一种PFA清洗花篮的制作方法

文档序号:20907016发布日期:2020-05-29 12:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种pfa清洗花篮,包括第一侧板、与所述第一侧板平行设置的第二侧板、以及设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板,所述第一侧板、第二侧板、第一槽齿板、以及第二槽齿板共同围成清洗空间,其特征在于,所述第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部,所述第一竖直部和所述倾斜部上设有若干等间距的容置槽,所述第一竖直部和所述倾斜部的连接处设有横筋,所述第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨,所述八字形连接骨位于所述容置槽内,相邻两个所述八字形连接骨交错设置,形成上下两排八字形连接骨。

2.根据权利要求1所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述第二槽齿板与所述第一槽齿板对称设置。

3.根据权利要求1所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述八字形连接骨的八字形角度为90°,所述八字形连接骨包括长端面和短端面,所述长端面设置在所述容置槽内,所述短端面与所述第一槽齿板的外侧面齐平。

4.根据权利要求1所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述第一竖直部外侧面的容置槽顶部离地面的距离为119.5mm。

5.根据权利要求1所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述第一侧板和所述第二侧板的上部均设有u形凹位,且两个所述u形凹位对称设置。

6.根据权利要求1所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述第一侧板的下部设有拱形凹位,所述第二侧板的下部设有倒u形凹位。

7.根据权利要求6所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述拱形凹位为半椭圆形形状。

8.根据权利要求1所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述第一槽齿板和所述第二槽齿板的上端均设有挂耳。

9.根据权利要求2所述的pfa清洗花篮,其特征在于,所述第二竖直部的下端设有底部支撑脚。


技术总结
本实用新型属于半导体晶片清洗装置技术领域,具体为一种PFA清洗花篮,包括第一侧板、第二侧板、以及设置在第一侧板和第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板,第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部,第一竖直部和倾斜部上设有若干等间距的容置槽,第一竖直部和倾斜部的连接处设有横筋,第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨,八字形连接骨位于容置槽内,相邻两个八字形连接骨交错设置,形成上下两排八字形连接骨。本实用新型解决了现有花篮强度低,易破碎的问题,而且通过在结构上进行改进,使得液体在清洗空间内的流动性更好,通风性更好,达到较好的清洗半导体的目的。

技术研发人员:袁黔云
受保护的技术使用者:深圳市迈捷微科技有限公司
技术研发日:2019.10.29
技术公布日:2020.05.29
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