一种硅片刷片机的制作方法

文档序号:16889976发布日期:2019-02-15 22:58阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种硅片刷片机,包括料盘升降装置、传送装置和转动装置,所述的工作台上端中部安装有转动装置,该转动装置的前、后方对称布置有传送装置,所述的传送装置靠近转动装置的一侧安装有放置座,该传送装置的另一侧安装有料盘升降装置,所述的放置座与转动装置之间设置有转运装置。本发明通过高转速电机控制吸盘转动,升降气缸控制圆盘刷上下升降,旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动,自动化程度高,大大降低了人工成本。本发明通过吸盘吸住硅片进行清洗,可以避免对硅片表面的损伤;通过料盘升降装置实现料盘盒的升降,方便将料盘盒中的硅片从下往上依次一个一个送去清洗,自动化程度高,大大降低了人工成本。

技术研发人员:胡晓光;徐继东;厉惠宏
受保护的技术使用者:浙江金瑞泓科技股份有限公司
技术研发日:2018.10.29
技术公布日:2019.02.15
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