技术总结
本发明公开了一种LTCC内嵌空心矩形波导结构的制造方法，属于微机械结构制造技术领域。该方法包括制备LTCC顶盖以及具有沟槽的LTCC基底；采用微细铣削工艺技术对沟槽进行精细加工得到矩形槽；采用超声清洗技术对基底进行清洗；将LTCC基底进行再烧结处理；对LTCC顶盖进行研磨、抛光和清洗；实现矩形槽内壁以及对应于矩形槽的LTCC顶盖外壁区域的金属化；将LTCC基底和LTCC顶盖进行玻璃键合等步骤。本方法可将LTCC矩形波导内腔金属化界面的粗糙度降低一个量级以上，为低损耗的高频率信号传输提供支撑，提升波导的高频率信号传输质量。
技术研发人员：严英占;贾世旺;赵飞;卢会湘;唐小平;李攀峰
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第五十四研究所
技术研发日：2019.11.26
技术公布日：2020.02.21