监控系统及自动物料传送系统的制作方法

本实用新型涉及半导体集成电路自动搬运技术领域，尤其涉及一种监控系统及自动物料传送系统。

背景技术：

自动物料传送系统(AMHS，Automated Material Handling System)一般包括有多个晶圆运输设备(OHT，Overhead Hoist Transport)，该晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿轨道移动。当晶圆运输设备出现故障时，会导致整个自动物料传送系统无法正常运转。

相关技术中，通常通过故障报警装置监控每一个晶圆运输设备的运行状态，当任意一个晶圆运输设备出现故障时，该故障报警装置会发出报警信息，从而便于维修人员对故障晶圆运输设备进行维修。

然而，相关技术中，维修人员对故障晶圆运输设备进行维修时，需要对故障现场进行勘察，该勘察过程费时费力。

需要说明的是，在上述背景技术部分实用新型的信息仅用于加强对本实用新型的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种监控系统及自动物料传送系统。该监控系统可以帮助维修人员快速找到晶圆运输设备的故障原因，缩短维修时间。

本实用新型的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本实用新型的实践而习得。

根据本实用新型的一个方面，提供一种监控系统，用于监控多个晶圆运输设备，所述晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿一轨道移动，所述监控系统包括：故障报警装置、图像采集装置、第一处理单元、控制装置。故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息，每个所述晶圆运输设备具有唯一的标识信息；图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的轨道图像信息和抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的报警信息时，根据所述标识信息、故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述监控系统还包括：无线信号发射器和桥接器。无线信号发射器与所述第一处理单元连接，用于无线发射所述影像信息；桥接器与所述无线信号发射器连接，用于无线接收所述影像信息并有线转发所述影像信息。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述监控系统还包括：集线器。集线器的输入端与所述桥接器连接，所述集线器的输出端与所述控制装置连接，用于将所述影像信息有线传输到所述控制装置。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述故障报警装置包括：故障检测单元和第二处理单元。故障检测单元用于检测所述晶圆运输设备的运行状态，并根据所述运行状态生成包括故障时间的故障信息；第二处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述故障检测单元连接，用于将所述晶圆运输设备的故障信息与其标识信息相关联并生成所述报警信息。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述报警信息还包括用于记录故障类型的故障代码，所述故障报警装置还包括：故障类别检测单元。故障类别检测单元用于根据所述晶圆运输设备的运行状态生成故障代码；所述第二处理单元还用于将所述晶圆运输设备的故障信息、所述标识信息和所述故障代码相关联并生成所述报警信息。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述报警信息还包括用于记录所述晶圆运输设备位置的位置信息，所述故障报警装置还包括：位置传感器。位置传感器用于检测所述晶圆运输设备的位置信息；所述第二处理单元还用于将所述晶圆运输设备的故障信息、位置信息、所述标识信息和所述故障代码相关联并生成所述报警信息。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述图像采集装置包括：第一图像采集装置和第二图像采集装置。第一图像采集装置用于采集所述轨道图像信息；第二图像采集装置用于采集所述抓放图像信息。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述桥接器为一个或多个。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述图像采集装置为摄像机。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述晶圆运输设备包括设置于所述轨道上方的行走部件和设置于所述轨道下方的抓取部件，所述抓取部件用于抓放晶圆盒，所述行走部件用于在轨道上移动，所述第一图像采集装置设置于所述行走部件上，所述第二图像采集装置设置于所述抓取部件上。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述监控系统还包括：显示装置。显示装置与所述控制装置连接，用于显示所述影像信息和所述报警信息。

本实用新型的一种示例性实施例中，所述无线信号发射器为无线网卡。

根据本实用新型的一个方面，提供一种自动物料传送系统，包括多个晶圆运输设备以及上述的监控系统。

本实用新型提供一种监控系统及自动物料传送系统。该监控系统包括：故障报警装置、图像采集装置、第一处理单元、控制装置。故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息；图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的轨道图像信息和抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的报警信息时，根据所述标识信息、故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。一方面，该监控系统可以整合并储存所述影像信息和报警信息，维修人员可以根据整合后的信息快速查看故障晶圆运输设备发生故障的图像信息，从而减少维修人员检查晶圆运输设备轨道行走故障和抓放晶圆盒故障所需时间以及维修人员人力，提高维修效率；另一方面，该监控系统结构简单，成本较低。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本公开监控系统一种示例性实施例的功能结构框图；

图2为本公开监控系统的结构示意图；

图3为本公开监控系统一种示例性实施例中控制装置的结构示意图；

图4本公开监控系统一种示例性实施例的功能结构框图；

图5为本公开监控系统一种示例性实施例中图像采集装置结构示意图；

图6为本公开监控系统一种示例性实施例中晶圆运输设备的局部放大图；

图7为本公开监控系统一种示例性实施例中故障报警装置的结构示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本实用新型将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。其他相对性的用语，例如“高”“低”“顶”“底”“左”“右”等也作具有类似含义。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。

相关技术中，故障报警装置监控每一个晶圆运输设备的运行状态，当任意一个晶圆运输设备出现故障时，该故障报警装置会发出报警信息，维修人员根据报警信息对故障晶圆运输设备进行维修。然而，晶圆运输设备一般距离地面4.5米以上，检测晶圆运输设备时需要登高作业，并且需要将晶圆运输设备从轨道上取下，该过程费时费力。

基于此，本示例性实施例首先提供一种监控系统，如图1、2所示，图1为本公开监控系统一种示例性实施例的功能结构框图，图2为本公开监控系统的结构示意图。该监控系统用于监控多个晶圆运输设备1，所述晶圆运输设备1用于抓放晶圆盒2并带动所述晶圆盒2沿一轨道3移动，所述监控系统包括：故障报警装置4、图像采集装置5、第一处理单元6、控制装置7。故障报警装置4用于在所述晶圆运输设备1发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息，每个所述晶圆运输设备1具有唯一的标识信息；图像采集装置5设置于所述晶圆运输设备1上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元6设置于所述晶圆运输设备1上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述图像采集装置5连接，用于将所述晶圆运输设备1的轨道图像信息和抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置7用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的报警信息时，根据所述标识信息、故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。

本实用新型提供一种监控系统及自动物料传送系统。该监控系统包括：故障报警装置、图像采集装置、第一处理单元、控制装置。故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息；图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的轨道图像信息和抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的报警信息时，根据所述标识信息、故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。一方面，该监控系统可以整合并储存所述影像信息和报警信息，维修人员可以根据整合后的信息快速查看故障晶圆运输设备发生故障的图像信息，从而减少维修人员检查晶圆运输设备轨道行走故障和抓放晶圆盒故障所需时间以及维修人员人力，提高维修效率；另一方面，该监控系统结构简单，成本较低。

本示例性实施例中，轨道图像信息和抓放图像信息包括采集图像对应的时间。如图3所示，为本公开监控系统一种示例性实施例中控制装置的结构示意图。控制装置7可以包括有判断单元71和存储单元72，判断单元71可以根据报警信息中的标识信息和时间信息关联影像信息中对应的轨道图像信息和抓放图像信息，从而整合影像信息和报警信息。整合后的信息包括时间信息、标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息。存储单元可以存储整合后的信息。维修人员可以根据整合后的信息快速查看故障晶圆运输设备发生故障的图像信息。

本示例性实施例中，如图4所示，为本公开监控系统一种示例性实施例的功能结构框图。所述监控系统还可以包括：无线信号发射器8和桥接器9。无线信号发射器8与所述第一处理单元6连接，用于无线发射所述影像信息；桥接器9与所述无线信号发射器8连接，用于无线接收所述影像信息并有线转发所述影像信息。所述监控系统还可以包括：集线器10。集线器10的输入端与所述桥接器9连接，输出端与所述控制装置7连接，用于将所述影像信息有线传输到所述控制装置7。其中，该无线信号发射器8和第一处理单元6可以直接设置在晶圆运输设备1上，每一个晶圆运输设备上可以设置有一个第一处理单元和一个无线发射器。桥接器9的无线连接端可以同时与一个或多个无线信号发射器8无线连接，桥接器9的有线连接端可以与集线器10连接。无线信号发射器8、桥接器9和集线器10共同作用将第一处理单元6发出的的影像信息传输到控制装置7上。其中，无线信号发射器8可以为无线网卡，用于无线发射所述影像信息，从而避免信号线对晶圆运输设备的正常运输造成影响；桥接器9可以为一个或多个，每个桥接器9可以无线连接一个或多个无线信号发射器8，用于转发与其连接的无线信号发射器8发出的影像信息；集线器10可以与多个桥接器9连接，用于增加影像信息传输的距离。

本示例性实施例中，如图2、5、6所示，图5为本公开监控系统一种示例性实施例中图像采集装置结构示意图，图6为本公开监控系统一种示例性实施例中晶圆运输设备的局部放大图。所述图像采集装置5可以包括：第一图像采集装置51和第二图像采集装置52。第一图像采集装置51用于采集所述轨道图像信息；第二图像采集装置52用于采集所述抓放图像信息。如图2所示，所述晶圆运输设备包括设置于所述轨道上方的行走部件101和设置于所述轨道下方的抓取部件102，所述第一图像采集装置51可以设置于所述行走部件101上，且第一图像采集装置51的摄像方向与轨道的延伸方向平行；所述第二图像采集装置52设置于所述抓取部件102上，且第二图像采集装置52的摄像方向与晶圆运输设备的抓放方向平行。其中，所述第一图像采集装置51、第二图像采集装置52可以通过螺接、焊接等方式设置于所述行走部件101、抓取部件102上。第一图像采集装置51和第二图像采集装置52可以为摄像机。

本示例性实施例中，如图7所示，为本公开监控系统一种示例性实施例中故障报警装置的结构示意图。所述故障报警装置可以包括：故障检测单元41和第二处理单元42。故障检测单元41用于检测所述晶圆运输设备的运行状态，并根据所述运行状态生成包括故障时间的故障信息；第二处理单元42设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的标识信息，与所述故障检测单元41连接，用于将所述晶圆运输设备的故障信息与其标识信息相关联并生成所述报警信息。

本示例性实施例中，如图7所示，所述报警信息还可以包括用于记录故障类型的故障代码，所述故障报警装置还可以包括：故障类别检测单元43。故障类别检测单元43用于根据所述晶圆运输设备的运行状态生成故障代码；所述第二处理单元还用于将所述晶圆运输设备的故障信息、所述标识信息和所述故障代码相关联并生成所述报警信息。其中，故障代码可以指示故障类型。本示例性实施例中，维修人员可以在查看故障晶圆运输设备的图像信息的同时调取障晶圆运输设备的故障代码。

本示例性实施例中，如图7所示，所述报警信息还可以包括用于记录所述故障晶圆运输设备位置的位置信息，所述故障报警装置4还可以包括位置传感器44。位置传感器44用于检测所述晶圆运输设备的位置信息；所述第二处理单元还用于将所述晶圆运输设备的故障信息、位置信息、所述标识信息和所述故障代码相关联并生成所述报警信息。本示例性实施例中，维修人员可以在查看故障晶圆运输设备的图像信息的同时调取障晶圆运输设备的位置信息。

本示例性实施例中，如图1、2、3所示，所述监控系统还包括：显示装置11。显示装置11可以与所述控制装置7连接，用于显示所述影像信息和所述报警信息。

本示例性实施例还提供一种自动物料传送系统，包括多个晶圆运输设备以及上述的监控系统。

本示例性实施例中的自动物料传送系统还可以运输其他货物，该自动物料传送系统与上述的监控系统具有相同的技术特征和工作原理，此处不再赘述。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本公开的其他实施例。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限。