一种用于硅片贴膜上的固定装置的制作方法

文档序号:16817540发布日期:2019-02-10 22:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于硅片贴膜上的固定装置,其特征在于,包括治具底板、支撑柱、导引底座、防呆导引块、限位块和前导向块,所述支撑柱竖立在所述治具底板的上部,所述导引底座位于所述支撑柱上,所述防呆导引块位于所述导引底座的上部一边缘处,所述限位块位于所述导引底座上,所述导引底座四个方向上的边缘处至少设置有一前导向块。

2.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置,其特征在于,所述支撑柱为4个,所述4个支撑柱位于所述治具底板的四角。

3.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置,其特征在于,所述治具底板、所述支撑柱和所述导引底座间是通过螺栓固定连接的。

4.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置,其特征在于,所述防呆导引块的形状为L型。

5.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置,其特征在于,所述导引底座的表面是下凹设置。

6.根据权利要求5所述的用于硅片贴膜上的固定装置,其特征在于,所述限位块位于所述下凹处。

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