一种视觉补偿硅片置入载板机构的制作方法

本申请涉及硅片生产领域，具体涉及一种视觉补偿硅片置入载板机构。

背景技术：

硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，太阳能电池需要一个大面积的pn结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池pn结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把p型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了n型半导体和p型半导体的交界面，也就是pn结。在硅片加工过程中，需要将硅片输送至工作位置，加工完成后再下料。

技术实现要素：

本申请要解决的技术问题是提供一种如何使吸盘能够准确的抓取硅片的视觉补偿硅片置入载板机构。

为了解决上述技术问题，本申请提供了一种视觉补偿硅片置入载板机构，所述的载板机构包括两条平行设置的x向直线电机、安装在两个x向直线电机之间的y向直线电机、安装在y向直线电机上的吸盘组件，所述的y向直线电机能够在x向直线电机的驱动下沿x向移动，吸盘组件能够在y向直线电机的驱动下沿y向移动，所述的吸盘组件包括l型的第二连接件，所述的第二连接件包括安装在y向直线电机上的水平安装板及竖直设置的竖直安装板，所述的竖直安装板上设置有两个z向导轨，所述的吸盘组件还包括两个能够分别沿两个z向导轨移动的滑块、驱动所述的滑块沿z向导轨移动的z轴升降汽缸、与所述的滑块固定连接的吸盘安装板，所述的吸盘安装板水平设置，所述的吸盘安装板的底部安装有多个用于吸取硅片的吸盘。

优选地，每个所述的吸盘对应的安装有一个硅片检测传感器，所述的硅片检测传感器用于检测所述的吸盘是否吸取硅片。

优选地，两条所述的x向直线电机上分别安装有一第一连接件，两个第一连接件之间安装有一横梁，所述的y向直线电机安装在所述的横梁上，所述的x向之间电机用于驱动所述的第一连接件来驱动所述的y向直线电机沿x向移动。

优选地，所述的y向直线电机位于所述的x向之间电机的下侧。

优选地，所述的载板机构还包括用于放置硅片的载板、用于定位载板的多个定位组件，所述的载板位于两个x向直线电机的之间，且位于x向直线电机的下侧。

优选地，多个定位组件包括4个第一定位组件和4个第二定位组件，所述的载板的每条边相对应的安装有两个定位组件，所述的第一定位组件分别设于载板的x向边的一侧，用于对所述的载板的x向边缘施加y向的作用力，所述的第二定位组件分别设于载板的y向边的一侧，用于对所述的载板的y向边缘施加x向的作用力。

优选地，所述的第一定位组件包括载板定位汽缸安装座、安装在所述的载板定位汽缸安装座上的载板定位汽缸、设置在载板定位汽缸的活塞杆端部的载板定位块，所述的载板定位块用于对载板的边缘施加作用力。

优选地，所述的载板的一组对角位置的上侧还分别设置了一载板定位相机，每个所述的载板定位相机的下侧还对应的设置有一光源，所述的光源位于所述的载板的下侧。当定位组件对载板定位完成后，两组定位相机对载板两个角进行拍照，通过算法可以计算出托盘的实际位置及偏斜角度，同时还能计算出载板由于温度变化造成外形尺寸变化，并将该值反馈给系统。所述的光源用于显示出载板在对角位置的轮廓。

优选地，所述的载板机构还包括一硅片定位相机，所述的硅片定位相机的高度低于所述的载板的高度，所述的硅片定位相机用于对吸盘组件吸取的硅片进行拍照。吸盘组件吸取硅片后运动至硅片定位相机上部进行拍照，系统根据照片可以计算出硅片的实际位置和偏斜角度，然后根据托盘定位相机反馈的托盘实际位置去进行方片动作。

优选地，所述的吸盘组件的吸盘还安装有一反光板，所述的反光板用于所述的硅片定位相机的拍照背景。

本申请的一种视觉补偿硅片置入载板机构，通过x向直线电机和y向直线电机及z向导轨的设计，使吸盘能够准确的抓取硅片，并将硅片运输至下一个工位。

附图说明

图1是本申请所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构的结构示意图。

图2是本申请所述的吸盘组件的结构示意图。

图3是第一定位组件的结构示意图。

其中：1、载板；2、x向直线电机；3、第一连接件；4、横梁；5、y向直线电机；6、第二定位组件；7、第一定位组件；8、光源；9、载板定位相机；10、硅片定位相机；100、吸盘组件；

101、第二连接件；102、吸盘安装板；103、滑块；104、z向导轨；105、吸盘；106、硅片检测传感器；107、z轴升降汽缸；

71、载板定位块；72、载板定位汽缸；73、载板定位汽缸安装座；200、硅片。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本申请并能予以实施，但所举实施例不作为对本申请的限定。

如图所示，本申请提供了一种视觉补偿硅片置入载板机构，所述的载板机构包括两条平行设置的x向直线电机2、安装在两个x向直线电机2之间的y向直线电机5、安装在y向直线电机5上的吸盘组件100，所述的y向直线电机5能够在x向直线电机2的驱动下沿x向移动，吸盘组件100能够在y向直线电机5的驱动下沿y向移动，所述的吸盘组件100包括l型的第二连接件101，所述的第二连接件101包括安装在y向直线电机5上的水平安装板及竖直设置的竖直安装板，所述的竖直安装板上设置有两个z向导轨104，所述的吸盘组件100还包括两个能够分别沿两个z向导轨104移动的滑块103、驱动所述的滑块103沿z向导轨104移动的z轴升降汽缸107、与所述的滑块103固定连接的吸盘安装板102，所述的吸盘安装板102水平设置，所述的吸盘安装板102的底部安装有多个用于吸取硅片的吸盘105。每个所述的吸盘105对应的安装有一个硅片检测传感器106，所述的硅片检测传感器106用于检测所述的吸盘105是否吸取硅片200。两条所述的x向直线电机2上分别安装有一第一连接件3，两个第一连接件3之间安装有一横梁4，所述的y向直线电机5安装在所述的横梁4上，所述的x向之间电机用于驱动所述的第一连接件3来驱动所述的y向直线电机5沿x向移动。所述的y向直线电机5位于所述的x向之间电机的下侧。所述的载板机构还包括用于放置硅片200的载板1、用于定位载板1的多个定位组件，所述的载板1位于两个x向直线电机2的之间，且位于x向直线电机2的下侧。多个定位组件包括4个第一定位组件7和4个第二定位组件6，所述的载板1的每条边相对应的安装有两个定位组件，所述的第一定位组件7分别设于载板1的x向边的一侧，用于对所述的载板1的x向边缘施加y向的作用力，所述的第二定位组件6分别设于载板1的y向边的一侧，用于对所述的载板1的y向边缘施加x向的作用力。所述的第一定位组件7包括载板定位汽缸安装座73、安装在所述的载板定位汽缸安装座73上的载板定位汽缸72、设置在载板定位汽缸72的活塞杆端部的载板定位块71，所述的载板定位块71用于对载板的边缘施加作用力。所述的载板的一组对角位置的上侧还分别设置了一载板定位相机9，每个所述的载板定位相机9的下侧还对应的设置有一光源8，所述的光源8位于所述的载板的下侧。当定位组件对载板定位完成后，两组定位相机对载板两个角进行拍照，通过算法可以计算出托盘的实际位置及偏斜角度，同时还能计算出载板由于温度变化造成外形尺寸变化，并将该值反馈给系统。所述的光源8用于显示出载板在对角位置的轮廓。所述的载板机构还包括一硅片定位相机10，所述的硅片定位相机10的高度低于所述的载板的高度，所述的硅片定位相机10用于对吸盘组件100吸取的硅片进行拍照。吸盘组件100吸取硅片200后运动至硅片定位相机10上部进行拍照，系统根据照片可以计算出硅片的实际位置和偏斜角度，然后根据托盘定位相机反馈的托盘实际位置去进行方片动作。所述的吸盘组件100的吸盘还安装有一反光板，所述的反光板用于所述的硅片定位相机10的拍照背景。

本申请的一种视觉补偿硅片置入载板机构，通过x向直线电机2和y向直线电机5及z向导轨104的设计，使吸盘能够准确的抓取硅片，并将硅片运输至下一个工位。

以上所述实施例仅是为充分说明本申请而所举的较佳的实施例，本申请的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本申请基础上所作的等同替代或变换，均在本申请的保护范围之内。本申请的保护范围以权利要求书为准。