百赫兹百纳秒大能量激光器的制作方法

文档序号:15495759发布日期:2018-09-21 21:40阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种百赫兹百纳秒大能量激光器,包括平面输出镜、Q开关、偏振分光棱镜、准连续半导体激光模块泵浦源、激光晶体、法拉第旋转器、1/2λ波片、第一平面全反镜、第二平面全反镜、第一板条平面全反镜、第二板条平面全反镜、第三平面全反镜、第四平面全反镜,其特征在于:平面输出镜、Q开关、偏振分光棱镜、准连续半导体激光模块泵浦源、激光晶体、法拉第旋转器、1/2λ波片和第四平面全反镜依次设置在所述激光晶体光路上,其中平面输出镜反射面与激光晶体相向,并相对激光晶体光路呈一夹角,

在其反射光路上设有第一平面全反镜,其反射面与平面输出镜相向,并相对平面输出镜呈一夹角,

在其反射光路中设有第一板条平面全反镜,其反射面与第一平面全反镜相向,并相对第一平面全反镜呈一夹角,

在其反射光路上设有第二板条平面全反镜,其反射面与第一板条平面全反镜的反射面相互平行相向,而且第一板条平面全反镜反射面、第二板条平面全反镜反射面分别与激光晶体光路垂直,

反射光路在第一板条平面全反镜与第二板条平面全反镜之间多次反射,最后从第二板条平面全反镜射出,

在第二板条平面全反镜射出的反射光路上设有第二平面全反镜,其反射面与第二板条平面全反镜相向,并相对第二板条平面全反镜呈一夹角,

在反射光路上设有第三平面全反镜,其反射面与第二平面全反镜相向,并相对第二平面全反镜呈一夹角,

在反射光路上设有第四平面全反镜,其反射面与第三平面全反镜相向,并相对第三平面全反镜呈一夹角,

其反射光路与激光晶体光路重合形成回路构成谐振腔,信号光从平面输出镜的激光晶体光路方向输出。

2.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述平面输出镜与准连续半导体激光模块泵浦源之间的泵浦光路上设有偏振分光棱镜。

3.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述准连续半导体激光模块泵浦源为在发射波长为808nm的半导体侧面泵浦激光模块。

4.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述激光晶体为Nd:YAG晶体棒,激光晶体放置在准连续半导体激光模块泵浦源的泵浦光路中,激光晶体的尺寸为直径3mm×68mm。

5.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述平面输出镜与准连续半导体激光模块泵浦源之间的激光晶体光路上设有Q开关;Q开关为声光Q开关或电光Q开关。

6.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述法拉第旋转器和1/2λ波片组成光隔离组件。

7.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述第一平面全反镜、第二平面全反镜、第一板条平面全反镜和第二板条平面全反镜的反射面镀信号光0度±5度高反膜,信号光反射率大于99.9%,其另一平面镀信号光0度增透膜。

8.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述第三平面全反镜和第四平面全反镜的反射面镀信号光45度±5度偏振反射膜,其中S波高反膜反射率大于99.9%, P波增透膜透过率大于99.9%,另一平面镀信号光45度增透膜。

9.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述平面输出镜的反射面镀信号光0度±5度部分反射率为50%,其另一平面镀信号光0度±5度增透膜;平面输出镜法线方向与所述激光晶体光路所呈角度小于5度,大于2度。

10.根据权利要求1中所述的一种百赫兹百纳秒大能量激光器,其特征在于所述第一平面全反镜法线方向与所述平面输出镜的反射光路所呈夹角小于5度,大于2度;第一板条平面全反镜法线方向与所述第一平面全反镜的反射光路所呈夹角小于5度,大于2度;第二平面全反镜法线方向与所述第二板条平面全反镜的反射光路所呈夹角小于5度,大于2度;第三平面全反镜法线方向与所述第二平面全反镜的反射光路所呈夹角小于47度,大于43度;第四平面全反镜法线方向与所述第三平面全反镜的反射光路所呈夹角小于47度,大于43度。

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