具有无载体的光学干涉滤波器的微透镜的制作方法

文档序号:17579159发布日期:2019-05-03 20:46阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本公开涉及一种装置(10,12)以及一种用于制造装置(10,12)的方法。其中,该装置(10,12)主要包括具有光探测器(12)的基底(11)和布置在基底(11)上的介电质(18)。该装置(10,12)还包括布置在介电质(18)的第一侧(18a)上的微透镜(13),该微透镜被构造用于将射入的射线(14)偏转到光探测器(12)上。此外,该装置(10,12)包括无载体的光学的干涉滤波器(15),其中,微透镜(13)布置在光探测器(12)与干涉滤波器(15)之间,并且干涉滤波器(15)在背离光探测器(12)的侧(15a)上具有平坦的表面(17)。

技术研发人员:I·尤里格;A·基尔施纳;D·奥芬贝格;B·波伊奇克;B·绍斯纳;T·施密兹-许布施;M·福格特
受保护的技术使用者:英飞凌科技德累斯顿公司
技术研发日:2018.10.22
技术公布日:2019.05.03
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