技术特征：
技术总结
本申请公开一种多铁隧道结忆阻器及其制作方法，所述多铁隧道结忆阻器包括衬底以及在其上进行堆叠的第一电极、势垒层、第二电极和第一接触电极，其中，第一电极为条状电极，第一接触电极为带状电极，第一接触电极的延伸方向与第一电极的延伸方向垂直，构成crossbar结构；所述势垒层为铁电材料，所述第一电极和第二电极是铁磁材料，铁电材料和铁磁材料形成多铁隧道结。本申请提供的多铁隧道结忆阻器不仅具有忆阻特性，而且由于多铁隧道结中有磁电耦合效应，通过改变第二电极和第一电极的磁矩相对取向，可以调制铁电翻转动力学行为及相关的忆阻塑性特征，使得多铁隧道结忆阻器还具有塑性特征可调的功能。
技术研发人员：黄伟川;罗振;殷月伟;李晓光
受保护的技术使用者：中国科学技术大学
技术研发日：2018.09.26
技术公布日：2019.02.15