一种微电子器件一体化封装结构的制作方法

本实用新型涉及微电子封装技术领域，具体涉及一种微电子器件一体化封装结构。

背景技术：

当微电子器件应用于空间领域时，当中存在的辐射源会对其产生辐照效应，引起器件电气性能退化，甚至失效等。因此，需要对微电子器件进行抗辐照防护。目前抗辐照防护途径主要有芯片加固技术、系统容错设计等，芯片加固具有明显的性能优势，但也存在芯片性能受限、设计制造难度高、研发和制造周期长、成品率低、成本高昂等问题。此外，当微电子器件面临禁运或选型受限时，需要对已有的常规器件进行抗辐照防护，提高常规器件的抗辐照性能，从而弥补芯片未进行抗辐照加固带来的不足。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种微电子器件一体化封装结构，能够对常规微电子器件进行抗辐照屏蔽，且工艺实施方便，不影响进一步组装集成。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种微电子器件一体化封装结构，包括底座及盖帽，所述底座的中部为微电子器件的组装区，所述组装区的边缘设有用于连接微电子器件的内部金属区，底座的外周设有用于连接外部器件的外部金属区，所述内部金属区与外部金属区通过内埋于底座中的金属通道连通，所述内部金属区与外部金属区之间设有中间金属区，通过中间金属区将内部金属区与外部金属区间隔开，且中间金属区与外部金属区及内部金属区均不连通，所述盖帽的大小与所述中间金属区的大小相适配，所述盖帽通过中间金属区与底座密封连接，且盖帽与底座所形成的密封空间能够容纳微电子器件。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述内部金属区是由多个与微电子器件的管脚相配合的第一焊盘构成。

所述外部金属区由多个与所述第一焊盘数量相同且一一互连的第二焊盘构成，所述第二焊盘依次间隔排列在所述底座的外周，通过焊接或键合方式与外界互连。

所述盖帽采用钎焊或环氧胶粘接方式固定于底座的中间金属区。

由上述技术方案可知，本实用新型所述的微电子器件一体化封装结构，能够对常规微电子器件进行抗辐照屏蔽，且工艺实施方便，不影响进一步组装集成，可根据微电子器件具体类型灵活设计一体化封装外壳的结构及尺寸，适用范围广。

附图说明

图1是本实用新型的底座结构示意图；

图2是本实用新型的盖帽结构示意图；

图3是本实用新型的底座与盖帽配合安装后的结构示意图；

图4是图3的分解图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明：

如图1-4所示，本实施例的微电子器件一体化封装结构，包括底座1及盖帽2，底座1的中部为微电子器件的组装区14，在组装区14的边缘设有用于连接微电子器件的内部金属区11，在底座1的外周设有用于同外界互连的外部金属区13，内部金属区11与外部金属区13通过内埋于底座1中的金属通道一一连通，内部金属区11与外部金属区13之间设有中间金属区12，通过中间金属区12将内部金属区11与外部金属区13之间隔开，且中间金属区12与外部金属区13及内部金属区11均不连通，盖帽2的尺寸与中间金属区12的尺寸相适配，盖帽2通过中间金属区12与底座1形成密封连接，且盖帽2与底座1所形成的密封空间能够容纳微电子器件。底座1下表面做整体金属化处理，以保证形成的一体化封装模块可采用焊接或粘接工艺进一步组装集成。

本实施例的内部金属区11是由多个与所装微电子器件的管脚相配合的第一焊盘构成。外部金属区13由多个与第一焊盘的数量相同且一一连通的第二焊盘构成，第二焊盘依次间隔排列在底座1的外周，可通过引线钎焊或键合等方式同外界互连。

底座1采用高/低Z复合材料制作而成，如底座1采用W-Al2O3陶瓷多层叠加烧制而成。盖帽2采用高Z材料制作成，并在其表层镀金，以进一步提高外壳屏蔽效果；本实施例的高Z材料为Ta。盖帽2采用钎焊或环氧胶粘接方式固定于底座1的中间金属区12。

组装时，将微电子器件（芯片）放置在组装区14的相应位置，采用再流焊或导电胶粘接方式将芯片组装固定于内部金属区11，芯片的管脚与内部金属区11的焊盘一一对应连接，然后将盖帽2固定在中间金属区12位置，盖帽2与底座1形成密封结构，即一体化封装模块，具体如图3所示。

本实施例的微电子器件一体化封装步骤如下：

在底座1的上表面限定芯片载体所在的位置；在所限定的相应位置设置芯片组装的内部金属区11域，在内部金属区11域的外部设置同外界互连的外部金属区13域，其外部金属区13域与内部金属区11域之间形成区域隔断带，其内部金属区11域与外部金属区13域通过内埋在底座1中的金属通道一一连通；在隔断带上设置中间金属区12域，其芯片载体被中间金属区12域包围；将芯片通过再流焊或导电胶粘接方式组装固定于内部金属区11域，采用金属材质表层镀金的盖帽2覆盖在芯片所在的内部金属区11域，将盖帽2的侧壁通过钎焊或环氧胶粘接方式固定于底座的中间金属区12域上，以形成用于容纳芯片及内部金属区11域的屏蔽罩，所形成的一体化封装模块可采用焊接或粘接工艺进一步组装集成，通过外部金属区13域同外界互连。

以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。