1.高密封性晶圆清洗槽，包括位于槽体下方的清洗腔（1），所述清洗腔（1）的上方设置有密封盖板（4），所述密封盖板（4）上开设有密封槽（40），所述清洗腔（1）内可放置有晶圆架（2）；所述晶圆架（2）两侧固定于一组平行设置的机械臂（3）的下端；所述机械臂（3）的上端连接驱动机构（31）并位于所述密封盖板（4）的上方，所述机械臂（3）的下端穿过所述密封槽（40）并在所述驱动机构（31）的作用下带动所述晶圆架（2）在清洗腔（1）中移动，其特征在于：所述密封槽（40）内固定设置有一密封壳（5），所述密封壳（5）内包括至少两个宽度相同，长度不等的叠放的滑片（50），其中相对长的滑片放置于相对短的滑片的下方，所述机械臂（3）驱动至少一片所述滑片（50）在所述密封壳（5）的内部空间内滑动，所述滑片（50）在滑动过程中始终密封槽（40）进行密封。
2.根据权利要求1所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：所述密封壳（5）为一框体，且所述密封壳（5）的上下两面开设有一长宽相同的滑槽（51）。
3.根据权利要求2所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：每片所述滑片（50）均具有延其长度方向设置的长槽（52），所述长槽（52）为贯通所述滑片（50）上下端面的结构。
4.根据权利要求3所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：位于最上方的滑片（50）的长槽（52）的内轮廓与所述机械臂（3）的外轮廓相匹配，以使所述机械臂（3）可带动所述位于最上方的滑片（50）移动。
5.根据权利要求4所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：所述机械臂（3）穿过每个所述滑片（50）的长槽（52）。
6.根据权利要求5所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：所述滑片（50）的两端均垂直设置有用于限位的挡边（53）。
7.根据权利要求6所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：所述滑片（50）的长度及滑片（50）上设置的长槽（52）的长度从上至下依次递增。
8.根据权利要求7所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：所述驱动机构（31）控制所述机械臂（3）移动时，位于上方的所述滑片（50）始终对邻接于其下方的滑片（50）上的长槽（52）进行密封。
9.根据权利要求8所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：位于最下方的所述滑片（50）固定在所述密封壳（5）的内底上，其长宽与所述密封盖板（4）内壁的长宽相等，其上设置的长槽（52）的长度与所述滑槽（51）的长度相当。
10.根据权利要求9所述的高密封性晶圆清洗槽，其特征在于：位于最下方的所述滑片（50）与所述密封壳（5）之间设置有密封圈。