宽度可调式移动机构的制作方法

本实用新型涉及一种晶圆生产制程上的晶圆移动结构，尤指一种宽度可调式移动机构。

背景技术：

晶圆的制造系为整个半导体产业中，最重要的上游工业，随着半导体发展一日千里，晶圆尺寸越做越大，但相对线宽却越做越小，为了提高晶圆生产良率，必须避免在生产过程中被微粒污染，而最大的微粒来源，就是人体，因此各晶圆厂均无所不用其极的设法减少现场操作员接触到晶圆的机会，同时，为降低制造成本，导入自动化的生产设备、及自动化物料搬运系统，为产业发展的必然趋势。

然而，传统宽度固定式移动机构，在将晶圆由生产线转移到晶圆承载盒时，因为晶圆本身的细微形变，导致容易撞击或擦撞到邻近的晶圆边缘，对整体晶圆生产良率是一种不良影响。

有鉴于此，如何提供一种能解决前述问题，最大程度地避免撞击或擦撞到晶圆的宽度可调式移动机构，便成为本实用新型欲改进的目的。

技术实现要素：

本实用新型目的在于提供一种能避免在移动时碰撞到晶圆的宽度可调式移动机构。

为解决上述问题及达到本实用新型的目的，本实用新型的技术手段，是这样实现的，为一种宽度可调式移动机构，能配合晶圆生产设备应用，其中，所述宽度可调式移动机构，包括有一座体，其具有一侧相互交接的一垂直部、及一水平部；一导轨，其设于该水平部表面边缘上；一第一托臂组，其设于该导轨顶侧面一端；一第二托臂组，其设置于该导轨顶侧面另一端，能配合该第一托臂组，一同吸附定位住晶圆，以稳定托载该晶圆；一被动轮，其设于该垂直部前侧面一端；一主动轮，其设置于该垂直部前侧面另一端；一挠性带体，其呈环状绕设于该被动轮和该主动轮外，并形成一顶侧区段与一底侧区段，且该顶侧区段与该第一托臂组连接，而该底侧区段与该第二托臂组连接，以构成连动关系；以及一驱动装置，其与该主动轮轴接，能供带动该挠性带体，使该第一托臂组与该第二托臂组同步连动，往相反方向移动用。

更优选的是，所述第一托臂组，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨配合的滑座、一设于该滑座顶端的支撑块、一设于该支撑块顶端并能与该挠性带体配合的连接板、一设于该连接板顶端的气座、一片一端设于该气座顶端的托臂板、以及一设于该气座与该托臂板间的密封圈；所述第二托臂组，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨配合的滑座、一设于该滑座顶端并能与该挠性带体配合的连接板、一设于该连接板顶端的支撑块、一设于该连接板顶端的气座、一片一端设于该气座顶端的托臂板、以及一设于该气座与该托臂板间的密封圈。

更优选的是，所述挠性带体，其是为一皮带或链条结构。

更优选的是，所述连接板，其与该挠性带体连接处，还设有一能供容纳该挠性带体对应部分的沟槽，而该沟槽的顶端开口处，还设有一能与该挠性带体配合的定位片体；所述气座，其还设有一设于该气座顶端且对应于该密封圈的气孔、一设于该气座内且能让该气孔与外部真空泵连通的通气道、以及一与该托臂板一端配合的定位凹槽；所述托臂板，其还包括有一由固定端往外呈由宽变窄状设置的托臂本体、及一嵌设于该托臂本体底端面的封闭片体，该托臂本体自由端设有一吸气定位孔，而该托臂本体内设有一由该吸气定位孔处，延伸设置至对应于该气孔处的通气槽，另该托臂本体与该封闭片体嵌合处，还凹设有一与该通气槽连通的嵌槽，该封闭片体对应于该气孔处，还设有一通道孔。

更优选的是，所述托臂板，其于该吸气定位孔处，还开设有一与该吸气定位孔连通的定位吸气槽。

更优选的是，所述托臂板，其于对应于该定位吸气槽处，还往上凸设形成有一支撑台座。

更优选的是，所述座体，其还包括有一极限感测部，该极限感测部设于该垂直部，对应于该第一托臂组的后侧面一端；所述第一托臂组，其还包括有一触动片，该触动片设于该连接板对应于该极限感测部的一侧处，能与该极限感测部配合。

更优选的是，所述座体，其还包括有一中央挡块、一第一挡块、及一第二挡块，该中央挡块设于该水平部边缘中央，该第一挡块设于该水平部边缘邻近于该第一托臂组的一端，该第二挡块设于该水平部边缘邻近于该第二托臂组的一端。

与现有技术相比，本实用新型的效果如下所示：

第一点：本实用新型宽度可调式移动机构，通过座体、导轨、第一托臂组、第二托臂组、被动轮、主动轮、挠性带体及驱动装置的配合，能配合不同尺寸的晶圆来应用，让第一托臂组和第二托臂组能移动至接近晶圆边缘处，在稳定移动晶圆的前提下，避免在将晶圆移入晶圆承载盒时，撞击或擦撞到邻近的晶圆。

第二点：本实用新型宽度可调式移动机构，应用挠性带体及驱动装置的配合，除了便于生产与应用之外，最重要的是，能便于控制，让第一托臂组和第二托臂组稳定移动，正确地移动到预定位置，而且还不会在移动中发生位移。

附图说明

图1为本实用新型的立体示意图。

图2为本实用新型的分解示意图。

图3为本实用新型第一托臂组的分解示意图。

图4为本实用新型第二托臂组的分解示意图。

图5为图1中的X-X剖面示意图。

图6为本实用新型的立体实施示意图。

图7为本实用新型的后视实施示意图。

图8为本实用新型的俯面实施示意图。

图9为本实用新型摆放晶圆到晶圆承载盒时的前视示意图。

附图标记说明：

1 座体 B 支撑块

11 垂直部 C 连接板

12 水平部 C1 沟槽

13 极限感测部 C2 定位片体

14 中央挡块 D 气座

15 第一挡块 D1 气孔

16 第二挡块 D2 通气道

2 导轨 D3 定位凹槽

3 第一托臂组 E 托臂板

4 第二托臂组 E1 托臂本体

5 被动轮 E11 吸气定位孔

6 主动轮 E111 定位吸气槽

7 挠性带体 E12 通气槽

71 顶侧区段 E121 嵌槽

72 底侧区段 E13 支撑台座

8 驱动装置 E2 封闭片体

9 壳体 E21 通道孔

10 晶圆 F 密封圈

20 晶圆承载盒 G 触动片

A 滑座 100 宽度可调式移动机构

具体实施方式

以下依据图面所示的实施例进行详细说明：

如图1至图5、及图9所示，图中揭示出，一种宽度可调式移动机构，能配合晶圆生产设备应用，其中，所述宽度可调式移动机构100，包括有一座体1，其具有一侧相互交接的一垂直部11、及一水平部12；一导轨2，其设于该水平部12表面边缘上；一第一托臂组3，其设于该导轨2顶侧面一端；一第二托臂组4，其设置于该导轨2顶侧面另一端，能配合该第一托臂组3，一同吸附定位住晶圆10，以稳定托载该晶圆10；一被动轮5，其设于该垂直部11前侧面一端；一主动轮6，其设置于该垂直部11前侧面另一端；一挠性带体7，其呈环状绕设于该被动轮5和该主动轮6外，并形成一顶侧区段71与一底侧区段72，且该顶侧区段71与该第一托臂组3连接，而该底侧区段72与该第二托臂组4连接，以构成连动关系；以及一驱动装置8，其与该主动轮6轴接，能供带动该挠性带体7，使该第一托臂组3与该第二托臂组4同步连动，往相反方向移动用。

其中，应用座体1、导轨2、第一托臂组3、第二托臂组4、被动轮5、主动轮6、挠性带体7及驱动装置8的配合，构成一能配合晶圆生产设备的本实用新型宽度可调式移动机构100，解决如图9所示一般，传统宽度固定式移动机构，容易撞击或擦撞到邻近晶圆10的问题，能配合不同尺寸的晶圆10，第一托臂组3和第二托臂组4能移动至接近晶圆10边缘处，接近晶圆承载盒20的晶圆支持处，在稳定移动晶圆10的大前提下，有效避免晶圆10移入晶圆承载盒20时，撞击或擦撞到邻近的晶圆10。

其次，因为第一托臂组3和第二托臂组4的应用要求，为稳定地反向移动，所以利用挠性带体7及驱动装置8的配合，不但能便于控制，更便于生产与维护，故障率低，十分耐用，且在无尘环境应用下，不易产生污染晶圆10的有害物质，确保晶圆10的良率。

另一方面，本实用新型宽度可调式移动机构100为了避免与外部环境产生交互污染，还能配合一壳体9，并再进一步降低故障率。

如图6至图8所示，图中揭示出，本实用新型宽度可调式移动机构100，通过驱动装置8，能带动挠性带体7，让第一托臂组3、第二托臂组4，顺着导轨2，往相反方向移动，让两者托臂板E移动到接近晶圆10边缘处，接近晶圆承载盒20的晶圆支持处，如此一来，便不容易撞击或擦撞到邻近的晶圆10，大幅度降低晶圆运输过程中，晶圆受损的机率。

请参阅图3和图4，所述第一托臂组3，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨2配合的滑座A、一设于该滑座A顶端的支撑块B、一设于该支撑块B顶端并能与该挠性带体7配合的连接板C、一设于该连接板C顶端的气座D、一片一端设于该气座D顶端的托臂板E、以及一设于该气座D与该托臂板E间的密封圈F；所述第二托臂组4，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨2配合的滑座A、一设于该滑座A顶端并能与该挠性带体7配合的连接板C、一设于该连接板C顶端的支撑块B、一设于该连接板C顶端的气座D、一片一端设于该气座D顶端的托臂板E、以及一设于该气座D与该托臂板E间的密封圈F。

其中，第一托臂组3与第二托臂组4两者，都包含有滑座A、支撑块B、连接板C、气座D、托臂板E及密封圈F，而主要的差异在于连接板C的设置位置，通过连接板C的应用，让第一托臂组3、第二托臂组4能分别配合挠性带体7，有效率地实现同步反向稳定位移，还更便于生产与维护。

请参阅图2，所述挠性带体7，其是为一皮带或链条结构[图中未揭示]。

其中，通过皮带或链条结构的应用，能稳定地带动第一托臂组3和第二托臂组4，不用复杂、笨重的结构，就能顺利地带动两者反向同步作动，便于应用且容易维护。

其次，皮带结构、链条结构的两种应用之中，又以皮带结构为较优的应用选择。

请参阅图3和图4，所述连接板C，其与该挠性带体7连接处，还设有一能供容纳该挠性带体7对应部分的沟槽C1，而该沟槽C1的顶端开口处，还设有一能与该挠性带体7配合的定位片体C2；所述气座D，其还设有一设于该气座D顶端且对应于该密封圈F的气孔D1、一设于该气座D内且能让该气孔D1与外部真空泵连通的通气道D2、以及一与该托臂板E一端配合的定位凹槽D3；所述托臂板E，其还包括有一由固定端往外呈由宽变窄状设置的托臂本体E1、及一嵌设于该托臂本体E1底端面的封闭片体E2，该托臂本体E1自由端设有一吸气定位孔E11，而该托臂本体E1内设有一由该吸气定位孔E11处，延伸设置至对应于该气孔D1处的通气槽E12，另该托臂本体E1与该封闭片体E2嵌合处，还凹设有一与该通气槽E12连通的嵌槽E121，该封闭片体E2对应于该气孔D1处，还设有一通道孔E21。

其中，通过沟槽C1与定位片体C2的配合，与挠性带体7稳固配合，能被挠性带体7所带动而稳定地位移；通过气孔D1及通气道D2的配合，让外部真空泵能顺利地吸气，同时利用定位凹槽D3，让托臂板E一端能对应配合，避免与气孔D1间发生错位的问题；通过托臂本体E1来提供稳定的支撑；通过吸气定位孔E11配合通气槽E12，让吸气定位孔E11能顺利运作；通过嵌槽E121与封闭片体E2配合，将通气槽E12封闭；通过通道孔E21，让外部真空泵能通过通气道D2、通气孔D1、通气槽E12及吸气定位孔E11配合，顺利地发挥作用，吸气定位晶圆。

请参阅图3至图5，所述托臂板E，其于该吸气定位孔E11处，还开设有一与该吸气定位孔E11连通的定位吸气槽E111。

其中，通过定位吸气槽E111的应用，让吸气定位孔E11的吸气定位范围扩大，能更稳定地吸住晶圆，确保晶圆在本实用新型宽度可调式移动机构100移动过程中，不会发生位移，避免意外掉落。

请参阅图3至图5，所述托臂板E，其于对应于该定位吸气槽E111处，还往上凸设形成有一支撑台座E13。

其中，通过支撑台座E13的应用，提供足够的支持，同时避免与托臂板E接触过多，影响到晶圆，并同时避免掉不易脱离的状况，让本实用新型宽度可调式移动机构100顺利且快速的移动晶圆。

请参阅图1和图2，所述座体1，其还包括有一极限感测部13，该极限感测部13设于该垂直部11，对应于该第一托臂组3的后侧面一端；所述第一托臂组3，其还包括有一触动片G，该触动片G设于该连接板C对应于该极限感测部13的一侧处，能与该极限感测部13配合。

其中，通过极限感测部13与触动片G的配合，能避免驱动装置8运作异常，导致挠性带体7作动过多，让第一托臂组3与第二托臂组4产生移动过多的问题，能强制驱动装置8停止运作，有效保护装置，避免装置发生损伤。

请参阅图1和图2，所述座体1，其还包括有一中央挡块14、一第一挡块15、及一第二挡块16，该中央挡块14设于该水平部12边缘中央，该第一挡块15设于该水平部12边缘邻近于该第一托臂组3的一端，该第二挡块16设于该水平部12边缘邻近于该第二托臂组4的一端。

其中，通过中央挡块14的应用，避免第一托臂组3与第二托臂组4回到中央时，因意外相互撞击，而利用第一挡块15及第二挡块16，避免第一托臂组3与第二托臂组4往两侧移动时，因意外脱离导轨2。

以上依据图示所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。