技术总结
本公开的实施例涉及脉冲光束频谱特征控制。一种系统包括:耦合到光源的第一可致动装置的第一致动模块,所述第一可致动装置由所述第一致动模块更改以调整脉冲光束的频谱特征;耦合到所述光源的第二可致动装置的第二致动模块,所述第二可致动装置由所述第二致动模块更改以调整所述脉冲光束的频谱特征;以及控制系统,被配置为接收关于所述第一可致动装置的操作状态的指示,并且向第二致动模块发送信号以调整脉冲光束的频谱特征,从而:基于第一可致动装置的操作状态防止第一可致动装置饱和,或者如果第一可致动装置饱和则将第一可致动装置去饱和。
技术研发人员:K·M·奥布里恩;R·阿拉瓦特
受保护的技术使用者:西默有限公司
技术研发日:2016.06.14
技术公布日:2020.02.21