一种PECVD花篮自动传送的设备的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种pecvd花篮自动传送的设备。

背景技术：

当今常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池，其可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是半导体pn结的光生伏特效应。

在太阳能电池的制备中，其中的pecvd制程工艺中涉及到双面镀膜工艺，双面镀膜需为分段进行(分为i-n和i-p段)。目前，太阳能能电池的硅片从i-n段到i-p段镀膜的过程是：硅片在i-n段下料机被放入花篮后，人工将花篮放置至i-p段上料机上，同时，将i-p段空花篮移至i-n段下料机。

目前，依靠人工方式传递花篮速度慢、增加了破片风险，同时增加了操作人员的劳动强度。所以，基于pecvd设备的传送特点，结需要开发一种pecvd前后段的自动花篮回流传送机构。

技术实现要素：

为解决现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种pecvd花篮自动传送的设备，其提高生产效率，降低人工传递花篮过程中硅片破片的风险。

为实现上述目的，本实用新型采用以下设计方案：

一种pecvd花篮自动传送的设备，其包括上料机构、下料机构、伸缩气缸、传送皮带、伺服电机，用于承载硅片的花篮通过上料机构和下料机构进行传输运转，所述上料机构位于设备主体的上部，下料机构位于设备主体的下部，所述传送皮带设在设备主体的上部和下部，上料机构和下料机构通过传送皮带进行传输，并且通过伸缩气缸在设备主体的上部和下部进行升降，所述传送皮带由伺服电机带动转动。

优选的，位于设备主体的上部和下部的传送皮带为三段式皮带。

优选的，所述三段式皮带每段设有一个检测是否有花篮的检测开关。

优选的，所述检测开关包括外侧检测开关、中间检测开关和外侧检测开关。

本实用新型采用以上设计方案、通过花篮回流的传送方式，减少人为污染硅片的几率，降低操作人员劳动强度与操作难度，在硅片传送过程中仍可保持花篮传送，避免设备的等待时间，提高了生产效率，合理设置检测开关装置，配合传送机构，使花篮传送过程更加流畅。

附图说明

下面结合附图对本实用新型进行进一步说明：

图1为本实用新型pecvd花篮自动传送的设备的立体结构示意图；

图2为本实用新型pecvd花篮自动传送的设备的剖视结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1、图2所示本实用新型公开了一种pecvd花篮自动传送的设备，其包括设备主体1、上料机构2、下料机构3、伸缩气缸4、传送皮带5、伺服电机6，用于承载硅片的花篮通过上料机构2和下料机构3进行传输运转，所述上料机构位2于设备主体1的上部，下料机构位3于设备主体1的下部，所述传送皮带5设在设备主体1的上部和下部，上料机构2和下料机构3通过传送皮带5进行传输，并且通过伸缩气缸4在设备主体1的上部和下部进行升降，所述传送皮带5由伺服电机6带动转动。位于设备主体的上部和下部的传送皮带5为三段式皮带51、52、53，所述三段式皮带每段设有一个检测是否有花篮的检测开关，所述检测开关包括外侧检测开关71、中间检测开关72和外侧检测开关73。

本实用新型通过设计中间传送机构分为下料和上料两个部分，每个机构又分为上、下两层。各个机构工作时靠气缸下降联动，非工作时间可通过气缸将对接机构升起，便于人员通过。通过设计多段式皮带，避免在传送过程中花篮出现堆积的现象；皮带传送的启停通过检测开关控制，花篮才能有序的传送。

本实用新型工作时，满花篮通过传送皮带以及伸缩气缸传送至上料机构，上料机构的空花篮通过传送皮带以及传至下料机构，中间所有步骤均由设备自动完成。具体步骤为：

花篮在下料机构两侧装满硅片后，下降到出料位，等待自动传送至上料机构；花篮在上料机两侧卸完硅片后，下降到初始位。等待自动传送至下料机构。

上层传送皮带每段都设有三个光电开关：外侧检测到位、中间检测到位、内侧检测到位，当感应到满花篮时，伺服电机带动皮带，使满花篮往上料机构移动。

下层传送皮带每段都设有三个光电开关：外侧检测到位、中间检测到位、内侧检测到位，当感应到空花篮时，伺服电机带动皮带，使空花篮往下料机构移动，完成下料机构与上料机构满花篮和空花篮的交替传送。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。