一种扫描电镜样品台装置的制作方法

本实用新型涉及场发射扫描电镜测试设备技术领域，尤其涉及一种扫描电镜样品台装置。

背景技术：

扫描电镜即扫描电子显微镜，扫描电镜将聚焦的高能电子束轰击样品表面，通过对电子束与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等信号的分析，可对试样表面以及断口形貌进行观察和分析；扫描电镜具有高分辨率，高放大倍数，景深大、视野大、成像富有立体感的优点，搭配X射线能谱仪，同时可进行形貌观察和微区成分分析；扫描电镜是锂电池材料领域的一种重要的表征分析手段，可用于研究正负极材料的形貌以及成分，观测材料粒径大小，球形度以及不同锂化物的含量和分布等，此外，扫描电镜还可用于观测分析循环后电池材料的变化，电芯材料异常点问题等，在锂电池领域应用十分广泛；但是对于一些对水或空气敏感的一些材料来说，扫描电镜传统的直接在空气中制样方法可能会导致观测或分析结果误差过大，如高镍三元材料制样过程中，高镍三元材料接触空气和水分会发生变化，会导致物质的形貌的变化，嵌锂的负极片，以及涂有锂金属的材料等暴露在空气中会放热甚至燃烧，不仅物质形貌成分发生变化，而且存在一定的危险性；由此，设计一种可隔绝空气的封闭式样品台，对水分空气敏感的样品的扫描电镜测试是至关重要的。

技术实现要素：

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种扫描电镜样品台装置。

本实用新型提出的一种扫描电镜样品台装置，包括样品座、多个样品载台和密封壳体；

多个样品载台可拆卸地安装在样品座上，密封壳体包围在样品座外部，密封壳体内外气压差大于预定值时，密封壳体打开。

优选地，密封壳体包括第一壳体部和第二壳体部，第一壳体部与第二壳体部密封配合，密封壳体内外气压差大于预定值时，所述密封配合失效，样品座位于第一壳体部和第二壳体部围合形成的空间内。

优选地，第一壳体部和第二壳体部分别通过推拉杆与样品座连接，推拉杆移动方向平行于第一壳体部和第二壳体部连线方向。

优选地，密封壳体上设有开口，开口处设有密封盖，密封盖与密封壳体密封配合，密封壳体内外气压差大于预定值时，所述密封配合失效。

优选地，样品座上设有多个安装孔，样品载台包括一体成型的安装部和载物部，安装部配合在安装孔中。

优选地，样品座上设有多个螺纹孔，多个螺纹孔分别贯穿多个安装孔侧壁，螺纹孔中配合有螺丝。

优选地，样品座、样品载台采用铝制材料制成。

本实用新型中，所提出的扫描电镜样品台装置，样品座位于密封壳体内，当密封壳体内充满惰性气体状态下，可避免样品座上的空气敏感型样品接触水分或空气受到污染破坏。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种扫描电镜样品台装置的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，图1为本实用新型提出的一种扫描电镜样品台装置的结构示意图。

参照图1，本实用新型提出的一种扫描电镜样品台装置，包括样品座1、多个样品载台2和密封壳体；

本实施例中的样品座1呈圆柱状结构，多个样品载台2可拆卸地安装在样品座1一侧端面上，密封壳体包围在样品座1外部，当密封壳体内气压大于密封壳体外部气压一定值时，密封壳体打开。

本实施例中，密封壳体包括第一壳体部3和第二壳体部4，第一壳体部3与第二壳体形状尺寸相同，第一壳体部3和第二壳体部4外形呈二分之一圆柱状，第一壳体部3与第二壳体部4密封配合，样品座1位于第一壳体部3和第二壳体部4围合形成的空间内，样品座1一半位于第一壳体部3内，另一半位于第二壳体部4内，密封壳体内外气压差大于预定值时，所述密封配合失效，第一壳体部3和第二壳体部4脱离，样品座1上的多个样品载台2暴露出来。

进一步地，第一壳体部3和第二壳体部4分别通过推拉杆5与样品座1连接，推拉杆5移动方向平行于第一壳体部3和第二壳体部4连线方向，进而第一壳体部3和第二壳体部4移动方向共线，当密封壳体内气压大于密封壳体外部气压一定值时，第一壳体部3和第二壳体部4反向移动。

第一壳体部3或第二壳体部4相配合位置设有密封圈，第一壳体部3扣合在第二壳体部4上的密封圈上或第二壳体部4扣合在第一壳体部3上的密封圈上，从而保持壳体内外隔绝，当密封壳体内气压大于密封壳体外部气压一定值时，第一壳体部3与第二壳体部4上的密封圈脱离或第二壳体部4与第一壳体部3上的密封圈脱离。

在壳体的另一种设计方式上，密封壳体上设有开口，开口处设有密封盖，密封盖与密封壳体密封配合，当密封壳体内气压大于密封壳体外部气压一定值时，所述密封配合失效，密封盖打开，样品座1上的多个样品载台2暴露出来。

本实施例中，样品座1上设有多个安装孔，样品载台2包括一体成型的安装部和载物部，安装部配合在安装孔中，载物部用于承载样品；进一步地，样品载台2分为平面样品载台2和截面样品载台2，分别用于承载不同种类的样品。

为了固定样品载台2，样品座1上设有多个螺纹孔11，多个螺纹孔11轴线平行于样品座1一侧端面，多个螺纹孔11分别贯穿多个安装孔侧壁，螺纹孔11中配合有螺丝，当安装部配合进入安装孔中后，旋紧螺丝，使得螺丝端部抵靠在安装部上，从而将样品载台2固定住。

本实施例中，样品座1、样品载台2采用铝制材料制成。

本实施例的扫描电镜样品台装置的具体使用过程中，包括以下几个过程:

开启第一壳体部3和第二壳体脱离，使得多个样品载台2暴露出来，在各个样品载台2上贴上导电胶，将各样品载台2按序号分别配合在相应的安装孔中，第一壳体部3和第二壳体保持脱离状态，将样品台装置转移至惰性气氛的手套箱中；

在手套箱中将待测样品按序号粘在各个样品载台2的导电胶表面，旋紧螺丝，推动第一壳体部3和第二壳体部4使两者相互密封配合；

将样品台装置从手套箱移出，转移至扫描电镜样品室内；

将扫描电镜样品室抽真空，当真空度达到一定值时，此时壳体内气压大于壳体外气压一定值，壳体内的气压将第一壳体部3和第二壳体部4撑开，第一壳体部3和第二壳体部4反向移动，多个样品载台2暴露出来；

按扫描电镜正常测试步骤对样品进行拍摄、测试、记录数据；

测试结束后，向扫描电镜样品室补入惰性气体如N2，取出样品台，测试结束对样品进行后处理，样品台清理后备用。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。