窄线宽紫外激光器的制作方法

本实用新型涉及紫外激光器领域，具体为窄线宽紫外激光器。

背景技术：

紫外激光器(UV laser)，主要应用于先进研究、开发和工业制造装备，同时广泛用于生物技术和医疗设备、需要紫外光线辐射的消毒设备。基于Nd:YAG/Nd:YVO4晶体开发的DPSS紫外激光器是微加工系统的绝佳选择，并且广泛用于印刷电路板和消费电子产品。目前，紫外激光器发展越来越成熟，对激光器波长敏感性的要求也越来越高，比如生物医疗与材料等。然而目前商用紫外激光器很少考虑到线宽的大小。在紫外激光器的生产中，目前还没有一种可以减小光谱线宽的紫外激光器。

技术实现要素：

本实用新型正是针对以上问题，提供一种可以减小光谱线宽的紫外激光器。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

窄线宽紫外激光器，包括前端镜、工作物质、调Q器件、选频器件、折镜、一号倍频晶体、二号倍频晶体、全反镜、输出光路，其特征在于沿着光路，前端镜置于最前端，所述前端镜后依次设置工作物质、调Q器件、选频器件，所述选频器件后端安装一个折镜，所述折镜后端依次设置一号倍频晶体、二号倍频晶体，所述二号倍频晶体后端连接一个全反镜，所述一号倍频晶体左端导出输出光路。前端镜为透光良好的平透镜。一号倍频晶体、二号倍频晶体的变频方式为二倍频、三倍频、四倍频、五倍频。折镜为折光良好的凹透镜。全反镜优选不吸收光的反光镜。选频器件优选灵敏且识别度高的辨频选择器件。

本实用新型通过前端镜导入光源，通过工作物质、调Q器件对原始光源进行过滤，到达选频器件后，完成光线频率的选择聚焦在折镜上，折镜将光路导向一号倍频晶体、二号倍频晶体到达全反镜，通过全反镜的光路反射再次通过二号倍频晶体、一号倍频晶体，最终在一号倍频晶体左端形成输出光路。本实用新型最大的特点在于光路通过选频器件且两次通过一号倍频晶体、二号倍频晶体后，滤除了紫外输出光中距离中心波长较远的杂光，实现的光谱线宽的减小。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图其中：

1—前端镜，2—工作物质，3—调Q器件，4—选频器件，5—折镜，6—一号倍频晶体，7—二号倍频晶体，8—全反镜，9—输出光路。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

窄线宽紫外激光器，包括前端镜1、工作物质2、调Q器件3、选频器件4、折镜5、一号倍频晶体6、二号倍频晶体7、全反镜8、输出光路9，其特征在于沿着光路，前端镜1置于最前端，所述前端镜1后依次设置工作物质2、调Q器件3、选频器件4，所述选频器件4后端安装一个折镜5，所述折镜5后端依次设置一号倍频晶体6、二号倍频晶体7，所述二号倍频晶体7后端连接一个全反镜8，所述一号倍频晶体6左端导出输出光路9。前端镜1为透光良好的平透镜。一号倍频晶体6、二号倍频晶体7的变频方式为二倍频、三倍频、四倍频、五倍频。折镜5为折光良好的凹透镜。全反镜8优选不吸收光的反光镜。选频器件4优选灵敏且识别度高的辨频选择器件。

本实用新型通过前端镜1导入光源，通过工作物质2、调Q器件3对原始光源进行过滤，到达选频器件4后，完成光线频率的选择聚焦在折镜5上，折镜5将光路导向一号倍频晶体6、二号倍频晶体7到达全反镜8，通过全反镜8的光路反射再次通过二号倍频晶体7、一号倍频晶体6，最终在一号倍频晶体6左端形成输出光路9。本实用新型最大的特点在于光路通过选频器件4且两次通过一号倍频晶体6、二号倍频晶体7后，滤除了紫外输出光中距离中心波长较远的杂光，实现的光谱线宽的减小。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。