一种太能电池的生产系统的制作方法

本发明属于太能电池技术领域，涉及一种太能电池的生产系统。

背景技术：

太能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片，它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。太阳电池是通过光电效应或光化学效应直接把光能转化成电能的装置。太阳电池生产工艺流程为：硅片清洗制绒→扩散→刻蚀→去磷清洗→镀膜→丝网印刷→烧结→检测分级。

经检索，如中国专利文献公开了一种太阳能硅电池片生产系统【申请号：201210213828.6；公开号：cn103515474a】。这种太阳能硅电池片生产系统，包括烘干装置和检测装置，烘干装置包括烘干机架，检测装置包括检测机架，其特征在于：在烘干装置与检测装置之间设置防尘罩，防尘罩设置在烘干机架和检测机架上。

该专利中公开的生产系统虽然在输送过程中可避免灰尘落入硅片上，但是，该生产系统的结构过于简单，无法连续不间断生产，生产速度慢，因此，设计出一种太能电池的生产系统是很有必要的。

技术实现要素：

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种太能电池的生产系统，该生产系统具有生产速度快的特点。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种太能电池的生产系统，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有清洗装置、制绒装置、扩散装置、刻蚀装置、去psg装置、pecvd装置、浆料配制装置、印刷装置、钝化处理装置和烧结装置。

所述浆料配制装置包括工作台，工作台固定在底座上，工作台上固定有配制箱，配制箱上部具有进料口，进料口处设置有电磁阀一，配制箱下部具有出料口，出料口处设置有电磁阀二，工作台上固定有立柱，立柱上设置有升降座，且升降座位于配制箱正上方，升降座与一能使其上下移动的驱动结构相连，升降座和连接杆上端相连，连接杆下端伸入到配制箱内与安装板相连，安装板上设置有搅拌机构，搅拌机构包括主搅拌轴、副搅拌轴一、副搅拌轴二、驱动电机、传动轮、支架、导向条、导块和辅助条，驱动电机固定在安装板上，驱动电机的输出轴竖直向上，传动轮固定在驱动电机的输出轴端部，主搅拌轴、副搅拌轴一和副搅拌轴二分别竖直设置在安装板上，且副搅拌轴一和副搅拌轴二对称布置于主搅拌轴两侧，主搅拌轴上端固定有主齿轮，且主齿轮与传动轮相啮合，主搅拌轴下端固定有螺旋正向叶片，副搅拌轴一的上端固定有从齿轮一，且从齿轮一与主齿轮相啮合，副搅拌轴一的下端固定有螺旋反向叶片一，副搅拌轴二的上端固定有从齿轮二，且从齿轮二与主齿轮相啮合，副搅拌轴二的下端固定有螺旋反向叶片二，支架固定在安装板上，导块固定在支架上，导向条滑动设置在导块上，辅助条水平固定在导向条上，辅助条一端固定有推送板一，且推送板一呈竖直布置，辅助条另一端固定有推送板二，且推送板二呈竖直布置，辅助条一侧具有齿牙部一，辅助条另一侧具有齿牙部二，副搅拌轴一上还具有半齿轮一，且半齿轮一能与齿牙部一相啮合，副搅拌轴二上还具有半齿轮二，且半齿轮二能与齿牙部二相啮合。

浆料配制装置的工作原理如下：将各类原料放入到配制箱中，控制驱动电机带动传动轮转动，传动轮带动主齿轮转动，主齿轮带动主搅拌轴转动，主搅拌轴带动螺旋正向叶片转动，同时，主齿轮带动从齿轮一和从齿轮二转动，从齿轮一带动副搅拌轴一转动，副搅拌轴一带动螺旋反向叶片一，从齿轮二带动副搅拌轴二转动，副搅拌轴二带动螺旋反向叶片二，螺旋正向叶片、螺旋反向叶片一和螺旋反向叶片二对配制箱内的原料进行搅拌；与此同时，半齿轮一与齿牙部一相啮合，使辅助条向左移动，移动到最左端后，半齿轮二与齿牙部二相啮合，使辅助条向右移动，可使辅助条左右移动，辅助条使推送板一和推送板二左右移动，推送板一和推送板二将配制箱内的原料反复推送到配制箱中部，也可通过驱动结构带动升降座上下移动，升降座通过连接杆带动安装板上下移动，从而可快速将整个配制箱各处的原料搅拌均匀，配制快速。

所述驱动结构包括气缸、导轨和滑块，导轨竖直固定在立柱上，滑块设置在导轨上，气缸固定在立柱上，气缸的活塞杆竖直向上，气缸的活塞杆端部和滑块相连，升降座通过连接架和滑块相连。

当需要使升降座上下移动时，控制气缸的活塞杆上下移动，气缸的活塞杆带动滑块沿着导轨上下移动，滑块带动升降座上下移动，从而可使升降座上下移动。

所述推送板一和推送板二的截面均呈弧形。

所述配制箱侧部还开设有观察口，观察口处设置有透明的观察板。

采用以上结构，通过观察板可对配制箱内的异常进行察看。

所述观察板为有机玻璃板。

所述立柱上还具有指示组件，指示组件包括指示杆和指针，指示杆竖直固定在立柱上，指示杆上具有刻度线，指针固定在滑块上，且指针朝向指示杆。

采用以上结构，通过指针随着滑块上下移动，指针朝向指示杆，从而可方便知道安装板所处的高度位置，指示直观。

所述推送板一上还具有若干破碎刀一，且破碎刀一的截面为三角形，推送板二上还具有若干破碎刀二，且破碎刀二的截面为三角形。

采用以上结构，通过破碎刀一和破碎刀二的作用，在推送板一和推送板二左右移动时，可对原料进行破碎。

所述安装板上还具有辅助结构，辅助结构包括辅助筒一、辅助筒二、联动绳一、联动绳二、导向轮一和导向轮二，导向轮一和导向轮二分别固定在安装板上，辅助筒一套设在副搅拌轴一上，辅助筒一的上端通过弹簧一和安装板相连，辅助筒一的侧部开设有若干料孔一，联动绳一的一端和辅助筒一相连，联动绳一的另一端绕过导向轮一与辅助条一端相连，辅助筒二套设在副搅拌轴二上，辅助筒二的上端通过弹簧二和安装板相连，辅助筒二的侧部开设有若干料孔二，联动绳二的一端和辅助筒二相连，联动绳二的另一端绕过导向轮二与辅助条二端相连。

采用以上结构，辅助条向左移动时，在联动绳一和联动绳二的作用下并配合弹簧一和弹簧二，使辅助筒一向下移动，辅助筒二向上移动，辅助筒一可对螺旋反向叶片一进行辅助导流，而辅助条向右移动时，在联动绳一和联动绳二的作用下并配合弹簧一和弹簧二，使辅助筒一向上移动，辅助筒二向下移动，辅助筒二可对螺旋反向叶片二进行辅助导流，辅助效果好。

所述辅助结构还包括导柱一、导柱二、导环一和导环二，导环一和导环二分别固定在安装板上，导柱一的上端滑动设置在导环一内，导柱一的下端和辅助筒一相连，导柱二的上端滑动设置在导环二内，导柱二的下端和辅助筒二相连。

采用以上结构，通过导柱一、导柱二、导环一和导环二的作用，可对辅助筒一和辅助筒二上下移动进行导向。

所述pecvd装置包括机座，机座固定在底座上，机座上固定有箱体，箱体内设置有内部具有镀膜腔的双层石英管，双层石英管内固定有感应线圈，双层石英管一端上具有取放口，双层石英管上设置有能将取放口封闭住的盖板，盖板和进气管一端相连通，进气管另一端与送气混合机构相连，进气管上设置有电磁阀三，双层石英管另一端和排气管一端相连通，排气管另一端与真空机构相连，排气管上设置有电磁阀四，送气混合机构包括转动轴、螺旋管一、螺旋管二、送气引管一、送气引管二和具有空腔的混合桶，混合桶通过支撑脚水平固定在机座上，转动轴水平转动设置在混合桶内，转动轴端部与一能带动其转动的动力结构一相连，螺旋管一和螺旋管二分别盘绕在转动轴上，螺旋管一为正向盘绕，螺旋管二为反向盘绕，螺旋管一的一端为封闭端，螺旋管一的中部具有若干气孔一，螺旋管一的另一端和送气引管一的一端相连通，送气引管一的另一端穿过混合桶一侧与外界气源一相连，螺旋管二的一端为封闭端，螺旋管二的中部具有若干气孔二，螺旋管二的另一端和送气引管二的一端相连通，送气引管二的另一端穿过混合桶另一侧与外界气源二相连，混合桶中部还具有出气口，出气口和进气管另一端相连通。

采用以上结构，通过送气引管一将氨气输送到螺旋管一中，通过送气引管二将硅烷输送到螺旋管二中，通过动力结构一带动转动轴转动，转动轴带动螺旋管一和螺旋管二转动，使气孔一输出的氨气和气孔二输出的硅烷快速均匀混合，混合充分的气体从出气口输入到进气管中，进气管将混合气体输送到双层石英管输内，从而可保证镀膜的一致性，镀膜可靠；通过真空机构可使双层石英管内达到真空状态。

所述排气管上还设置有单向阀。

所述动力结构一包括步进电机一、主动轮一和从动轮一，步进电机一通过安装杆固定在混合桶内，步进电机一的输出轴水平设置，主动轮一固定在步进电机一的输出轴端部，从动轮一固定在转动轴端部，且从动轮一与主动轮一相啮合。

当需要使转动轴转动时，控制步进电机一的输出轴转动，步进电机一的输出轴带动主动轮一转动，主动轮一带动从动轮一转动，从动轮一带动转动轴转动，从而可使转动轴转动。

所述真空机构包括真空泵、真空缓存罐、连接管、水箱、进水管、回水管、热交换管和循环泵，连接管一端和排气管另一端相连通，连接管另一端和真空泵相连通，连接管另一端上还设置有电磁阀五，连接管中部通过辅助管和真空缓存罐相连通，辅助管上还设置有电磁阀六，热交换管设置在真空缓存罐内，热交换管一端通过进水管和水箱下部相连通，热交换管另一端通过回水管和水箱上部相连通，循环泵设置在进水管上。

采用以上结构，关闭电磁阀四并打开电磁阀五和电磁阀六，通过真空泵对真空缓存罐进行抽气，使真空缓存罐内达到真空状态；而需要对双层石英管进行抽真空时，关闭电磁阀五并打开电磁阀四和电磁阀六，由于真空缓存罐内为真空状态，双层石英管内的气体进入到真空缓存罐内，真空缓存罐内充满气体后，关闭电磁阀六并打开电磁阀四和电磁阀五，通过真空泵对双层石英管内继续抽真空，可减少真空泵与双层石英管内高温气体直接接触的时间，从而可保证真空泵的正常工作，而真空缓存罐内的高温气体可通过热交换管进行热量交换使其冷却，工作稳定性好。

所述热交换管上还套设有若干铝翅片。

采用以上结构，通过铝翅片可增加热交换管与真空缓存罐内气体的接触面积。

所述真空缓存罐上还连接有气压表。

采用以上结构，通过气压表可方便查看真空缓存罐内的气压大小，显示直观。

所述钝化处理装置包括机架，机架固定在底座上，机架上固定有钝化箱，钝化箱上设置有多个升降门，升降门将钝化箱内分隔成多个工艺腔，机架上具有用于输送硅片篮的输送线，且输送线贯穿各工艺腔，输送线包括用于承载并水平输送硅片篮的两排滚轴，工艺腔包括沿输送线输送方向依次设置的预处理腔、处理腔一、处理腔二和后处理腔，其特征在于，所述机架上还设置有上料机构，上料机构包括基座、储料台、转轴、上料桨、警铃、控制器和呈方形的检测板，基座固定在机架上，储料台设置在基座上，储料台上具有用于存放硅片篮的若干存放凸部，储料台还与一能带动其来回移动的移动结构相连，转轴竖直设置在机架上，且转轴位于基座与输送线两者之间，转轴下端与一能带动其转动的动力结构二相连，转轴上端和安装条相连，安装条上固定有推杆电机一，推杆电机一的推杆竖直向下，推杆电机一的推杆端部和升降块相连，升降块上固定有推杆电机二，推杆电机二的推杆水平设置，推杆电机二的推杆端部和上料桨相连，检测板通过联杆和安装板相连，且检测板位于上料桨下方，检测板上固定有四个行程开关，警铃和控制器均固定在基座上，警铃和行程开关通过线路均与控制器相连。

钝化处理装置的原理如下：当需要将放有电池的硅片篮输入到钝化箱时，将硅片篮存放在储料台的存放凸部处，控制推杆电机一带动升降块向下移动，升降块使上料桨向下移动，控制推杆电机二带动上料桨向前伸出，使上料桨插入存放凸部处，控制推杆电机一带动升降块向上移动，上料桨将储料台上的硅片篮取出，控制推杆电机二带动上料桨向后缩回，控制推杆电机一使上料桨上下移动，上料桨上的硅片篮底部与行程开关相接触，行程开关将信号传递给控制器，控制器可控制警铃工作，可判断出上料桨上的硅片篮是否放正，通过动力结构二带动转轴转动，转轴带动安装条转动，使上料桨位于输送线侧部，控制推杆电机二带动上料桨向前伸出，使上料桨位于输送线上方，控制推杆电机一带动升降块向下移动，升降块使上料桨向下移动，将硅片篮放在输送线上，取代人工上料，上料方便。

所述上料机构还包括吸尘器和呈u形的吸尘管，吸尘管固定在检测板端部，吸尘管的两端为进气口，且进气口竖直朝上，吸尘管的中部为出气口，出气口通过联接管和吸尘器相连通，吸尘器固定在机架上。

采用以上结构，控制推杆电机二带动上料桨向前伸出，上料桨上的硅片篮逐渐从吸尘管处经过，开启吸尘器，通过吸尘管将硅片篮底部的粉尘除去，除尘快速。

所述移动结构包括导杆、导套、伺服电机、齿轮和齿条，导杆水平固定在基座上，导套设置在导杆上，齿条水平固定在基座上，且齿条与导杆相互平行，伺服电机固定在导套上，伺服电机的输出轴竖直向下，齿轮固定在伺服电机的输出轴端部，且齿轮与齿条相啮合，储料台固定在导套上。

当需要使储料台来回移动时，控制伺服电机带动齿轮转动，齿轮逐渐与齿条相啮合，使导套沿着导杆来回移动，导套带动储料台来回移动，从而可使储料台来回移动。

所述导杆两端还具有限位块。

所述动力结构二包括步进电机二、主动轮二和从动轮二，步进电机二固定在机架上，步进电机二的输出轴竖直向上，主动轮二固定在步进电机二的输出轴端部，从动轮二固定在转轴下端，且主动轮二与从动轮二相啮合。

当需要使转轴转动时，控制步进电机二带动主动轮二转动，主动轮二带动从动轮二转动，从动轮二带动转轴转动，从而可使转轴转动。

所述上料桨上还具有若干凸出的防滑部。

与现有技术相比，本太能电池的生产系统具有该优点：通过清洗装置、制绒装置、扩散装置、刻蚀装置、去psg装置、pecvd装置、浆料配制装置、印刷装置、钝化处理装置和烧结装置，可实现太能电池的快速生产，生产速度快。

附图说明

图1是浆料配制装置的平面结构示意图。

图2是浆料配制装置中搅拌机构的立体结构示意图。

图3是浆料配制装置中拆去部分的立体结构示意图。

图4是浆料配制装置中辅助结构的立体结构示意图。

图5是pecvd装置的平面结构示意图。

图6是pecvd装置中送气混合机构的平面结构示意图。

图7是钝化处理装置的立体结构示意图。

图8是钝化处理装置中拆去部分的立体结构示意图。

图9是钝化处理装置中拆去部分的平面结构示意图。

图中，1、工作台；2、配制箱；2a、进料口；2b、出料口；3、电磁阀二；4、观察板；5、电磁阀一；6、连接杆；7、升降座；8、连接架；9、滑块；10、导轨；11、指示杆；12、指针；13、气缸；14、立柱；15、推送板二；15a、破碎刀二；16、辅助条；16a、齿牙部一；16b、齿牙部二；17、导向条；18、传动轮；19、主齿轮；20、半齿轮一；21、支架；22、从齿轮一；23、导块；24、从齿轮二；25、推送板一；25a、破碎刀一；26、半齿轮二；27、安装板；28、副搅拌轴二；29、螺旋反向叶片二；30、主搅拌轴；31、螺旋正向叶片；32、驱动电机；33、副搅拌轴一；34、螺旋反向叶片一；35、辅助筒一；36、弹簧一；37、导向轮一；38、联动绳一；39、导环一；40、导柱一；41、导环二；42、导柱二；43、联动绳二；44、辅助筒二；45、弹簧二；51、机座；52、箱体；53、双层石英管；54、盖板；55、进气管；56、电磁阀三；57、电磁阀四；58、气压表；59、真空缓存罐；60、排气管；61、电磁阀六；62、辅助管；63、连接管；64、电磁阀五；65、真空泵；66、热交换管；67、进水管；68、循环泵；69、水箱；70、回水管；71、铝翅片；72、混合桶；73、步进电机一；74、主动轮一；75、螺旋管一；76、螺旋管二；77、转动轴；78、送气引管一；79、从动轮一；80、送气引管二；81、机架；82、主动轮二；83、步进电机二；84、基座；85、控制器；86、警铃；87、储料台；87a、存放凸部；88、检测板；89、上料桨；90、推杆电机一；91、升降块；92、推杆电机二；93、安装条；94、转轴；95、从动轮二；96、联杆；97、行程开关；98、吸尘器；99、联接管；100、吸尘管；101、齿轮；102、齿条；103、伺服电机；104、导套；105、导杆；106、限位块。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

如图1-图9所示，太能电池的生产系统，包括底座，底座上设置有清洗装置、制绒装置、扩散装置、刻蚀装置、去psg装置、pecvd装置、浆料配制装置、印刷装置、钝化处理装置和烧结装置；在本实施例中，清洗装置、制绒装置、扩散装置、刻蚀装置、去psg装置、印刷装置和烧结装置均采用的是现有结构。

浆料配制装置包括工作台1，工作台1固定在底座上，工作台1上固定有配制箱2，在本实施例中，工作台1上通过螺栓连接的方式固定有配制箱2；配制箱2上部具有进料口2a，进料口2a处设置有电磁阀一5，配制箱2下部具有出料口2b，出料口2b处设置有电磁阀二3，工作台1上固定有立柱14，在本实施例中，工作台1上通过焊接的方式固定有立柱14；立柱14上设置有升降座7，且升降座7位于配制箱2正上方，升降座7与一能使其上下移动的驱动结构相连，升降座7和连接杆6上端相连，连接杆6下端伸入到配制箱2内与安装板27相连，安装板27上设置有搅拌机构，搅拌机构包括主搅拌轴30、副搅拌轴一33、副搅拌轴二28、驱动电机32、传动轮18、支架21、导向条17、导块23和辅助条16，驱动电机32固定在安装板27上，驱动电机32的输出轴竖直向上，传动轮18固定在驱动电机32的输出轴端部，主搅拌轴30、副搅拌轴一33和副搅拌轴二28分别竖直设置在安装板27上，且副搅拌轴一33和副搅拌轴二28对称布置于主搅拌轴30两侧，主搅拌轴30上端固定有主齿轮19，且主齿轮19与传动轮18相啮合，主搅拌轴30下端固定有螺旋正向叶片31，副搅拌轴一33的上端固定有从齿轮一22，且从齿轮一22与主齿轮19相啮合，副搅拌轴一33的下端固定有螺旋反向叶片一34，副搅拌轴二28的上端固定有从齿轮二24，且从齿轮二24与主齿轮19相啮合，副搅拌轴二28的下端固定有螺旋反向叶片二29，支架21固定在安装板27上，导块23固定在支架21上，导向条17滑动设置在导块23上，辅助条16水平固定在导向条17上，辅助条16一端固定有推送板一25，且推送板一25呈竖直布置，辅助条16另一端固定有推送板二15，且推送板二15呈竖直布置，辅助条16一侧具有齿牙部一16a，辅助条16另一侧具有齿牙部二16b，副搅拌轴一33上还具有半齿轮一20，且半齿轮一20能与齿牙部一16a相啮合，副搅拌轴二28上还具有半齿轮二26，且半齿轮二26能与齿牙部二16b相啮合。

驱动结构包括气缸13、导轨10和滑块9，导轨10竖直固定在立柱14上，滑块9设置在导轨10上，气缸13固定在立柱14上，在本实施例中，气缸13通过螺栓连接的方式固定在立柱14上；气缸13的活塞杆竖直向上，气缸13的活塞杆端部和滑块9相连，升降座7通过连接架8和滑块9相连。

推送板一25和推送板二15的截面均呈弧形。

配制箱2侧部还开设有观察口，观察口处设置有透明的观察板4；采用该结构，通过观察板4可对配制箱2内的异常进行察看；观察板4为有机玻璃板。

立柱14上还具有指示组件，指示组件包括指示杆11和指针12，指示杆11竖直固定在立柱14上，指示杆11上具有刻度线，指针12固定在滑块9上，且指针12朝向指示杆11；采用该结构，通过指针12随着滑块9上下移动，指针12朝向指示杆11，从而可方便知道安装板27所处的高度位置，指示直观。

推送板一25上还具有若干破碎刀一25a，在本实施例中，破碎刀一25a的数量为五十个；且破碎刀一25a的截面为三角形，推送板二15上还具有若干破碎刀二15a，在本实施例中，破碎刀二15a的数量为五十个；且破碎刀二15a的截面为三角形；采用该结构，通过破碎刀一25a和破碎刀二15a的作用，在推送板一25和推送板二15左右移动时，可对原料进行破碎。

安装板27上还具有辅助结构，辅助结构包括辅助筒一35、辅助筒二44、联动绳一38、联动绳二43、导向轮一37和导向轮二，导向轮一37和导向轮二分别固定在安装板27上，辅助筒一35套设在副搅拌轴一33上，辅助筒一35的上端通过弹簧一36和安装板27相连，辅助筒一35的侧部开设有若干料孔一，在本实施例中，料孔一的数量为二十个；联动绳一38的一端和辅助筒一35相连，联动绳一38的另一端绕过导向轮一37与辅助条16一端相连，辅助筒二44套设在副搅拌轴二28上，辅助筒二44的上端通过弹簧二45和安装板27相连，辅助筒二44的侧部开设有若干料孔二，在本实施例中，料孔二的数量为二十个；联动绳二43的一端和辅助筒二44相连，联动绳二43的另一端绕过导向轮二与辅助条16二端相连。

辅助结构还包括导柱一40、导柱二42、导环一39和导环二41，导环一39和导环二41分别固定在安装板27上，导柱一40的上端滑动设置在导环一39内，导柱一40的下端和辅助筒一35相连，导柱二42的上端滑动设置在导环二41内，导柱二42的下端和辅助筒二44相连；采用该结构，通过导柱一40、导柱二42、导环一39和导环二41的作用，可对辅助筒一35和辅助筒二44上下移动进行导向。

浆料配制装置的工作原理如下：将各类原料放入到配制箱2中，控制驱动电机32带动传动轮18转动，传动轮18带动主齿轮19转动，主齿轮19带动主搅拌轴30转动，主搅拌轴30带动螺旋正向叶片31转动，同时，主齿轮19带动从齿轮一22和从齿轮二24转动，从齿轮一22带动副搅拌轴一33转动，副搅拌轴一33带动螺旋反向叶片一34，从齿轮二24带动副搅拌轴二28转动，副搅拌轴二28带动螺旋反向叶片二29，螺旋正向叶片31、螺旋反向叶片一34和螺旋反向叶片二29对配制箱2内的原料进行搅拌；与此同时，半齿轮一20与齿牙部一16a相啮合，使辅助条16向左移动，移动到最左端后，半齿轮二26与齿牙部二16b相啮合，使辅助条16向右移动，可使辅助条16左右移动，辅助条16使推送板一25和推送板二15左右移动，推送板一25和推送板二15将配制箱2内的原料反复推送到配制箱2中部；辅助条16向左移动时，在联动绳一38和联动绳二43的作用下并配合弹簧一36和弹簧二45，使辅助筒一35向下移动，辅助筒二44向上移动，辅助筒一35可对螺旋反向叶片一34进行辅助导流，而辅助条16向右移动时，在联动绳一38和联动绳二43的作用下并配合弹簧一36和弹簧二45，使辅助筒一35向上移动，辅助筒二44向下移动，辅助筒二44可对螺旋反向叶片二29进行辅助导流；也可控制气缸13带动滑块9沿着导轨10上下移动，滑块9带动升降座7上下移动，升降座7通过连接杆6带动安装板27上下移动，从而可快速将整个配制箱2各处的原料搅拌均匀。

pecvd装置包括机座51，机座51固定在底座上，机座51上固定有箱体52，在本实施例中，机座51上通过螺栓连接的方式固定有箱体52；箱体52内设置有内部具有镀膜腔的双层石英管53，双层石英管53内固定有感应线圈，在本实施例中，感应线圈采用的是现有技术；双层石英管53一端上具有取放口，双层石英管53上设置有能将取放口封闭住的盖板54，盖板54和进气管55一端相连通，进气管55另一端与送气混合机构相连，进气管55上设置有电磁阀三56，双层石英管53另一端和排气管60一端相连通，排气管60另一端与真空机构相连，排气管60上设置有电磁阀四57，排气管60上还设置有单向阀；送气混合机构包括转动轴77、螺旋管一75、螺旋管二76、送气引管一78、送气引管二80和具有空腔的混合桶72，混合桶72通过支撑脚水平固定在机座51上，转动轴77水平转动设置在混合桶72内，转动轴77端部与一能带动其转动的动力结构一相连，螺旋管一75和螺旋管二76分别盘绕在转动轴77上，螺旋管一75为正向盘绕，螺旋管二76为反向盘绕，螺旋管一75的一端为封闭端，螺旋管一75的中部具有若干气孔一，在本实施例中，气孔一的数量为二十个；螺旋管一75的另一端和送气引管一78的一端相连通，送气引管一78的另一端穿过混合桶72一侧与外界气源一相连，在本实施例中，外界气源一为现有技术，能够提供氨气；螺旋管二76的一端为封闭端，螺旋管二76的中部具有若干气孔二，在本实施例中，；螺旋管二76的另一端和送气引管二80的一端相连通，送气引管二80的另一端穿过混合桶72另一侧与外界气源二相连，在本实施例中，外界气源二为现有技术，能够提供硅烷；混合桶72中部还具有出气口，出气口和进气管55另一端相连通；采用该结构，通过送气引管一78将氨气输送到螺旋管一75中，通过送气引管二80将硅烷输送到螺旋管二76中，控制步进电机一73带动主动轮一74转动，主动轮一74带动从动轮一79转动，从动轮一79带动转动轴77转动，转动轴77带动螺旋管一75和螺旋管二76转动，使气孔一输出的氨气和气孔二输出的硅烷快速均匀混合，混合充分的气体从出气口输入到进气管55中，进气管55将混合气体输送到双层石英管53输内。

动力结构一包括步进电机一73、主动轮一74和从动轮一79，步进电机一73通过安装杆固定在混合桶72内，步进电机一73的输出轴水平设置，主动轮一74固定在步进电机一73的输出轴端部，从动轮一79固定在转动轴77端部，且从动轮一79与主动轮一74相啮合。

真空机构包括真空泵65、真空缓存罐59、连接管63、水箱69、进水管67、回水管70、热交换管66和循环泵68，连接管63一端和排气管60另一端相连通，连接管63另一端和真空泵65相连通，连接管63另一端上还设置有电磁阀五64，连接管63中部通过辅助管62和真空缓存罐59相连通，辅助管62上还设置有电磁阀六61，热交换管66设置在真空缓存罐59内，热交换管66一端通过进水管67和水箱69下部相连通，热交换管66另一端通过回水管70和水箱69上部相连通，循环泵68设置在进水管67上；采用该结构，关闭电磁阀四57并打开电磁阀五64和电磁阀六61，通过真空泵65对真空缓存罐59进行抽气，使真空缓存罐59内达到真空状态；而需要对双层石英管53进行抽真空时，关闭电磁阀五64并打开电磁阀四57和电磁阀六61，由于真空缓存罐59内为真空状态，双层石英管53内的气体进入到真空缓存罐59内，真空缓存罐59内充满气体后，关闭电磁阀六61并打开电磁阀四57和电磁阀五64，通过真空泵65对双层石英管53内继续抽真空，可减少真空泵65与双层石英管53内高温气体直接接触的时间，从而可保证真空泵65的正常工作，而真空缓存罐59内的高温气体可通过热交换管66进行热量交换使其冷却，工作稳定性好。

热交换管66上还套设有若干铝翅片71；在本实施例中，铝翅片71的数量为十个；采用该结构，通过铝翅片71可增加热交换管66与真空缓存罐59内气体的接触面积。

真空缓存罐59上还连接有气压表58；采用该结构，通过气压表58可方便查看真空缓存罐59内的气压大小，显示直观。

钝化处理装置包括机架81，机架81固定在底座上，机架81上固定有钝化箱，钝化箱上设置有多个升降门，升降门将钝化箱内分隔成多个工艺腔，机架81上具有用于输送硅片篮的输送线，且输送线贯穿各工艺腔，输送线包括用于承载并水平输送硅片篮的两排滚轴，工艺腔包括沿输送线输送方向依次设置的预处理腔、处理腔一、处理腔二和后处理腔，在本实施例中，预处理腔、处理腔一、处理腔二、后处理腔和输送线均采用的是专利号201520992271x中的现有结构；机架81上还设置有上料机构，上料机构包括基座84、储料台87、转轴94、上料桨89、警铃86、控制器85和呈方形的检测板88，基座84固定在机架81上，储料台87设置在基座84上，储料台87上具有用于存放硅片篮的若干存放凸部87a，在本实施例中，存放凸部87a的数量为七个；储料台87还与一能带动其来回移动的移动结构相连，转轴94竖直设置在机架81上，且转轴94位于基座84与输送线两者之间，转轴94下端与一能带动其转动的动力结构二相连，转轴94上端和安装条93相连，安装条93上固定有推杆电机一90，推杆电机一90的推杆竖直向下，推杆电机一90的推杆端部和升降块91相连，升降块91上固定有推杆电机二92，推杆电机二92的推杆水平设置，推杆电机二92的推杆端部和上料桨89相连，检测板88通过联杆96和安装板相连，且检测板88位于上料桨89下方，检测板88上固定有四个行程开关97，在本实施例中，四个行程开关97可分别与硅片篮底部的四个角相接触；警铃86和控制器85均固定在基座84上，警铃86和行程开关97通过线路均与控制器85相连；在本实施例中，控制器85可以采用市场上可以买到的单片机，其控制警铃和行程开关的程序为现有的，其程序不需要重新编辑。

上料机构还包括吸尘器98和呈u形的吸尘管100，吸尘管100固定在检测板88端部，吸尘管100的两端为进气口，且进气口竖直朝上，吸尘管100的中部为出气口，出气口通过联接管99和吸尘器98相连通，吸尘器98固定在机架81上；采用该结构，控制推杆电机二92带动上料桨89向前伸出，上料桨89上的硅片篮逐渐从吸尘管100处经过，开启吸尘器98，通过吸尘管100将硅片篮底部的粉尘除去，除尘快速。

移动结构包括导杆105、导套104、伺服电机103、齿轮101和齿条102，导杆105水平固定在基座84上，导套104设置在导杆105上，齿条102水平固定在基座84上，且齿条102与导杆105相互平行，伺服电机103固定在导套104上，在本实施例中，伺服电机103通过螺栓连接的方式固定在导套104上；伺服电机103的输出轴竖直向下，齿轮101固定在伺服电机103的输出轴端部，且齿轮101与齿条102相啮合，储料台87固定在导套104上；导杆105两端还具有限位块106。

动力结构二包括步进电机二83、主动轮二82和从动轮二95，步进电机二83固定在机架81上，在本实施例中，步进电机二83通过螺栓连接的方式固定在机架81上；步进电机二83的输出轴竖直向上，主动轮二82固定在步进电机二83的输出轴端部，从动轮二95固定在转轴94下端，且主动轮二82与从动轮二95相啮合。

上料桨89上还具有若干凸出的防滑部。

钝化处理装置的原理如下：当需要将放有电池的硅片篮输入到钝化箱时，将硅片篮存放在储料台87的存放凸部87a处，控制伺服电机103带动齿轮101转动，齿轮101逐渐与齿条102相啮合，使导套104沿着导杆105来回移动，导套104带动储料台87来回移动；控制推杆电机一90带动升降块91向下移动，升降块91使上料桨89向下移动，控制推杆电机二92带动上料桨89向前伸出，使上料桨89插入存放凸部87a处，控制推杆电机一90带动升降块91向上移动，上料桨89将储料台87上的硅片篮取出，控制推杆电机二92带动上料桨89向后缩回，控制推杆电机一90使上料桨89上下移动，上料桨89上的硅片篮底部与行程开关97相接触，行程开关97将信号传递给控制器85，控制器85可控制警铃86工作，可判断出上料桨89上的硅片篮是否放正，控制步进电机二83带动主动轮二82转动，主动轮二82带动从动轮二95转动，从动轮二95带动转轴94转动，转轴94带动安装条93转动，使上料桨89位于输送线侧部，控制推杆电机二92带动上料桨89向前伸出，使上料桨89位于输送线上方，控制推杆电机一90带动升降块91向下移动，升降块91使上料桨89向下移动，将硅片篮放在输送线上，取代人工上料，上料方便。