背照式时间延迟积分图像传感器及其形成方法与流程

文档序号:19935324发布日期:2020-02-14 22:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,包括:

基底,所述基底包括相对的第一面和第二面,所述基底包括若干光电掺杂区,且所述第一面暴露出所述光电掺杂区表面;

位于所述第一面上的电路器件层;

位于第二面上的抗反射增透层,且所述抗反射增透层覆盖若干所述光电掺杂区。

2.如权利要求1所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述抗反射增透层的材料包括:氟化物、氧化物或者氮化物;所述氟化物包括:氟化镁或者氟化钡;所述氧化物包括:氧化铪、氧化锆、氧化钽或者三氧化二铝;所述氮化物包括:氮化硅或者氮氧硅化物。

3.如权利要求1所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述抗反射增透层的厚度范围为:200埃~1500埃。

4.如权利要求1所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述电路器件层包括:位于所述基底上的介质层;位于所述介质层内的若干栅极结构,所述若干栅极结构位于各个所述光电掺杂区表面,且若干所述栅极结构位于所述第一面上;位于所述介质层内的互连结构。

5.如权利要求4所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,若干所述栅极结构沿第一方向平行排列,若干所述栅极结构沿第二方向横跨一个所述光电掺杂区,所述第二方向垂直于所述第一方向。

6.如权利要求4所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述互连结构包括:位于栅极结构上的若干层重叠的导电层;位于相邻两层导电层之间、导电层与基底之间或导电层和栅极结构之间的导电插塞。

7.如权利要求4所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,还包括:位于所述介质层表面的第一保护层。

8.如权利要求7所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述第一保护层的材料包括:氧化硅、氮化硅、氮碳化硅、氮硼化硅、氮碳氧化硅或氮氧化硅。

9.如权利要求1所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,还包括:位于第二面表面的第二保护层,且所述第二保护层位于所述抗反射增透层和基底之间。

10.如权利要求9所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述第二保护层的材料包括:氧化硅、氮化硅、氮碳化硅、氮硼化硅、氮碳氧化硅或氮氧化硅。

11.如权利要求4所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述栅极结构包括:位于第一面表面的栅介质层和位于所述栅介质层表面的栅电极层。

12.如权利要求1所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述基底还包括:若干隔离区,所述隔离区位于相邻光电掺杂区之间;所述隔离区内具有隔离结构。

13.如权利要求1所述的背照式时间延迟积分图像传感器,其特征在于,所述基底掺杂有第一离子;所述光电掺杂区内掺杂有第二离子,且所述第一离子和第二离子的导电类型相反。

14.如权利要求1至13任一项所述背照式时间延迟积分图像传感器的形成方法,其特征在于,包括:

提供基底,所述基底包括相对的第一面和第二面,所述基底包括若干光电掺杂区,且所述第一面暴露出所述光电掺杂区表面;

在所述第一面上形成电路器件层;

在所述第二面上形成抗反射增透层,且所述抗反射增透层覆盖若干所述光电掺杂区。

15.如权利要求14所述的背照式时间延迟积分图像传感器的形成方法,其特征在于,所述抗反射增透层的形成工艺包括:化学气相沉积工艺、物理气相沉积工艺或者原子层沉积工艺。

16.如权利要求14所述的背照式时间延迟积分图像传感器的形成方法,其特征在于,所述电路器件层包括:位于基底上的介质层;位于所述介质层内的若干栅极结构,所述若干栅极结构位于各个所述光电掺杂区表面,且若干所述栅极结构位于第一面上;位于所述介质层内的互连结构;所述图像传感器的形成方法还包括:形成所述介质层之后,形成所述抗反射增透层之前,在所述介质层表面形成第一保护层。

17.如权利要求16所述的背照式时间延迟积分图像传感器的形成方法,其特征在于,还包括:形成第一保护层之后,形成所述抗反射增透层之前,在所述第二面表面形成第二保护层。

18.如权利要求17所述的背照式时间延迟积分图像传感器的形成方法,其特征在于,还包括:形成第一保护层之后,形成第二保护层之前,对所述基底进行减薄处理。

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