一种基于复合型全介质的光可调高Q值太赫兹吸收器的制作方法

技术总结
本发明公开了一种基于复合型全介质的光可调高Q值太赫兹吸收器，包括多个N×N排列的单元结构，每个单元结构由聚酰亚胺组成的正方形衬底和P型掺杂硅组成的圆柱形顶层构成。本发明一种基于复合型全介质的光可调高Q值太赫兹吸收器具有结构简单、易于加工，不易被氧化，稳定性强，低损耗的优点。

技术研发人员：王玥;岳莉莎;朱冬颖;崔子健;胡辉
受保护的技术使用者：西安理工大学
技术研发日：2019.06.19
技术公布日：2019.09.20