一种滚轮装置及水膜机刻蚀系统的制作方法

本实用新型涉及晶硅太阳能电池生产加工领域，尤其涉及一种滚轮装置及水膜机刻蚀系统

背景技术：

在晶硅太阳能电池生产过程中,一般刻蚀工段主要采用湿法刻蚀工艺，其主要目的是去除硅片边缘的PN结和磷硅玻璃(PSG)。其中刻蚀槽的目的是去除边缘PN结，酸槽目的是去除磷硅玻璃(PSG)。

在实际生产过程中，为了防止刻蚀过程中出现过刻外观不良，都会使用到水膜机。水膜机的作用即在硅片进入刻蚀槽前，在硅片的上表面均匀的铺满一层DI水膜。

目前，公知的水膜机在使用过程中，水膜的喷水量直接决定着刻蚀槽内化学品的耗量及产品的质量。若调大水膜的水量，保证产品质量的情况下，过多的水被带到刻蚀槽内，稀释了化学品浓度，从而使刻蚀槽内化学品的耗量大大增加；若调小水膜的水量，保证化学品耗量的情况下，硅片极有可能出现因水膜未完全覆盖硅片而导致过刻不良产品出现。目前尚没有能够很好解决水膜机喷水量过多或偏少所带来的不足和缺陷的方法。

技术实现要素：

为了解决上述至少一个问题，本实用新型提供了一种滚轮装置及水膜机刻蚀系统。

本实用新型实施例第一方面提供了一种滚轮装置，所述滚轮装置包括M个滚轮本体、卡槽和垫片，所述M个滚轮本体平行且等间距的排列在同一平面上；所述M个滚轮本体均通过齿轮连接外部电机；在第N个滚轮本体的下方设置有卡槽，其中，1<N<M；所述卡槽中设置有垫片，所述垫片将所述第N个滚轮本体整体向上移动。

优选地，所述M个滚轮本体的两端均通过齿轮连接外部电机，所述齿轮设置在齿轮箱中。

优选地，所述第N个滚轮本体两端下方均设置有卡槽，且所述第N个滚轮本体两端下方的卡槽位于两端的齿轮箱之间，所述第N个滚轮本体两端下方的卡槽中分别设置有高度相同的垫片。

优选地，所述第N个滚轮本体的中心支点下方设置有卡槽，所述第N个滚轮本体的中心支点下方的卡槽中设置有垫片。

优选地，所述卡槽与垫片之间通过胶粘连接。

本实用新型实施例第二方面提供了一种水膜机刻蚀系统，所述系统包括水膜机、刻蚀槽和滚轮装置，所述滚轮装置传输待加工零件至刻蚀槽；

所述滚轮装置包括M个滚轮本体、卡槽和垫片，所述M个滚轮本体平行且等间距的排列在同一平面上；所述M个滚轮本体均通过齿轮连接外部电机；在第N个滚轮本体的下方设置有卡槽，其中，1<N<M；所述卡槽中设置有垫片，所述垫片将所述第N个滚轮本体整体向上移动；

所述水膜机在滚轮装置传输待加工零件时，在待加工零件到达所述第N个滚轮本体之前对待加工零件上表面涂覆水膜。

优选地，所述M个滚轮本体的两端均通过齿轮连接外部电机，所述齿轮设置在齿轮箱中。

优选地，所述第N个滚轮本体两端下方均设置有卡槽，且所述第N个滚轮本体两端下方的卡槽位于两端的齿轮箱之间，所述第N个滚轮本体两端下方的卡槽中分别设置有高度相同的垫片。

优选地，所述第N个滚轮本体的中心支点下方设置有卡槽，所述第N个滚轮本体的中心支点下方的卡槽中设置有垫片。

优选地，所述卡槽与垫片之间通过胶粘连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过在待加工零件进入刻蚀槽之前的滚轮装置中改变其中一个滚轮本体的高度，从而使待加工零件在该滚轮本体处发生抖动。通过抖动可以将多余的水抖动下去，也可以将少量的水铺满整个待加工零件的表面，从而有效的解决了水膜机存在的喷水量过多或偏少所造成的影响。本实用新型结构简单、取材方便、成本很低，有利于大规模的应用和投产。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例1所述的滚轮装置的结构示意图；

图2为本发明实施例1所述的待加工零件发生抖动的位置示意图；

图3为本发明实施例2所述的水膜机刻蚀系统的原理示意图；

图4为本发明实施例2所述的待加工零件发生抖动的位置示意图。

附图标记：

1、滚轮本体，2、水膜机，3、水膜，4、待加工零件，5、垫片，6、卡槽，7、刻蚀槽。

具体实施方式

为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

实施例1

如图1所示，本实施例提出了一种滚轮装置，所述滚轮装置包括M个滚轮本体1、卡槽6和垫片5，所述M个滚轮本体1平行且等间距的排列在同一平面上；所述M个滚轮本体1均通过齿轮连接外部电机；在第N个滚轮本体1的下方设置有卡槽6，其中，1<N<M；所述卡槽6中设置有垫片5，所述垫片5将所述第N个滚轮本体1整体向上移动。

具体的，以图1所示的滚轮装置为例。该滚轮装置包括六个滚轮本体1，这六个滚轮本体1平行且等间距的排列在同一平面上，滚轮本体1的两端均通过齿轮与外部电机连接，并通过外部电机的作用通过齿轮传递带动滚轮本体1沿同一个方向进行转动。为了防止齿轮损坏，可将齿轮放置在齿轮箱中加以保护，同时也可以作为滚轮本体1的两端支撑。

待加工零件4可通过该滚轮本体1向某一个方向进行传输，该待加工零件4可以为晶硅太阳能电池生产所需要的硅片。在滚轮本体1传输待加工零件4的同时，水膜机2可对待加工零件4上表面进行喷水，以使待加工零件4上表面形成一层水膜3。此时形成的水膜3可能会存在水量较大或较小的问题。本实施例在其中一个滚轮本体1的下方设置有垫片5，例如从左至右数第三个滚轮本体1。并将垫片5粘连在卡槽6中，以增强垫片5的稳定性。由于垫片5的加入，使得该滚轮本体1会整体向上移动，从而使该滚轮本体1的顶部高于其他滚轮本体1的顶部。当上表面形成水膜3的待加工零件4传输至该滚轮本体1时，由于该滚轮本体1与其前后的滚轮本体1之间存在高度差的影响，待加工零件4会发生小幅度的前后抖动的现象，如图2所示。这样，当水膜机2喷水量过多时，通过待加工零件4运动过程中前后的抖动，可以将多余的水抖掉，防止多余的水渗漏到后续的加工设备中，以稀释化学品浓度，导致化学品耗量增加的情况。同时，当水膜机2喷水量偏少，待加工零件4的边角未铺满水时，通过待加工零件4运动过程中前后的抖动，可以加速水膜3在待加工零件4上表面的扩散，进而达到铺满的状态，从而防止不良产品的出现。

进一步的，在本实施例中，垫片5的高度不宜过大，以使第N个滚轮本体1的高度高出其他滚轮本体1高度0.3cm至0.5cm为宜。并且，根据实际的加工情况和需求，在滚轮本体1足够多的前提下，可以同时将多个滚轮本体1的高度进行调整。垫片5的形状可以为平面或与滚轮本体1表面相配合的曲面，以便滚轮本体1在垫片5上进行转动。

更进一步的，在本实施例中，垫片5的放置位置可以为滚轮本体1的两端以及中间支点处，以增强滚轮本体1在垫片5上的稳定性。同时两端的垫片5位置要与齿轮箱错开，以方便设置卡槽6。

实施例2

如图3所示，本实施例提出了一种水膜机刻蚀系统，所述系统包括水膜机2、刻蚀槽7和滚轮装置，所述滚轮装置传输待加工零件4至刻蚀槽7；

所述滚轮装置包括M个滚轮本体1、卡槽6和垫片5，所述M个滚轮本体1平行且等间距的排列在同一平面上；所述M个滚轮本体1均通过齿轮连接外部电机；在第N个滚轮本体1的下方设置有卡槽6，其中，1<N<M；所述卡槽6中设置有垫片5，所述垫片5将所述第N个滚轮本体1整体向上移动；

所述水膜机2在滚轮装置传输待加工零件4时，在待加工零件4到达所述第N个滚轮本体1之前对待加工零件4上表面涂覆水膜3。

具体的，该滚轮装置包括多个滚轮本体1，这多个滚轮本体1平行且等间距的排列在同一平面上，滚轮本体1的两端均通过齿轮与外部电机连接，并通过外部电机的作用通过齿轮传递带动滚轮本体1沿同一个方向进行转动。为了防止齿轮损坏，可将齿轮放置在齿轮箱中加以保护，同时也可以作为滚轮本体1的两端支撑。

待加工零件4可通过该滚轮本体1向某一个方向进行传输，该待加工零件4可以为晶硅太阳能电池生产所需要的硅片。在滚轮本体1传输待加工零件4的同时，水膜机2可对待加工零件4上表面进行喷水，以使待加工零件4上表面形成一层水膜3。此时形成的水膜3可能会存在水量较大或较小的问题。本实施例在其中一个滚轮本体1的下方设置有垫片5，并将垫片5粘连在卡槽6中，以增强垫片5的稳定性。由于垫片5的加入，使得该滚轮本体1会整体向上移动，从而使该滚轮本体1的顶部高于其他滚轮本体1的顶部。当上表面形成水膜3的待加工零件4传输至该滚轮本体1时，由于该滚轮本体1与其前后的滚轮本体1之间存在高度差的影响，待加工零件4会发生小幅度的前后抖动的现象，如图4所示。这样，当水膜机2喷水量过多时，通过待加工零件4运动过程中前后的抖动，可以将多余的水抖掉，防止多余的水渗漏到刻蚀槽7中，以稀释化学品浓度，导致化学品耗量增加的情况。同时，当水膜机2喷水量偏少，待加工零件4的边角未铺满水时，通过待加工零件4运动过程中前后的抖动，可以加速水膜3在待加工零件4上表面的扩散，进而达到铺满的状态，从而防止不良产品的出现。

在这里需要说明的是，在待加工零件4到达高度发生变化的滚轮本体1之前，水膜机2必须完成对待加工零件4进行喷水的工序。这样，在高度发生变化的滚轮本体1上产生的抖动现象才能对待加工零件4上表面的水进行处理，否则没有任何意义。

进一步的，在本实施例中，垫片5的高度不宜过大，以使第N个滚轮本体1的高度高出其他滚轮本体1高度0.3cm至0.5cm为宜。并且，根据实际的加工情况和需求，在滚轮本体1足够多的前提下，可以同时将多个滚轮本体1的高度进行调整。垫片5的形状可以为平面或与滚轮本体1表面相配合的曲面，以便滚轮本体1在垫片5上进行转动。

更进一步的，在本实施例中，垫片5的放置位置可以为滚轮本体1的两端以及中间支点处，以增强滚轮本体1在垫片5上的稳定性。同时两端的垫片5位置要与齿轮箱错开，以方便设置卡槽6。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。