板状物的分割装置的制作方法

文档序号:17474913发布日期:2019-04-20 06:03阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供板状物的分割装置,能够抑制在沿着分割预定线对板状物进行分割时产生碎裂。分割装置沿着分割预定线对安装于环状框架的保护带的上表面上所粘贴的板状物进行分割。分割装置具有:框架保持单元,其对环状框架进行保持;以及分割单元,其对板状物的分割预定线的附近进行按压,将板状物沿着分割预定线分割成芯片。分割单元具有:保持部,其从板状物的上表面和下表面这两个面侧对板状物的要割断的分割预定线附近进行保持;以及按压部,其对板状物的与被保持部保持的芯片隔着要割断的分割预定线而相邻的芯片进行按压而沿着分割预定线进行分割。

技术研发人员:C·米哈伊;金冈和树;高原拓士;平手诚
受保护的技术使用者:株式会社迪思科
技术研发日:2018.10.08
技术公布日:2019.04.19
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