本实用新型是真空环境机械加工技术领域，具体的说是一种真空转移台用真空转移装置。
背景技术：
管壳和工作光窗需要连接形成内部真空的组合工件，在连接前需要分别在真空环境内进行独立加电处理或者进行光激活与冲刷工艺处理。因此需要一种在真空环境中能够分别对两个工件进行独立处理，并能将两个工件固定连接在一起的真空转移装置。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空转移台用真空转移装置，能够在真空环境内对管壳和工作光窗分别在不同空间内进行独立处理，并通过操作臂将管壳和工作光窗连接，再通过加热实现管壳和工作光窗的固定连接，形成内部真空的组合工件。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：
一种真空转移台用真空转移装置，包括工作台板，所述的工作台板上表面设置有烘箱隔热板，所述的烘箱隔热板上方设置有可分离的加热烘箱，所述的烘箱隔热板和加热烘箱可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱上表面与烘箱悬臂固定连接，其特征在于：所述的加热烘箱内设置有真空腔体，所述的真空腔体包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；
第一独立腔体内设置有a工件，第二独立腔体内设置有b工件，第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由a工件和b工件形成的组合工件，第一磁力传递杆一端穿过第一独立腔体侧壁与a工件传动连接，第二磁力传递杆一端穿过第二独立腔体侧壁与b工件传动连接，所述的第一磁力传递杆与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；
所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗，第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰实现密封，所述的第一芯柱法兰用于支撑a工件以及对a工件加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰实现密封，所述的第二芯柱法兰用于支撑b工件以及对b工件加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰实现密封，所述的第三芯柱法兰用于支撑组合工件以及对组合工件加电，所述的真空腔体的侧壁开有抽气口，所述的抽气口通过连接气道与抽真空装置连通。
所述的真空腔体采用sus316不锈钢材料制成，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的腔内尺寸为φ95mm。
所述的第一磁力传递杆和第二磁力传递杆均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内。
所述的第一磁力传递杆和第二磁力传递杆的水平位移距离为250mm，圆周可转角度±15°。
所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均与真空腔体可拆卸连接，所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均设置有引入电极，所述的引入电极用于为a工件、b工件和组合工件加电。
所述的抽气口设置在第三芯柱法兰内。
该种真空转移台用真空转移装置能够产生的有益效果为：第一，设置有三个相对独立的独立腔体，可以在每个独立腔体内分别完成对a工件、b工件以及组合工件的处理工作，保证了工件之间预处理的独立性，提高了工件处理质量。第二，通过设置第一磁力传递杆和第二磁力传递杆保证了a工件和b工件的位移稳定性，可以使两侧的a工件和b工件移动到第三独立腔体实现结合，提高了真空环境内工件组合的精准度。第三，通过设置多个支撑法兰、观察窗，保证了工件预处理的可操作性。
附图说明
图1为本实用新型一种真空转移台用真空转移装置的结构示意图。
说明书附图标注：1、组合工件；2、烘箱隔热板；3、第一芯柱法兰；4、a工件；5、第一磁力传递杆；6、加热烘箱；7、上观察窗；8、烘箱悬臂；9、侧观察窗；10、真空腔体；11、第二磁力传递杆；12、b工件；13、第二芯柱法兰；14、第三芯柱法兰；15、抽气口；16、工作台板；17、连接气道。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述。
如图1所示，一种真空转移台用真空转移装置，包括工作台板16，所述的工作台板16上表面设置有烘箱隔热板2，所述的烘箱隔热板2上方设置有可分离的加热烘箱6，所述的烘箱隔热板2和加热烘箱6可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱6上表面与烘箱悬臂8固定连接，其特征在于：所述的加热烘箱6内设置有真空腔体10，所述的真空腔体10包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；
第一独立腔体内设置有a工件4，第二独立腔体内设置有b工件12，第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由a工件4和b工件12形成的组合工件1，第一磁力传递杆5一端穿过第一独立腔体侧壁与a工件4传动连接，第二磁力传递杆11一端穿过第二独立腔体侧壁与b工件12传动连接，所述的第一磁力传递杆5与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆11与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；
所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗7，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗9，第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰3实现密封，所述的第一芯柱法兰3用于支撑a工件4以及对a工件4加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰13实现密封，所述的第二芯柱法兰13用于支撑b工件12以及对b工件12加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰14实现密封，所述的第三芯柱法兰14用于支撑组合工件1以及对组合工件1加电，所述的真空腔体10的侧壁开有抽气口15，所述的抽气口15通过连接气道17与抽真空装置连通。
本实施例中，真空腔体10采用sus316不锈钢材料制成，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的腔内尺寸为φ95mm。
本实施例中，第一磁力传递杆5和第二磁力传递杆11均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆5的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆11的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内。
本实施例中，第一磁力传递杆5和第二磁力传递杆11的水平位移距离为250mm，圆周可转角度±15°。
本实施例中，第一芯柱法兰3、第二芯柱法兰13和第三芯柱法兰14均与真空腔体10可拆卸连接，所述的第一芯柱法兰3、第二芯柱法兰13和第三芯柱法兰14均设置有引入电极，所述的引入电极用于为a工件4、b工件12和组合工件1加电。
本实施例中，抽气口设置在第三芯柱法兰14内。
进一步的，组合工件1由a工件4和b工件12组合形成，a工件4为一种管壳类结构，b工件12为工作光窗结构，所述的上观察窗7用于配合预处理装置光激活与冲刷a工件4和b工件12。
预处理后的a工件4由第一磁力传递杆5将其移至第三独立腔体内，b工件12通过第二磁力传递杆11将其移动到第三独立腔体中a工件4的上方，由于a工件4为一端开口半密封管壳，b工件12为a工件4配套的窗口，在a工件4和b工件12之间预置了一种低温焊料。通过辅助定位工装精准定位后，再由加热烘箱6升温到低温焊料的融化温度，完成a工件4和b工件12的封装，由于真空腔体10内为极限真空度优于5×10-7pa的真空环境，因此a工件4和b工件12的封装为真空封装。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。