1.一种用于控制由光源产生的脉冲光束的频谱特征的系统，所述系统包括：
第一致动模块，所述第一致动模块被耦合到所述光源的第一可致动装置，所述第一可致动装置由所述第一致动模块在关于目标值的一个值范围内更改，从而更改所述脉冲光束的所述频谱特征；
第二致动模块，所述第二致动模块被耦合到所述光源的不同的第二可致动装置，所述第二可致动装置由所述第二致动模块更改，从而更改所述脉冲光束的所述频谱特征；
计量系统，所述计量系统包括观测系统，所述观测系统被连接到至少所述第一致动模块并且被配置为输出指示所述第一可致动装置正操作于的实际值与所述目标值之间的偏差的度量；
控制系统，所述控制系统被连接到所述第一致动模块、所述第二致动模块和所述计量系统，并且被配置为：
确定所述偏差是否大于可接受偏差，和
如果所述偏差在所述可接受偏差之外，则向所述第二致动模块发送信号以调整所述脉冲光束的所述频谱特征，从而将所述第一可致动装置正操作于的所述实际值调整为更接近所述目标值。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光源包括气体放电系统，所述气体放电系统具有至少一个容纳增益介质的腔室，所述增益介质当被用放电中的电流脉冲泵浦时产生脉冲光束。
3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述计量系统包括频谱特征单元，所述频谱特征单元被配置为测量从所述光源输出的所述脉冲光束的所述频谱特征，并且所述控制系统被配置为接收所述脉冲光束的所述频谱特征的所述测量。
4.根据权利要求3所述的系统，其中，所述控制系统被配置为基于从所述频谱特征单元接收到的所述频谱特征的测量，向所述第一致动模块和所述第二致动模块中的一个或多个发送信号，以将所述脉冲光束的所述频谱特征调整到新值。
5.根据权利要求1所述的系统，其中，确定所述偏差是否大于所述可接受偏差包括：确定所述偏差是否过大以至于所述第一致动模块不能将所述脉冲光束的所述频谱特征更改到新值。
6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光源是多级气体放电系统，其中第一级是输出脉冲种子光束的振荡器装置，并且第二级是光学放大装置，所述光学放大装置接收所述脉冲种子光束并输出所述脉冲光束，并且这两级都包括气体放电子系统。
7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述第一致动模块是定时模块，所述定时模块被连接到所述第一级和所述第二级，以控制发送到所述第一级的第一触发信号与发送到所述第二级的第二触发信号之间的相对定时。
8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第二致动模块是与所述脉冲光束相互作用的频谱选择模块。
9.根据权利要求8所述的系统，其中，所述频谱选择模块包括光学系统，所述光学系统被配置为调整所述脉冲光束的光学放大率。
10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述光学系统被耦合到所述光源的第一级。
11.根据权利要求9所述的系统，其中，所述脉冲光束的所述频谱特征是所述脉冲光束的宽度。
12.根据权利要求1所述的系统，还包括第三致动模块，所述第三致动模块被耦合到所述光源的第三可致动装置，所述第三可致动装置由所述第三致动模块更改，从而更改所述脉冲光束的另一频谱特征。
13.一种用于控制由光源产生的脉冲光束的频谱特征的方法，所述方法包括：
向光源发送信号以产生脉冲光束；
向第一致动模块发送信号以用于控制所述脉冲光束的频谱特征，所述第一致动模块被耦合到所述光源的第一可致动装置，其中所述第一可致动装置能够由所述第一致动模块在关于目标值的一个值范围内更改；
向不同的第二致动模块发送信号以用于控制所述脉冲光束的频谱特征，所述第二致动模块被耦合到所述光源的第二可致动装置；
接收度量，所述度量指示所述光源的第一可致动装置正操作于的实际值与目标值之间的偏差；
确定所述偏差是否大于可接受偏差；和
如果所述偏差大于所述可接受偏差，则向第二致动模块发送信号以调整所述脉冲光束的所述频谱特征，从而将所述第一可致动装置正操作于的所述实际值调整为更接近所述目标值。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，向所述光源发送所述信号以产生所述脉冲光束包括：向容纳增益介质的腔室中的电极发送电流。
15.根据权利要求13所述的方法，进一步包括：接收从所述光源输出的所述脉冲光束的所述频谱特征的测量。
16.根据权利要求15所述的方法，进一步包括：基于接收到的所述频谱特征的测量，向所述第一致动模块和所述第二致动模块中的一个或多个发送信号，以将所述脉冲光束的所述频谱特征调整到新值。
17.根据权利要求13所述的方法，其中，确定所述偏差是否大于所述可接受偏差包括：确定所述偏差是否过大以至于所述第一致动模块不能将所述脉冲光束的所述频谱特征更改到新值。
18.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第一可致动装置是发送到所述光源的第一级的第一触发信号与发送到所述光源的第二级的第二触发信号之间的相对定时，并且所述第一致动模块是定时模块，所述定时模块基于接收到的信号来调整所述相对定时。
19.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第二可致动装置是频谱选择模块，所述频谱选择模块包括光学系统，所述光学系统被配置为调整所述脉冲光束的光学放大率。
20.一种系统，包括：
光源，所述光源被配置为发射脉冲输出光束，所述光源包括：
被定位于光束路径上的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室向所述第二腔室提供脉冲种子光束，所述第二腔室被配置为接收所述脉冲种子光束并发射所述脉冲输出光束，和
频谱选择模块，所述频谱选择模块包括被定位于所述光束路径上的至少一个可致动光学元件；
可致动装置，所述可致动装置被耦合到所述光源的所述第一腔室和所述光源的所述第二腔室，所述可致动装置具有可调整的操作点并且与目标操作点相关联，当所述可调整的操作点处于上限或下限时所述可致动装置处于饱和状态，并且当所述可调整的操作点处于所述上限和所述下限之间时所述可致动装置处于不饱和状态；以及
控制系统，所述控制系统被耦合到所述光源和所述可致动装置，所述控制系统被配置为：
访问所述可致动装置的所述可调整的操作点的值的指示，
将访问到的所述可调整的操作点的值的所述指示与所述上限和所述下限进行比较，
基于所述比较来确定所述可致动装置是否处于饱和状态，和
如果所述可致动装置处于所述饱和状态，则致动所述频谱选择模块的至少一个光学元件中的至少一个，以将所述可致动装置改变到所述不饱和状态。