技术总结
本实用新型公开了一种扩散均匀的扩散烧结炉，属于太阳能电池生产设备技术领域，目的在于提供一种扩散均匀的扩散烧结炉，解决现有扩散烧结炉气源扩散不均匀的问题。其包括垂直设置的扩散炉管，扩散炉管外侧设置有隔热层，扩散炉管周围位于扩散炉管与隔热层之间设置有若干加热管，扩散炉管上端安装有扩散炉门，扩散炉管下端中部开设有排气口，扩散炉管下端位于排气口旁还设置有进气口，扩散炉管内位于扩散炉管中部设置有石英舟，石英舟上设置有若干硅片。本实用新型适用于扩散烧结炉。
技术研发人员：周公庆
受保护的技术使用者：通威太阳能(成都)有限公司
技术研发日：2019.04.25
技术公布日：2019.12.13