化学品槽和晶圆处理设备的制作方法

本实用新型涉及晶圆加工生产领域，具体涉及一种化学品槽和晶圆处理设备。

背景技术：

现有技术中，处理晶圆的机台有时会出现掉电情况，导致机台关机，影响对晶圆的处理。

例如在湿式清洗台(Wet bench机台)中，若出现机台掉电关机的情况，且机台的酸槽内恰好有一批正在处理的晶圆，则会严重影响晶圆的良率。在这种情况下，要及时排出酸槽内的化学品，阻止酸槽内的晶圆继续与化学品反应，对晶圆进行抢救。然而，在排出酸槽内的化学品时，首先需要操作人员去计算机端查看机台信息，确认晶圆在哪个酸槽内，然后再由操作人员手动打开酸槽的电磁阀，将酸槽内的化学品放空，以及向所述酸槽内加入去离子水。在这个过程中，很有可能错过晶圆的最佳抢救时间，导致晶圆报废，带来严重损失。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种化学品槽和晶圆处理设备，能够在机台掉电时及时将化学品槽内的化学品清洗、排出，提高晶圆的良率。

为解决上述技术问题，以下提供了一种化学品槽，包括：槽体，用于盛放化学品；补水管路，连通至所述槽体，用于向所述槽体内通入水；排酸管路，连通至所述槽体，用于排出所述槽体内的化学品；第一磁性堵头，设置到所述补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路的入口，防止水经由所述补水管路进入所述槽体；第二磁性堵头，设置到所述排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路的出口，防止化学品经由所述排酸管路从所述槽体内排出；电磁装置，设置于所述第一磁性堵头和第二磁性堵头之间，用于在通电时给所述第一磁性堵头和第二磁性堵头提供磁力，使所述第一磁性堵头堵住所述补水管路的入口，第二磁性堵头堵住所述排酸管路的出口。

可选的，所述第一磁性堵头包括：第一磁铁，设置于所述补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路的入口；第一弹簧，连接至所述第一磁铁，用于给所述第一磁铁施加将所述第一磁铁拉离所述补水管路的入口的力；所述第二磁性堵头包括：第二磁铁，设置于所述排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路的出口；第二弹簧，连接至所述第二磁铁，用于给所述第二磁铁施加将所述第二磁铁拉离所述排酸管路的出口的力。

可选的，所述电磁装置包括：线圈，连接至一外接电源，设置在所述第一磁铁和第二磁铁之间，用于在所述外接电源供电时产生电磁场，给所述第一磁铁和第二磁铁提供磁力。

可选的，所述第一磁铁和第二磁铁的磁极设置在同一直线上，且所述第一磁铁和第二磁铁的相同磁极相对设置。

可选的，所述线圈通电时所形成的电磁铁的磁极也在所述第一磁铁和第二磁铁的磁极所在的直线上。

可选的，所述补水管路设置在所述槽体的上方，所述排酸管路设置在所述槽体的下方。

可选的，所述电磁装置给所述第一磁铁以向下的吸引力，给所述第二磁铁以向下的排斥力；所述第一弹簧设置在所述补水管路入口的上方，用于给第一磁铁以向上的拉力，所述第二弹簧设置在所述排酸管路出口的上方，用于给第二磁铁以向上的拉力。

可选的，还包括：循环水箱，连通至所述排酸管路，用于放置自所述槽体内排出的化学品。

可选的，还包括：水源，连通至所述补水管路，用于提供要通入所述槽体内的水。

为解决上述技术问题，以下还提供了一种晶圆处理设备，包括：电源，用于给所述晶圆处理设备供电；化学品槽，包括：槽体，用于盛放化学品；补水管路，连通至所述槽体，用于向所述槽体内通入水；排酸管路，连通至所述槽体，用于排出所述槽体内的化学品；第一磁性堵头，设置到所述补水管路的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路的入口，防止水经由所述补水管路进入所述槽体；第二磁性堵头，设置到所述排酸管路的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路的出口，防止化学品经由所述排酸管路从所述槽体内排出；电磁装置，设置于所述第一磁性堵头和第二磁性堵头之间，连接至所述电源，用于在通电时给所述第一磁性堵头和第二磁性堵头提供磁力，使所述第一磁性堵头堵住所述补水管路的入口，第二磁性堵头堵住所述排酸管路的出口。

上述化学品槽和晶圆处理设备具有补水管路和排酸管路，并具有由电磁装置来控制的磁性堵头，来控制所述补水管路和排酸管路的导通与否，因此在所述电磁装置掉电时，所述补水管路和排酸管路会即刻导通，一边向所述槽体内通入水，一边将槽体内的化学品排出，保证在所述电磁装置掉电时能快速将槽体内的化学品清洗、排出，防止槽体内的化学品腐蚀晶圆，从而提高晶圆的生产率。

附图说明

图1为本实用新型一种具体实施方式中化学品槽的结构示意图。

图2为本实用新型一种具体实施方式中电磁装置掉电时磁性堵头的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种化学品槽和晶圆处理设备的作进一步详细说明。

请参阅图1，为本实用新型一种具体实施方式中化学品槽的结构示意图。

在该具体实施方式中，提供了一种化学品槽，包括：槽体101，用于盛放化学品；补水管路102，连通至所述槽体101，用于向所述槽体101内通入水；排酸管路103，连通至所述槽体101，用于排出所述槽体101内的化学品；第一磁性堵头104，设置到所述补水管路102的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路102的入口，防止水经由所述补水管路102进入所述槽体101；第二磁性堵头105，设置到所述排酸管路103的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路103的出口，防止化学品经由所述排酸管路103从所述槽体101内排出；电磁装置106，设置于所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105之间，连接至所述电源109，用于在通电时给所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105提供磁力，使所述第一磁性堵头104堵住所述补水管路102的入口，第二磁性堵头105堵住所述排酸管路103的出口。

在该具体实施方式中，通过控制电磁装置106的上电与否，就能实现对槽体101内通水以及化学品排出的控制。具体的，所述电磁装置106掉电时，就不再给所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105提供磁力，所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105脱离开所述补水管路102和所述排酸管路103，水将被排放到槽体101内，化学品将被排除到槽体101外。

在一种具体实施方式中，所述槽体101内壁涂覆有耐腐蚀的涂层，防止被所述化学品腐蚀。所述耐腐蚀的涂层包括但不限于环氧树脂复合材料涂料以及陶瓷填充涂层等。

在一种具体实施方式中，所述补水管路102设置在所述槽体101的上方，所述排酸管路103设置在所述槽体101的下方。由于所述补水管路102的高度高于所述槽体101，因此在所述第一磁性堵头104脱离所述补水管路102的入口时，水会在重力作用下就会流入至槽体101，而无需提供泵来将水泵入槽体101。由于所述排酸管路103的高度低于所述槽体101，因此在所述第二磁性堵头105脱离所述排酸管路103的出口时，化学品会在重力的作用下就会经由所述排酸管路103流出，而无需提供泵来将化学品泵出。

实际上，也可根据需要设置所述补水管路102和排酸管路103的高度。但是若将所述补水管路102的高度设置的矮于所述槽体101，则需要配备泵，将补水管路102内的水泵入所述槽体101。若将所述排酸管路103的高度设置的低于所述槽体101，则需要配备泵，将槽体101内的化学品泵出。

在一种具体实施方式中，所述第一磁性堵头104包括：第一磁铁110，设置于所述补水管路102的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路102的入口；第一弹簧111，连接至所述第一磁铁110，用于给所述第一磁铁110施加将所述第一磁铁110拉离所述补水管路102的入口的力；所述第二磁性堵头105包括：第二磁铁112，设置于所述排酸管路103的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路103的出口；第二弹簧113，连接至所述第二磁铁112，用于给所述第二磁铁112施加将所述第二磁铁112拉离所述排酸管路103的出口的力。

在所述电磁装置106通电、给所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105提供磁力时，所述第一弹簧111能够给第一磁铁110施以与磁力方向相反的拉力，所述第二弹簧113能够给第二磁铁112施以与磁力方向相反的拉力，来保证在电磁装置106掉电时，第一磁铁110和第二磁铁112会由于第一弹簧111和第二弹簧113的拉力而被拉离所述补水管路102的入口和所述排酸管路103的出口，所述补水管路102和排酸管路103一定导通，水经由所述补水管路102的入口流入槽体101，化学品经由所述排酸管路103的出口流出槽体101。

在该具体实施方式中，第一磁铁110和第二磁铁112均为表面光滑的矩形磁铁，磁极分布在所述矩形磁铁的两端。在一种具体实施方式中，所述第一磁铁110和第二磁铁112的尺寸均大于所述补水管路102的入口和所述排酸管路103的出口的口径，使得所述第一磁铁110和第二磁铁112能够很好的堵住所述补水管路102的入口和所述排酸管路103的出口。

在该具体实施方式中，所述补水管路102的入口和所述排酸管路103的出口的边缘整齐，且朝向均为竖直向上。第一磁铁110和第二磁铁112堵住所述补水管路102的入口和排酸管路103的出口时，第一磁铁110和第二磁铁112表面与所述补水管路102的入口和排酸管路103的出口更加贴合，具有更好的防泄漏效果。

在该具体实施方式中，所述第一弹簧111和第二弹簧113的劲度系数足够大，能够在所述第一弹簧111和第二弹簧113拉伸长度或压缩长度有限的情况下将第一磁铁110和第二磁铁112拉离所述补水管路102的入口和排酸管路103的出口。

在一种具体实施方式中，第一磁铁110和第二磁铁112的磁极都设置在竖直方向上，且设置在同一直线上，且第一磁铁110和第二磁铁112相同的磁极相对设置，这样，电磁装置106施加给第一磁铁110和第二磁铁112的力的方向是相反的。所述第一弹簧111需要克服电磁装置106对第一磁铁110的吸引力，将所述第一磁铁110拉离所述补水管路102的入口，第二弹簧113需要克服电磁装置106对第二磁铁112的排斥力，将所第二磁铁112拉离所述排酸管路103出口。

在一种具体实施方式中，所述第一弹簧111设置在所述补水管路102入口的上方，用于给第一磁铁110以向上的拉力，所述第二弹簧113设置在所述排酸管路103出口的上方，用于给第二磁铁112以向上的拉力，保证在所述电磁装置106断电时，第一弹簧111和第二弹簧113能给予第一磁铁110和第二磁铁112以拉力，将第一磁铁110和第二磁铁112从所述补水管路102的入口和排酸管路103的出口拉离。在该具体实施方式中，所述第一弹簧111给第一磁铁110提供的拉力大于第一磁铁110的自重，所述第二弹簧113给第二磁铁112提供的拉力大于第二磁铁112的自重。

在一种具体实施方式中，所述第一弹簧111在第一磁铁110的正上方，所述第二弹簧113在第二磁铁112的正上方，提供给第一磁铁110和第二磁铁112的拉力的方向也与两个磁铁的磁极所在的直线相同，这样能使第一弹簧111和第二弹簧113给所述第一磁铁110、第二磁铁112提供的拉力没有在其他方向上的分量，保证在所述电磁装置106掉电时，弹簧能够提供足够大的力，将磁铁拉离所述补水管路102入口以及排酸管路103出口。

在该具体实施方式中，所述第一弹簧111和第二弹簧113的中心轴也与所述第一磁铁110、第二磁铁112的磁极所在的直线重合。

在一种具体实施方式中，所述电磁装置106包括：线圈108，连接至一外接电源109，设置在所述第一磁铁110和第二磁铁112之间，用于在所述外接电源109供电时产生电磁场，给所述第一磁铁110和第二磁铁112提供磁力。

在该具体实施方式中，所述线圈108的中心轴也在竖直方向上，与所述第一磁铁110和第二磁铁112的磁极所在的直线重合。在给所述线圈108通电时，该线圈108由于电生磁作用，产生一电磁场，作为电磁铁为所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105提供磁力。该电磁铁的磁极也在所述第一磁铁110和第二磁铁112的磁极所在的直线上，这样，电磁装置106提供给所述第一磁铁110和第二磁铁112的磁极的磁力在其他方向的分量最小，能够实现磁力的最大化利用，节省能源。需要注意的是，在给所述线圈108通电时，要注意电流的方向，以保证对第一磁铁110和第二磁铁112的作用力的方向。

在该具体实施方式中，所述电磁装置106给所述第一磁铁110以向下的吸引力，给所述第二磁铁112以向下的排斥力。具体的，所述线圈108通电后，产生的磁场给第一磁铁110以吸引力，给第二磁铁112以排斥力，使第一磁铁110紧紧堵在补水管路102入口，第二磁铁112紧紧堵在所述排酸管路103出口，防止水经由所述补水管路102入口进入槽体101，以及防止化学品经由排酸管路103出口从槽体101内排出。

在该具体实施方式中，在所述电磁装置106通电时，第一弹簧111拉伸，且电磁装置106对第一磁铁110的吸引力大于所述第一弹簧111对第一磁铁110的拉力。第二弹簧113也拉伸，所述电磁装置106对第二磁铁112的排斥力也大于所述第二弹簧113对第二磁铁112的拉力。所述第一磁铁110和第二磁铁112都能够克服竖直向上的拉力，紧紧地堵在所述补水管路102入口和所述排酸管路103出口。

在一种具体实施方式中，所述线圈108的匝数至少为8匝，以保证所述线圈108通电后给第一磁性堵头104、第二磁性堵头105提供的磁力足够大，能够保证所述第一磁铁110被拉到所述补水管路102的入口，第二磁铁112被拉到所述排酸管路103的出口。实际上，可根据需要设置线圈108的匝数，以10到30匝为宜。

请参阅图2，为本实用新型一种具体实施方式中电磁装置106掉电时磁性堵头的结构示意图。在该具体实施方式中，在所述电磁装置106掉电、不再给所述两个磁性堵头提供磁力时，所述第一磁铁110和第二磁铁112在第一弹簧111和第二弹簧113提供的竖直向上的拉力下，脱离所述补水管路102的入口和所述排酸管路103的出口。此时，水被顺畅的排放至所述槽体101，化学品被顺畅的从槽体101内排出。

在一种具体实施方式中，所述化学品槽还包括：循环水箱115，连通至所述排酸管路103，用于放置自所述槽体101排出的化学品。

在该具体实施方式中，所述化学品槽还包括水源114，连通至所述补水管路102，用于提供要通入所述槽体101内的水。在一种具体实施方式中，水为去离子水，这样，能保证对槽体101的清洗效果。

请继续参阅图1，该具体实施方式中还提供了一种晶圆处理设备，包括：电源109，用于给所述晶圆处理设备供电；化学品槽，包括：槽体101，用于盛放化学品；补水管路102，连通至所述槽体101，用于向所述槽体101内通入水；排酸管路103，连通至所述槽体101，用于排出所述槽体101内的化学品；第一磁性堵头104，设置到所述补水管路102的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路102的入口，防止水经由所述补水管路102进入所述槽体101；第二磁性堵头105，设置到所述排酸管路103的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路103的出口，防止化学品经由所述排酸管路103从所述槽体101内排出；电磁装置106，设置于所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105之间，连接至所述电源109，用于在通电时给所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105提供磁力，使所述第一磁性堵头104堵住所述补水管路102的入口，第二磁性堵头105堵住所述排酸管路103的出口。

由于该晶圆处理设备的化学品槽具有补水管路102和排酸管路103，并且所述补水管路102和排酸管路103的导通与否是由一电磁装置106来控制的，因此在所述电磁装置106掉电时，所述补水管路102和排酸管路103都会导通，一边向所述槽体101内通入水，一边将槽体101内的化学品排出，保证在所述电磁装置106掉电时能快速将槽体101内的化学品排出，防止槽体101内的化学品腐蚀晶圆107，提高了晶圆107的生产率。

在一种具体实施方式中，所述第一磁性堵头104包括：第一磁铁110，设置于所述补水管路102的入口，用于在磁力的作用下堵住所述补水管路102的入口；第一弹簧111，连接至所述第一磁铁110，用于给所述第一磁铁110施加将所述第一磁铁110拉离所述补水管路102的入口的力；所述第二磁性堵头105包括：第二磁铁112，设置于所述排酸管路103的出口，用于在磁力的作用下堵住所述排酸管路103的出口；第二弹簧113，连接至所述第二磁铁112，用于给所述第二磁铁112施加将所述第二磁铁112拉离所述排酸管路103的出口的力。

在所述电磁装置106通电、给所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105提供磁力时，所述第一弹簧111能够给第一磁铁110施以与磁力方向相反的拉力，所述第二弹簧113能够给第二磁铁112施以与磁力方向相反的拉力，来保证在电磁装置106掉电时，第一磁铁110和第二磁铁112会由于第一弹簧111和第二弹簧113的拉力而被拉离所述补水管路102的入口和所述排酸管路103的出口，所述补水管路102和排酸管路103一定导通，水经由所述补水管路102的入口流入槽体101，化学品经由所述排酸管路103的出口流出槽体101。

在一种具体实施方式中，所述电磁装置106包括：线圈108，连接至一外接电源109，设置在所述第一磁铁110和第二磁铁112之间，用于在所述外接电源109供电时产生电磁场，给所述第一磁铁110和第二磁铁112提供磁力。在给所述线圈108通电时，该线圈108由于电生磁作用，产生一电磁场，作为电磁铁为所述第一磁性堵头104和第二磁性堵头105提供磁力，使第一磁铁110紧紧的设置到所述补水管路102入口，第二磁铁112紧紧的设置到所述排酸管路103出口，防止在所述电源109正常供电时有水被排入所述槽体101，有化学品从槽体101内排出。

在一种具体实施方式中，所述晶圆处理设备为湿式清洗台，所述化学品槽作为所述湿式清洗台的酸槽来使用。在使用该种化学品槽作为酸槽时，由于具有补水管路102和排酸管路103，并且所述补水管路102和排酸管路103的导通与否是由所述电磁装置106来控制的，只要所述电磁装置106一掉电，所述补水管路102和排酸管路103都会导通，一边向所述槽体101内通入水，一边将槽体101内的化学品排出，保证在所述电磁装置106掉电时能快速将槽体101内的化学品清洗、排出，防止槽体101内的化学品腐蚀晶圆107，提高了晶圆107的生产率。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。