技术特征：
技术总结
本发明涉及板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，板式PECVD设备包括质量流量计M1至Mn，其中，n为3以上的自然数，标定方法包括如下步骤：步骤S1，释放反应腔体中的气体，使板式PECVD设备的反应腔体中的压力稳定至P0；步骤S2，经由质量流量计M1向板式PECVD设备的反应腔体中通入预定流量的气体，待反应腔体中的压力稳定后记录反应腔体中的压力为P1；步骤S3，重复步骤S1和步骤S2，分别记录经由质量流量计M2至Mn向板式PECVD设备的反应腔体中通入预定流量的所述气体后反应腔体中的压力P2至Pn；步骤S4，根据所测得的P1至Pn确定需要更换的质量流量计并进行更换。本发明实施例的标定方法较为准确的判断出异常的质量流量计并进行更换，保证了镀膜效果，且操作简单方便。
技术研发人员：赵环;张福庆;孙晓凯
受保护的技术使用者：晶澳太阳能有限公司;合肥晶澳太阳能科技有限公司
技术研发日：2019.07.11
技术公布日：2019.10.01