1.一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,所述的载板机构包括两条平行设置的x向直线电机、安装在两个x向直线电机之间的y向直线电机、安装在y向直线电机上的吸盘组件,所述的y向直线电机能够在x向直线电机的驱动下沿x向移动,吸盘组件能够在y向直线电机的驱动下沿y向移动,
所述的吸盘组件包括l型的第二连接件,所述的第二连接件包括安装在y向直线电机上的水平安装板及竖直设置的竖直安装板,所述的竖直安装板上设置有两个z向导轨,所述的吸盘组件还包括两个能够分别沿两个z向导轨移动的滑块、驱动所述的滑块沿z向导轨移动的z轴升降汽缸、与所述的滑块固定连接的吸盘安装板,所述的吸盘安装板水平设置,所述的吸盘安装板的底部安装有多个用于吸取硅片的吸盘。
2.如权利要求1所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,每个所述的吸盘对应的安装有一个硅片检测传感器,所述的硅片检测传感器用于检测所述的吸盘是否吸取硅片。
3.如权利要求1所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,两条所述的x向直线电机上分别安装有一第一连接件,两个第一连接件之间安装有一横梁,所述的y向直线电机安装在所述的横梁上,所述的x向之间电机用于驱动所述的第一连接件来驱动所述的y向直线电机沿x向移动。
4.如权利要求3所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,所述的y向直线电机位于所述的x向之间电机的下侧。
5.如权利要求1所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,所述的载板机构还包括用于放置硅片的载板、用于定位载板的多个定位组件,所述的载板位于两个x向直线电机的之间,且位于x向直线电机的下侧。
6.如权利要求5所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,多个定位组件包括4个第一定位组件和4个第二定位组件,所述的载板的每条边相对应的安装有两个定位组件,所述的第一定位组件分别设于载板的x向边的一侧,用于对所述的载板的x向边缘施加y向的作用力,所述的第二定位组件分别设于载板的y向边的一侧,用于对所述的载板的y向边缘施加x向的作用力。
7.如权利要求6所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,所述的第一定位组件包括载板定位汽缸安装座、安装在所述的载板定位汽缸安装座上的载板定位汽缸、设置在载板定位汽缸的活塞杆端部的载板定位块,所述的载板定位块用于对载板的边缘施加作用力。
8.如权利要求7所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,所述的载板的一组对角位置的上侧还分别设置了一载板定位相机,每个所述的载板定位相机的下侧还对应的设置有一光源,所述的光源位于所述的载板的下侧。
9.如权利要求8所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,所述的载板机构还包括一硅片定位相机,所述的硅片定位相机的高度低于所述的载板的高度,所述的硅片定位相机用于对吸盘组件吸取的硅片进行拍照。
10.如权利要求9所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构,其特征在于,所述的吸盘组件的吸盘还安装有一反光板,所述的反光板用于所述的硅片定位相机的拍照背景。