干刻机台支撑装置的制作方法

本发明属于干刻机台技术领域，更具体地说，涉及干刻机台支撑装置。

背景技术：

目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.5～0.7mm,迈入更薄(0.4mm)制程。一片tft-lcd面板需要使用两片玻璃基板，分别供作底层玻璃基板(tft)及彩色滤光片(colorfilter)底板。在干刻制程中，由干刻机台设备及腔体提供刻蚀的基本环境，干刻下部电极位于机台上，用于支撑及吸附玻璃，玻璃自身存在结构应力，随着外界温度的变化，热应力也在变化，已发表的研究结果表明，玻璃基板的挠度、等效应力和弯曲应力最大值均出现在中部，玻璃基板较厚时，应力值较小；玻璃基板变薄，应力值增加。随着科学技术的的不断发展，由显示设备提出了超薄诉求，相应的主体结构玻璃厚度也变薄，当更薄的玻璃应运于该类机台时，玻璃中间部分会下垂，导致玻璃破片风险增加。

技术实现要素：

本发明的目的是解决现有技术存在的问题，提供一种结构布置合理，对玻璃基板支撑性好，防止玻璃破损，提高干刻机台适用性的干刻机台支撑装置。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：所提供的这种干刻机台支撑装置，其特征在于：包括设于干刻下部电极板下方的主支撑机构，所述主支撑机构支撑布置支撑在玻璃基板拐角边缘位置，该支撑装置还设有支撑在所述玻璃基板两侧靠近中部位置的中部支撑机构。

为使上述技术方案更加详尽和具体，本发明还提供以下更进一步的优选技术方案，以获得满意的实用效果：

所述主支撑机构包括主支撑座，在所述主支撑座上设有支撑所述玻璃基板的主支撑销，所述主支撑座上还设有驱动其运动的驱动件。

所述主支撑座上设有间隔布置的两个主支撑销，分别对应支撑在所述玻璃基板相邻边缘处。

两组相邻的所述主支撑机构形成一组支撑模组，所述支撑装置包括两组对称布置的支撑模组，且每组支撑模组之间均连接一个所述的中部支撑机构。

所述中部支撑机构包括两端分别连接两侧所述主支撑座上的联动横梁。

在所述联动横梁连接中部支撑座，支撑在所述玻璃基板中部的中部支撑销设于所述中部支撑座上，所述中部支撑座连接在所述联动横梁上靠近中部的一侧。

所述主支撑座的中间位置连接有连接块，所述联动横梁的两端通过转动销轴连接在所述连接块上。

所述中部支撑销上套有波纹管。

所述联动横梁支撑在支撑框架内，所述支撑框架固定连接在固定底板上，同一组所述支撑模组支撑在所述固定底板。

所述支撑框架和所述中部支撑座之间设有导向立柱。

本发明与现有技术相比，具有以下优点：本发明干刻机台支撑装置，结构布置合理，对玻璃基板支撑性好，可有效防止玻璃破损，提高干刻机台适用性，具有较好的应用前景。

附图说明

下面对本说明书的附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为本发明干刻机台支撑装置结构示意图；

图2为本发明干刻机台支撑装置结构示意图；

图3为本发明干刻机台支撑装置结构示意图；

图4为本发明干刻机台支撑装置结构示意图。

图5为本发明干刻下部电极上支撑孔布置位置示意图。

图中标记为：1、主支撑机构，11、主支撑座，12、驱动件，13、主支撑销，2、中部支撑机构，21、支撑框架，22、联动横梁，23、中部支撑座，24、中部支撑销，25、波纹管，26、导向立柱，3、固定底板，4、连接块，5、干刻下部电极，51、主支撑孔，52、中部支撑孔。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

本发明这种干刻机台支撑装置，如图1、2、3、4中所示，包括设于干刻下部电极板5下方的主支撑机构1，主支撑机构1支撑布置支撑在玻璃基板拐角边缘位置，该支撑装置还设有支撑在玻璃基板两侧靠近中部位置的中部支撑机构2。在刻蚀过程中，通过主支撑机构1和中部支撑机构2稳定的支撑玻璃，实现控制加载卸载玻璃，减小因玻璃过薄破碎的风险。

本发明中，如图1、2中所示，主支撑机构1包括主支撑座11，在主支撑座11上设有支撑玻璃基板的主支撑销13，主支撑座11上还设有驱动其运动的驱动件12。主支撑座11上设有间隔布置的两个主支撑销13，分别对应支撑在玻璃基板相邻边缘处。如图5中所示，在放置干刻下部电极上设有边缘分布的八个主支撑孔51，驱动件12通过控制主支撑座11带动主支撑销13上下位移穿过主支撑孔51以实现支撑和卸载玻璃的作用。

本发明中，如图1、3中所示，两组相邻的主支撑机构1形成一组支撑模组，支撑装置包括两组对称布置的支撑模组，且每组支撑模组之间均连接一个中部支撑机构2。即本发明的一种实施例，设有八个边缘主支撑和两个中部支撑，以满足对玻璃基板的支撑，可有效防止玻璃破损，提高干刻机台适用性。

本发明中，如图2中所示，中部支撑机构2包括两端分别连接两侧主支撑座11上的联动横梁22，联动横梁22支撑在支撑框架21上。联动横梁22上靠近中部的一侧设有中部支撑座23，支撑在玻璃基板中部的中部支撑销24设于中部支撑座23上。作用过程中，该主支撑机构1和中部支撑机构2均通过布置在主支撑座11上的驱动件12带动，通过联动横梁22实现联动控制主支撑销13和中部支撑销2，实现同步支撑和卸载。且该种中部支撑结构2布置合理，结构稳定性好。

本发明中，中部支撑座23连接在联动横梁22上靠近中部的一侧，两个中部支撑机构对称布置，保证中部支撑销24对应处穿过设于干刻下部电极5上的中部支撑孔52。支撑框架21上设有导向立柱26，中部支撑座23上设有穿过导向立柱26的导套，联动横梁22带动中部支撑座23沿导向立柱26上下运动，控制中部支撑座23移动稳定性。中部支撑销24上套有真空波纹管25，真空波纹管25可保证和机台上面配套的pin轴套管下方密封良好，波纹管底部设有微调机构，有微调螺丝可调，实现销与孔之间轴向调节。

本发明中，驱动件可为电缸、液压缸或是电机，在主支撑座11上间隔布置两个或是三个或是更多个，以满足驱动运动需要。主支撑座11的中间位置连接有连接块4，联动横梁22的两端通过转动销轴连接在连接块4上。连接块4布置在主支撑座11中部位置，驱动件12对称布置在连接块4的两侧，可避免受力不均导致的额外损耗。

本发明中，同一组支撑模组支撑在固定底板3上，支撑框架21固定连接在固定底板3上，固定底板3固定在机台面2上，固定底板3进一步提升了整个支撑装置连接关系。

如图5所示，为干刻下部电极5的机台的表面，周边区域有主支撑孔51，中部区域为两个中部支撑孔52。支撑销是一种外形似针状/圆杆状的细长金属部件，随着驱动件12(电缸/电机)作用，支撑销可以在对应的支撑孔中上下移动。具体示意图如图1、2中所示，通过驱动件12的升降，带动同组支撑销同步上下移动，在刻蚀中用于支撑玻璃，加载卸载玻璃。由于玻璃变薄的缘故，采用此种结构的支撑装置，可有效避免玻璃中间破裂破片现象。

将支撑装置分为两组支撑组件，即pinⅰ组和pinⅱ组，各大组分别被固定在固定底板3上，由各自的驱动件12带动升降。在每组的驱动件12控制的支撑结构中，均设有两个主支撑销13。在同一侧固定底板3中线位置增加一个中部支撑机构(一共两侧，结构中心对称，总共增加2个)，与原机台pinⅰ组和pinⅱ配合使用，在玻璃中间部位增加支撑点，缓解玻璃中间下垂导致的破片问题。

在原有的结构上，例如pinⅰ组一边，在pin机构组件中，驱动件通过主支撑座11固定于固定底板3上，固定底板3固定在机台上的，驱动件运动，整个驱动件会推动支撑销上移，下沉时会带动下移，固定底板3起桥接的作用，类似于横梁。

本实施例中同侧支撑组件设有四个驱动件12，运作过程中，随着同一侧布置的四个驱动件12的同步运转，会带动主支撑机构1的主支撑座11位移，主支撑座11会带动联动横梁22和中部支撑座23和中部支撑销24一同运动，实现对玻璃的升降作用，静置时，支撑框架21和固定底板3起支撑作用。同侧四个驱动件和另一侧四个驱动件同步运动，这样十个支撑销同一高度运动，保证加载或者卸载的玻璃是水平的。

本发明中，在干刻下部电极5上对应中部支撑销24位置用机加工方式制作客户指定的孔径的中部支撑孔。先在金属基板上制作指定内径的光滑通孔，在孔内壁用真空胶(torrseal)粘结陶瓷轴套管，干燥完成即可使用。陶瓷轴套管的内径为客户指定的支撑孔直径。

本发明干刻机台支撑装置，结构布置合理，对玻璃基板支撑性好，可有效防止玻璃破损，提高干刻机台适用性，具有较强的实用性和较好的应用前景。

上面结合附图对本发明进行了示例性描述，但是本发明并不受限于上述方式，只要采用本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进或直接应用于其它场合的，均落在本发明的保护范围内。