技术特征：
技术总结
本发明公开了一种晶圆片输送机构，包括安装架，所述安装架上边缘水平设有一在驱动机构的作用下直线往复移动的承托平台；所述安装架上部和承托平台上分别设有位于同一高度且轴线水平延伸的第一转向辊和导轮；还包括沿承托平台的移动方向布置且套设在第一转向辊和导轮上的送料皮带，安装架上还设有送料皮带的动力装置和皮带收紧装置。本发明提供的一种晶圆片输送机构，其结构巧妙，能够代替人工转移晶圆片，避免手工转运晶圆片产生损坏，同时还提高了整个晶圆片生产线的生产效率。
技术研发人员：陈义红;李贵林;陈聪;李陵江
受保护的技术使用者：广州安特激光技术有限公司
技术研发日：2019.02.20
技术公布日：2019.06.14