一种晶圆片输送机构的制作方法

本发明涉及中转输送技术领域，尤其涉及一种晶圆片输送机构。

背景技术：

晶圆片，是指先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆片。晶圆片可以用来加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。

晶圆片在生产线上需要经过数百条工序。因此，在两处工序相交的地方，常常需要将晶圆片的位置进行转移。目前，在生产中，将晶圆片从一处工序转移到另一处工序中时，为了避免损坏，大多采用人工戴上专门的防磨损手套，一片一片转移。该种方法虽然可以部分避免晶圆片的破损，但是耗费人力，且耗时较长。

并且，现有的晶圆片输送距离一般是固定的，即根据实际输送距离铺设传送轨道，不能即时进行调节。这就导致传送轨道的长短不一，无法做成制式设备，不便于制式生产，降低成本。

因此，目前急需一种能够解决上述问题的晶圆片输送机构。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种晶圆片输送机构，其结构巧妙，能够代替人工转移晶圆片，避免手工转运晶圆片产生损坏，同时还提高了整个晶圆片生产线的生产效率。

为实现上述目的，本发明提供一种晶圆片输送机构，包括安装架，所述安装架上边缘水平设有一在驱动机构的作用下直线往复移动的承托平台；所述安装架上部和承托平台上分别设有位于同一高度且轴线水平延伸的第一转向辊和导轮；还包括沿承托平台的移动方向布置且套设在第一转向辊和导轮上的送料皮带，安装架上还设有送料皮带的动力装置和皮带收紧装置。

作为本发明的更进一步改进，所述安装架下部的一侧设有用于引导送料皮带水平转向且能轴向转动的第二转向辊，所述安装架下部的另一侧设有用于引导送料皮带向上转向的第三转向辊，所述皮带收紧装置设置在第三转向辊的上部。

作为本发明的更进一步改进，所述第二转向辊上设有引导其轴向转动的主动轮，所述主动轮与动力装置传动连接。

作为本发明的更进一步改进，所述皮带收紧装置包括一推动机构，所述推动机构的上端面设有一能在推动机构的作用下沿承托平台的移动方向往复移动的滑盖，所述滑盖的上端面设有用于引导送料皮带向上转向且能水平移动收紧皮带的第四转向辊。

作为本发明的更进一步改进，所述安装架的上边缘设有沿承托平台的移动方向布置的导向杆，与承托平台连接的驱动机构套接在导向杆上。

作为本发明的更进一步改进，所述导向杆的两端设有限位部，所述安装架的上边缘还设有两条与承托平台的下端面滑动配合的导轨。

作为本发明的更进一步改进，所述承托平台上设有两条沿承托平台的移动方向同向延伸的悬臂，所述悬臂与承托平台位于同一水平面，每条所述悬臂上皆安装有一条送料皮带。

作为本发明的更进一步改进，所述悬臂的中部和远离安装架的一端设有用于安装送料皮带的导轮；所述悬臂的靠近安装架的一端的下端面设有用于安装送料皮带的第五转向辊。

作为本发明的更进一步改进，所述安装架包括一块水平布置的底板，所述底板的上端面设有两块竖直布置且互相平行的安装板。

作为本发明的更进一步改进，所述安装架上边缘在远离承托平台的一端设有设置在承托平台的移动方向两侧的限位柱。

有益效果

与现有技术相比，本发明的一种晶圆片输送机构的优点为：

1、在本发明中，安装架上部和承托平台上分别设有位于同一高度且轴线水平延伸的第一转向辊和导轮；还包括沿承托平台的移动方向布置且套设在第一转向辊和导轮上的送料皮带，安装架上还设有送料皮带的动力装置和皮带收紧装置。通过承托平台的移动，确定晶圆片输送的路径长度。晶圆片放置在送料皮带上面，并通过送料皮带的移动转移晶圆片的位置。该装置能够代替人工转移晶圆片，避免手工转运晶圆片产生损坏，也节省了人工。同时，将该装置运用到晶圆片生产、加工领域之后，还能有效提高晶圆片生产线的自动化，进而提高整个晶圆片生产线的生产效率。

2、第二转向辊能够带动送料皮带转动，用于运输晶圆片。同时，皮带收紧装置能够通过水平移动收紧送料皮带，使得送料皮带不会随着承托平台的位移变化产生松动和脱落，保证了整个装置工作的稳定性。

3、第二转向辊上设有引导其轴向转动的主动轮，主动轮与一动力装置传动连接。通过动力装置驱动主动轮，主动轮带动第二转向辊，进而驱动整个送料皮带。

4、本发明中，动力装置没有直接设置在承托平台上，因此，动力装置产生的振动不会影响到晶圆片输送的稳定性。

通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的内部结构示意图；

图2为本发明的立体图之一；

图3为图2的正视图；

图4为本发明的立体图之二；

图5为图4的正视图。

其中：1-底板；2-安装板；21-第一转向辊；3-导向杆；31-驱动机构；32-限位部；33-导轨；4-承托平台；41-悬臂；411-导轮；42-第五转向辊；5-送料皮带；6-动力装置；61-主动轮；62-第二转向辊；63-第三转向辊；7-皮带收紧装置；71-推动机构；72-滑盖；73-第四转向辊；8-限位柱。

具体实施方式

现在参考附图描述本发明的实施例。

实施例

本发明的具体实施方式如图1-5所示，一种晶圆片输送机构，包括安装架，安装架上边缘水平设有一在驱动机构31的作用下直线往复移动的承托平台4，通过承托平台4的移动，确定晶圆片输送的路径长度。安装架上部和承托平台4上分别设有位于同一高度且轴线水平延伸的第一转向辊21和导轮411；还包括沿承托平台4的移动方向布置且套设在第一转向辊21和导轮411上的送料皮带5，安装架上还设有送料皮带5的动力装置6和皮带收紧装置7。晶圆片放置在送料皮带5上面，并通过送料皮带5的移动转移晶圆片的位置。

该装置能够代替人工转移晶圆片，避免手工转运晶圆片产生损坏，也节省了人工。同时，将该装置运用到晶圆片生产、加工领域之后，还能有效提高晶圆片生产线的自动化，进而提高整个晶圆片生产线的生产效率。

并且，安装架下部的一侧设有用于引导送料皮带5水平转向且能轴向转动的第二转向辊62，安装架下部的另一侧设有用于引导送料皮带5向上转向的第三转向辊63，皮带收紧装置7设置在第三转向辊63的上部。皮带收紧装置7能够通过水平移动收紧送料皮带5，使得送料皮带5不会随着承托平台4的位移变化产生松动和脱落，保证了整个装置工作的稳定性。

其中，第二转向辊62上设有引导其轴向转动的主动轮61，主动轮61与动力装置6传动连接。通过动力装置6驱动主动轮61，主动轮61带动第二转向辊62，进而驱动整个送料皮带5；第二转向辊62能够带动送料皮带5转动，用于运输晶圆片。

皮带收紧装置7包括一推动机构71，推动机构71的上端面设有一能在推动机构71的作用下沿承托平台4的移动方向往复移动的滑盖72，滑盖72的上端面设有用于引导送料皮带5向上转向且能水平移动收紧皮带的第四转向辊73。

同时，安装架的上边缘设有沿承托平台4的移动方向布置的导向杆3，与承托平台4连接的驱动机构31套接在导向杆3上。导向杆3的两端设有限位部32，安装架的上边缘还设有两条与承托平台4的下端面滑动配合的导轨33。此外，在实际安装过程中，也可以将导向杆3和驱动机构31配合的结构替换为一个磁耦气缸。通过磁耦气缸来驱动承托平台4的往复移动。

承托平台4上设有两条沿承托平台4的移动方向同向延伸的悬臂41，悬臂41与承托平台4位于同一水平面，每条悬臂41上皆安装有一条送料皮带5。悬臂41与承托平台4一起刚好形成一个u型。

另外，悬臂41的中部和远离安装架的一端设有用于安装送料皮带5的导轮411；悬臂41的靠近安装架的一端的下端面设有用于安装送料皮带5的第五转向辊42。

本实施例中，需要注意的是：

动力装置没有直接设置在承托平台上，因此，动力装置产生的振动不会影响到晶圆片输送的稳定性。

滑盖72的移动方向和承托平台4的移动方向相反。

安装架包括一块水平布置的底板1，底板1的上端面设有两块竖直布置且互相平行的安装板2。

安装架上边缘在远离承托平台4的一端设有设置在承托平台4的移动方向两侧的用于防止晶圆片掉落的限位柱8。

以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效排合。