母板中，该检测元件在制备显示面板的源漏电极和有源层的同时形成，并在制备完源漏电极和有源层后未制备其他膜层之前，对位于显示区域的检测元件中第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻进行测量，通过对非显示区域第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻来表征显示区域内的源漏电极与有源层之间的接触电阻，从而得出源漏电极与有源层的界面品质，通过该界面品质的监测可以及时调整工艺，从而提高显示面板的质量。

其中，对第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻进行测量是通过电学特性测量机进行测量，将电学特性测量机的两个探针分别扎到第一电极和第二电极上，测量第一电极与第二电极之间的电阻值，并且第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的电阻是可以通过其所占面积等参数得出的，利用测量到的第一电极与第二电极之间的电阻值减去第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的电阻即可得出第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻，通过该接触电阻来表征显示区域内薄膜晶体管的源漏电极与有源层之间的接触电阻，从而避免对薄膜晶体管的膜层产生破坏。

本发明实施例提供了一种母板，该母板，包括基板，位于基板上的多个显示区域，以及位于显示区域之间的非显示区域，显示区域包括用于控制像素显示的薄膜晶体管，包括：位于非显示区域的至少一个检测元件；检测元件包括：与薄膜晶体管的源漏电极同层设置的第一电极和第二电极，与薄膜晶体管的有源层同层设置的第三电极，第一电极与第三电极存在交叠区域，第二电极与第三电极存在交叠区域，且第一电极与第二电极不交叠。通过在非显示区域内设置有与有源层和源漏电极等同的检测元件，通过对非显示区域内的第一电极或第二电极与第三电极之间的接触电阻进行检测，从而反映薄膜晶体管内的源漏电极与有源层之间的界面的品质，实现对源漏电极与有源层之间的界面的品质的监控，从而提高显示面板的质量。

可选地，在本发明实施例提供的母板中，如图3所示，检测元件还包括：第一检测电极45和第二检测电极46，第一检测电极45和第二检测电极46通过引线44分别与第一电极41和第二电极42相连。

其中，在该检测元件包括第一电极、第二电极、第三电极、第一检测电极、第二检测电极和引线时，可以将电学特性测量机的两个探针分别扎进第一检测电极和第二检测电极，检测第一检测电极和第二检测电极之间的电阻值，利用该电阻值减去已知的第一检测电极、第二检测电极、引线以及第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的电阻，从而得出第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻。

具体地，在本发明实施例提供的母板中，如未设置第一检测电极、第二检测电极和引线，在利用电学特性测量机进行检测时，需要将该电学特性测量机的探针扎进第一电极和第二电极中进行测量，这样就会破坏第一电极和第二电极膜层，膜层的破坏会影响检测结果的准确性，因此通过设置第一检测电极和第二检测电极的方式，使探针直接与第一检测电极和第二检测电极相接触，而不会对第一电极和第二电极的完整性产生影响，提高了测量数据的准确性。

可选地，在本发明实施例提供的母板中，如图4所示，在非显示区域至少包括三个检测元件：第一检测元件a、第二检测元件b和第三检测元件c，所有检测元件中第一电极41与第三电极43的交叠面积，第二电极42与第三电极43的交叠面积均相等；

第一检测元件a与第二检测元件b的第一检测电极45的面积与第二检测电极46的面积之和，以及引线44的面积均相等，第二检测元件b中第三电极43与第一电极41和第二电极42未交叠部分的面积与第一检测元件a中第三电极43与第一电极41和第二电极42未交叠部分的面积不相等；

第三检测元件c中第三电极43与第一电极41和第二电极42未交叠部分的面积与第一检测元件a中第三电极43与第一电极41和第二电极42未交叠部分的面积相等，第三检测元件c中引线44的面积与第一检测元件a中引线44的面积不相等，第三检测元件c中第一检测电极45和第二检测电极46的电阻之和与第一检测元件a中第一检测电极45与第二检测电极46的面积之和不相等。

具体地，在本发明实施例提供的母板中，以图4所示的三个检测元件：第一检测元件a、第二检测元件b和第二检测元件c为例，其中第一检测元件a的包括两条引线44(以两条引线的电阻相等为例)，每条引线44的电阻为rl2，第一检测电极45和第二检测电极46的电阻均为rs(以第一检测电极45和第二检测电极46的面积相等为例)，第一电极41和第二电极42与第三电极43之间的接触电阻均为rc，第三电极43未与第一电极41和第二电极42的交叠的部分的电阻为rl1，将电学特性测量机的两个探针分别与第一检测电极45和第二检测电极46接触，得出电阻值r1，即r1＝2rl2+2rs+2rc+rl1。同理，由于第二检测元件b中第三电极43未与第一电极41和第二电极42的交叠的部分的电阻是第一检测元件a中第三电极43未与第一电极41和第二电极42的交叠的部分的电阻的二倍，因此第二检测元件b中第三电极43未与第一电极41和第二电极42的交叠的部分的电阻是2rl1，电学特性测量机检测的阻值为r2，即r2＝2rl2+2rs+2rc+2rl1。由于第三检测元件c的引线44的电阻是第一检测元件a的引线44电阻的2倍，第一检测电极45和第二检测电极46的电阻之和是第一检测元件a的第一检测电极45和第二检测电极46的电阻之和的2倍，电学特性测量机检测的阻值为r3，即r3＝4rl2+4rs+2rc+rl1。

综上，可以得出三个等式：

r1＝2rl2+2rs+2rc+rl1；

r2＝2rl2+2rs+2rc+2rl1；

r3＝4rl2+4rs+2rc+rl1。

根据上述三个等式可以计算出第一电极或第二电极与第三电极的接触电阻rc＝1/2(3r1-r2-r3)，即通过分别检测三个检测元件中第一检测电极与第二检测电极之间的电阻值，可以避免探针与第三电极直接相接触产生的接触电阻对检测结果产生影响，使得第一电极或第二电极与第三电极的接触电阻仅与电学特性测量机检测到的阻值r1、r2和r3相关，便于第一电极或第二电极与第三电极的接触电阻的计算与统计。

具体地，在上述实施例中第二检测元件中的第三电极与第一电极和第二电极之间未交叠部分的面积是第一检测元件中第三电极与第一电极和第二电极之间未交叠部分的面积的2倍；第三检测元件的引线面积是第一检测元件的引线面积的2倍；第三检测元件的第一检测电极与第二检测电极的面积之和是第一检测元件中第一检测电极与第二检测电极的面积之和的2倍；均是以2倍的关系为例进行说明，当然也可以是其他的倍数关系，如3倍、4倍、5倍等，在此不作具体限定。

需要说明的是，在本发明实施例提供的母板中，在非显示区域可以包括多个检测元件，并不仅限于3个检测元件，通过上述方式对多个检测元件进行检测，以增加检测数据的准确性，其中检测元件的个数根据实际情况进行选择，在此不作具体限定。

可选地，在本发明实施例提供的母板中，在所有检测元件中，引线、第一检测电极、第二检测电极、第一电极和第二电极均同层设置。

具体地，在本发明实施例提供的母板中，在检测元件中，引线、第一检测电极、第二检测电极、第一电极和第二电极均为同层设置，是在制备显示区域内的源漏电极的同时制备而成的，可以采用同一道掩膜版进行制备，简化了制备工艺。

可选地，在本发明实施例提供的母板中，各检测元件中的引线的宽度相等，第三检测元件中的引线的长度与第一检测元件中引线长度不相等。

具体地，在本发明实施例提供的母板中，例如为了保证第三检测元件中引线的电阻是第一检测元件中引线的电阻的2倍，可以将第一检测元件和第三检测元件的引线的线宽设置为相同，通过调节引线的长度来达到调节引线的电阻的目的，即将第三检测元件的引线长度设置为第一检测元件的引线长度的2倍。

需要说明的是，上述引线长度指的是每个检测元件中引线的总长度，其中每个检测元件中包括两条引线，该两条引线的长度可以是相等的，也可以是不相等的，只要满足总长度(总电阻值)的要求即可，其具体是否相等在此不作具体限定。

可选地，在本发明实施例提供的母板中，第三检测元件中的第一检测电极和第二检测电极的面积之和与第一检测元件中的第一检测电极和第二检测电极的面积之和不相等。

具体地，在本发明实施例提供的母板中，例如为了保证第三检测元件的第一检测电极和第二检测电极的电阻之和是第一检测元件的第一检测电极和第二检测电极的电阻之和的2倍，由于各检测元件的检测电极的材料是相等的，且较佳的是通过一道工艺制备而成的，其厚度也是相等的，因此需要通过调节第二检测元件中的第一检测电极和第二检测电极的面积之和来调节电阻的阻值以满足要求。

可选地，在本发明实施例提供的母板中，各检测元件中第三电极的宽度相同；

第二检测元件中第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的长度与第一检测元件中第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的长度不相等。

具体地，在本发明实施例提供的母板中，例如为了消除第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的阻值产生的影响，在各检测元件中第三电极的宽度相同时，需要将第二检测元件中第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的长度设置为第一检测元件中第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的长度的2倍。

由上述可知，第一检测元件和第二检测元件的参数设置可以排除第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的阻值产生的影响，第一检测元件和第三检测元件的组合可以排除第一检测电极和第二检测电极的阻值产生的影响，而三个检测元件组合在一起可以排除第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的阻值产生的影响，第一检测电极和第二检测电极的阻值产生的影响，和引线阻值产生的影响，使得第一电极或第二电极与第三电极的接触电阻仅与电学特性测量机检测到的阻值相关。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种母板的检测方法，在检测元件包括第一电极、第二电极和第三电极时，检测方法包括：检测非显示区域内的第一电极与第二电极之间的第一电阻值；

根据第一电阻值，第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的电阻计算第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻。

可选地，在本发明实施例提供的母板检测方法中，在检测元件包括第一电极、第二电极、第三电极、第一检测电、第二检测电极和引线时，检测方法包括：

检测第一检测电极与第二检测电极之间的第二电阻值；

根据第二电阻值，第一检测电极的电阻，第二检测电极的电阻，引线的电阻，第三电极与第一电极和第二电极未交叠部分的电阻值计算第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻。

可选地，在本发明实施例提供的母板检测方法中，在非显示区域包括：第一检测元件、第二检测元件和第三检测元件时，检测方法包括：

检测第一检测元件中的第一检测电极与第二检测电极之间的第三电阻值，第二检测元件中第一检测电极与第二检测电极之间的第四电阻值，第三检测元件中第一检测电极与第二检测电极之间的第五电阻值；

根据第三电阻值、第四电阻值和第五电阻值计算第一电极和第二电极与第三电极之间的接触电阻。

具体地，本发明实施例提供的母板检测方法的检测过程及参数设置在本发明提供的母板的实施例中已经做出了详尽的阐述，本发明实施例的母板检测方法的实施可以参见本发明实施例提供的母板的实施例进行实施，在此不再赘述。

本发明实施例提供了一种母板及其检测方法，该母板，包括基板，位于所述基板上的多个显示区域，以及位于所述显示区域之间的非显示区域，所述显示区域包括用于控制像素显示的薄膜晶体管，包括：位于所述非显示区域的至少一个检测元件；所述检测元件包括：与所述薄膜晶体管的源漏电极同层设置的第一电极和第二电极，与所述薄膜晶体管的有源层同层设置的第三电极，所述第一电极与所述第三电极存在交叠区域，所述第二电极与所述第三电极存在交叠区域，且所述第一电极与所述第二电极不交叠。通过在非显示区域内设置与有源层和源漏电极等同的检测元件，通过对非显示区域内的第一电极或第二电极与第三电极之间的接触电阻进行检测，从而反映薄膜晶体管内的源漏电极与有源层之间的界面的品质，实现对源漏电极与有源层之间的界面的品质的监控，从而提高显示面板的质量。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。