一种离子植入机旋转角度监控系统的制作方法

本发明属于半导体晶圆生产相关技术领域，具体涉及一种离子植入机(apply/variane220/500系列离子注入机)roplat旋转角度监控系统。

背景技术：

离子植入机用于半导体晶圆生产，是晶圆生产的关键机台。roplat部件则是负责四象限注入的运动部件，四象限注入也是芯片生产过程中的关键工艺，晶圆在传输到静电吸盘上后由roplat部件带动吸盘转动从而实现四个象限的角度注入。

现有的apply/variane220/500系列离子注入机roplat旋转角度监控技术存在以下问题：由于roplat部件位于真空腔体内并且附近部件多且精密，旋转的角度要求精密，但是由于这个位置反馈位于电机端，而从电机到最后的转动吸盘中间还有很多连接部件，一旦这中间任何一个部件出现问题，或者编码器缺相等就会造成吸盘实际转动位置变化且机台没有实时检测，也不会发出报警的现象的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种离子植入机旋转角度监控系统，以解决上述背景技术中提出的现有的离子植入机旋转角度监控中的roplat旋转角度无法在线实时监控的难题，避免了由于没有实时检测导致的大批晶圆报废的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分与大气部分，所述高真空腔体部分的下端设置有大气部分，所述高真空腔体部分与大气部分通过套接连接，所述大气部分的下端设置有原机台柔性电缆，所述原机台柔性电缆的右端设置有连接机台原控制器，所述连接机台原控制器的右端设置有新增传感器连线，所述新增传感器连线的上端设置有电机反馈控制线，所述电机反馈控制线的上端设置有控制接口，所述控制接口的上端设置有控制器，所述控制器的左端的外侧表端设置有功能选择开关，所述功能选择开关的右端设置有电源插座，所述电源插座的下端设置有通讯插头，所述控制器的右端设置有工业控制主机，所述控制器与工业控制主机通过电性连接，所述工业控制主机的下端设置有鼠标，所述鼠标与工业控制主机通过电性连接，所述工业控制主机的下端设置有键盘，所述工业控制主机的上端设置有显示器，所述显示器与工业控制主机通过电性连接。

优选的，所述显示器为十八点五英寸液晶屏，分辨率1366乘768，所述显示器的尺寸为宽度为四十四厘米并且高度为三十四厘米。

优选的，所述新增传感器连线共设置有两根，两根所述新增传感器连线分别呈对称设置在连接机台原控制器的右端，两根所述新增传感器连线的外部壳体采用pp环保材料制成的，并采用工业高柔拖链屏蔽信号线。

优选的，所述控制器为矩形体结构，所述控制器的尺寸为长度为二十六厘米、宽度为十五厘米并且高度为八厘米。

优选的，所述功能选择开关为拨扭圆柱体结构，所述功能选择开关的尺寸为最大直径为六毫米，所述功能选择开关与电源开关电性连接。

优选的，所述原机台柔性电缆得外部壳体的材料是采用pp环保材料制成的，所述原机台柔性电缆共设置有三组，三组所述原机台柔性电缆的截面直径为四十毫米。

优选的，所述键盘采用有线连接，所述键盘与工业控制主机通过电性连接，所述键盘与显示器通过电性连接。

与现有技术相比，本发明提供了一种离子植入机旋转角度监控系统，具备以下有益效果：本发明一种离子植入机旋转角度监控系统利用一个软件硬件结合的系统来对最后的旋转吸盘的传动齿轮进行检测并得到数据传输给计算机系统，系统利用spc软件来根据不同的旋转角度设置不同的限制，一旦超过范围则软件将给信号主机台产生报警，然后工程师根据报警去排查并解决问题，解决了现有的离子植入机旋转角度监控中的roplat旋转角度无法在线实时监控的难题，避免了由于没有实时检测导致的大批晶圆报废的问题。

附图说明

图1为本发明的离子植入机旋转角度监控结构示意图；

图2为本发明的工作原理结构示意图；

图3为本发明的控制器结构示意图；

图4为本发明的工作流程示意图；

图中：1、高真空腔体部分；2、大气部分；3、原机台柔性电缆；4、连接机台原控制器；5、新增传感器连线；6、电机反馈控制线；7、控制接口；8、功能选择开关；9、控制器；10、电源插座；11、通讯插头；12、键盘；13、鼠标；14、工业控制主机；15、显示器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分1与大气部分2，高真空腔体部分1的下端设置有大气部分2，高真空腔体部分1与大气部分2通过套接连接，通过套接连接，从而可以使得整体结构的稳定性得到提高，大气部分2的下端设置有原机台柔性电缆3，原机台柔性电缆3的右端设置有连接机台原控制器4，连接机台原控制器4的右端设置有新增传感器连线5，新增传感器连线5的上端设置有电机反馈控制线6，电机反馈控制线6的上端设置有控制接口7，控制接口7的上端设置有控制器9，控制器9的左端的外侧表端设置有功能选择开关8，功能选择开关8的右端设置有电源插座10，电源插座10的下端设置有通讯插头11，控制器9的右端设置有工业控制主机14，控制器9与工业控制主机14通过电性连接，工业控制主机14的下端设置有鼠标13，鼠标13与工业控制主机14通过电性连接，工业控制主机14的下端设置有键盘12，工业控制主机14的上端设置有显示器15，显示器15与工业控制主机14通过电性连接。

进一步，显示器15为液晶屏，从而可以使得显示的数据更加的清晰，显示器15的尺寸宽度为四十四厘米并且高度为三十四厘米。

进一步，新增传感器连线5共设置有两根，两根新增传感器连线5分别呈对称设置在连接机台原控制器4的右端，两根新增传感器连线5的外部壳体采用pp环保材料制成的，从而可以使得新增传感器连线5可以不会具有污染的特点。

进一步，控制器9为矩形体结构，控制器9的尺寸寸为长度为二十六厘米、宽度为十五厘米并且高度为八厘米，从而可以使得在控制器9的作用下更好进行工作。

进一步，功能选择开关8为拨扭圆柱体结构，功能选择开关8的尺寸为最大直径为六毫米，从而可以使得按动的时候感觉更加的舒适，功能选择开关8与电源开关电性连接。

进一步，原机台柔性电缆3得外部壳体的材料是采用pp环保材料制成的，从而可以使得更好的进行连接的作用，原机台柔性电缆3共设置有三组，三组原机台柔性电缆3的截面直径为四十毫米。

进一步，键盘12采用有线连接，键盘12与工业控制主机14通过电性连接，键盘12与显示器15通过电性连接，从而可以通过键盘12可以更好的进行控制显示器15的操作。

本发明的工作原理及使用流程：本发明安装好过后，首先检查此种机器是否能够正常工作，检查电线上的插头与插座是否连接完毕，若出现不正常的噪音，应立即关闭此种机器，等待专业人员的维修，当要进行半导体圆的生产时，首先控制器9将传感器的脉冲信号进行计数，控制器9与电源开关电性连接，控制器9的型号为hrtc-03a，由于没有多余的空间安装额外的传感器，所以对roplat本体进行加工改造出一个小空间安装连接机台原控制器4，连接机台原控制器4用来感应传动齿轮的齿数，包含高真空腔体部分1和大气部分2的连接线，连接到控制器9，每完成一次旋转就产生一个数据值并传送至主机，系统软件利用公式转换成角度数值记录，主机系统由一个spc分析软件构成，每次旋转的角度值构成数据链，利用设置上限和下限等的报警规则来产生报警，并且设置的下限八十九度，上限九十一度，若是多个采样中有两个样本超出设置的上限或下限范围，那么软件就会报警。当连续几次旋转角度异常超出范围软件则会给信号控制器，控制器9中采集模块的do端接继电器的线圈输出，软件给do低电平指令继电器动作，电机电源回路连接继电器的常闭触点，这样电机电源回路就被断开，从而主机台端就会产生报警。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。