一种硅片的分离机构的制作方法

文档序号:16153913发布日期:2018-12-05 18:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片的分离机构,其特征在于,所述的分离机构包括第一安装架,所述的第一安装架的上端设置有第一吹气组件,所述的第一吹气组件包括第一滑杆、能够沿所述的第一滑杆滑动的第一滑动块、驱动所述的第一滑动块沿所述的第一滑杆滑动的第一驱动汽缸,所述的第一滑动块上固定有一第一安装板,所述的第一安装板上设置有至少一个第一风刀。

2.如权利要求1所述的一种硅片的分离机构,其特征在于,所述的分离机构还包括第二安装架,所述的第二安装架的上端设置有第二吹气组件,所述的第一吹气组件和第二吹气组件相对设置,分别位于待分离硅片的两侧。

3.如权利要求2所述的一种硅片的分离机构,其特征在于,所述的第二安装架的上端设置有第二吹气组件,所述的第二吹气组件包括第二滑杆、能够沿所述的第二滑杆滑动的第二滑动块、驱动所述的第二滑动块沿所述的第二滑杆滑动的第二驱动汽缸,所述的第二滑动块上固定有一第二安装板,所述的第二安装板上设置有至少一个第二风刀。

4.如权利要求3所述的一种硅片的分离机构,其特征在于,所述的第一滑杆与所述的第二滑杆相互平行设置,且所述的第一滑杆和第二滑杆沿水平方向设置。

5.如权利要求1所述的一种硅片的分离机构,其特征在于,所述的第一安装架上还设置有一升降装置,所述的第一吹气组件安装在所述的升降装置上,所述的升降装置用于驱动所述的第一吹气组件在上下移动。

6.如权利要求5所述的一种硅片的分离机构,其特征在于,所述的升降装置为一升降汽缸,所述的汽缸包括一驱动杆,所述的第一吹气组件固定在所述的驱动杆的上端部。

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