技术总结
本申请提供了一种硅片的分离机构，所述的分离机构包括第一安装架，所述的第一安装架的上端设置有第一吹气组件，所述的第一吹气组件包括第一滑杆、能够沿所述的第一滑杆滑动的第一滑动块、驱动所述的第一滑动块沿所述的第一滑杆滑动的第一驱动汽缸，所述的第一滑动块上固定有一第一安装板，所述的第一安装板上设置有至少一个第一风刀。本申请的一种硅片分离机构，具有可移动的风刀，吹向硅片之间，消除硅片之间的负压，避免硅片分片过程中产生的划痕。
技术研发人员：张学强;戴军;张建伟;罗银兵
受保护的技术使用者：罗博特科智能科技股份有限公司
技术研发日：2018.05.14
技术公布日：2018.12.04