一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统的制作方法

技术总结
一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统，由于使用两个图像传感器通过光学成像装置，分别获取晶圆的整体图像和边缘图像，依据晶圆的整体图像和边缘图像获取晶圆承片台的调节参数，进而完成晶圆对准，使得可采用图像分辨率相对较低的图像传感器实现晶圆对准，降低生成产成本的同时提高晶圆对准效率。

技术研发人员：张振久;刘明俊;肖海兵
受保护的技术使用者：深圳信息职业技术学院
技术研发日：2018.05.29
技术公布日：2019.02.05