倒装LED芯片的制作方法

文档序号:21037565发布日期:2020-06-09 20:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种倒装led芯片,其特征在于,包括:

衬底;

位于所述衬底表面上的外延层,所述外延层包括由下向上依次设置的第一半导体层、发光层和第二半导体层;

pn台阶,位于所述外延层中,所述pn台阶的上台阶面为第二半导体层,下台阶面为第一半导体层,上台阶面和下台阶面之间连接形成pn台阶侧面;

第一绝缘层,覆盖所述pn台阶侧面、部分上台阶面以及部分下台阶面;

反射镜层,位于所述第二半导体层上;

电流扩展层,位于所述反射镜层上;

其中,所述反射镜层与相邻的所述pn台阶侧面之间的间距为0~6um。

2.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,还包括:

第一电极,与所述第一半导体层电连接;以及

第二电极,与第一电极彼此隔离,位于所述电流扩展层上,与所述第二半导体层电连接。

3.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述电流扩展层的厚度为0.5um-3um。

4.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述电流扩展层覆盖部分所述第一绝缘层。

5.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述反射镜层和所述电流扩展层均覆盖部分第一绝缘层。

6.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第一绝缘层具有第一开口,露出第一半导体层和第二半导体层。

7.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第一绝缘层的厚度为0.01um-10um。

8.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第一绝缘层包括氧化硅层、氮化硅层中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述反射镜层包括银层、铝层、氧化铟锡层中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述电流扩展层包括钛层、铂层、银层、铝层、镍层、铬层、金层中的至少一种。

11.根据权利要求1所述的倒装led芯片,其特征在于,所述反射镜层的厚度为0.1um-2um。

12.根据权利要求2所述的倒装led芯片,其特征在于,还包括:

第二绝缘层,位于所述第一绝缘层和所述电流扩展层上,

其中,所述第二绝缘层具有第二开口,露出第一半导体层和所述电流扩展层。

13.根据权利要求12所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第二绝缘层的厚度为0.01um-10um,所述第二绝缘层包括氧化硅层、氮化硅层中的至少一种。

14.根据权利要求12所述的倒装led芯片,其特征在于,还包括:

布线层,位于所述第二绝缘层上,覆盖暴露的第一半导体层和所述电流扩展层,分别与所述第一半导体层和所述电流扩展层电连接;

其中,所述布线层包括彼此隔离的第一金属层和第二金属层,其中,第一金属层,与所述第一半导体层电连接;

第二金属层,位于所述电流扩展层上,与所述第二半导体层电连接。

15.根据权利要求14所述的倒装led芯片,其中,所述第一金属层和所述第二金属层沿水平方向的间隔距离为5um-100um。

16.根据权利要求14所述的倒装led芯片,其特征在于,所述布线层的厚度为0.5um-3um,所述布线层包括钛层、铂层、银层、铝层、镍层、铬层、金层中的至少一种。

17.根据权利要求14所述的倒装led芯片,其特征在于,还包括:

第三绝缘层,位于所述第一金属层和第二金属层上;

其中,所述第三绝缘层具有第三开口,露出部分第一金属层和第二金属层。

18.根据权利要求17所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第一电极位于所述第三绝缘层上,通过第三开口与第一金属层电连接;

所述第二电极位于所述第三绝缘层上,通过第三开口与第二金属层电连接。

19.根据权利要求17所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第三绝缘层的厚度为0.01um-10um,所述第三绝缘层包括氧化硅层、氮化硅层中的至少一种。

20.根据权利要求2所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第一电极和所述第二电极包括钛层、铂层、银层、铝层、镍层、铬层、金层、金锡合金中的至少一种。

21.根据权利要求2所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第一电极和所述第二电极沿水平方向的间隔为10um-300um。

22.根据权利要求2所述的倒装led芯片,其特征在于,所述第一半导体层为n型氮化镓层,第二半导体层为p型氮化镓层,第一电极为n电极,第二电极为p电极。


技术总结
公开了一种倒装LED芯片,包括:衬底;位于衬底表面上的外延层,外延层包括由下向上依次设置的第一半导体层、发光层和第二半导体层,PN台阶,位于外延层中,其上台阶面为第二半导体层,下台阶面为第一半导体层,上台阶面和下台阶面连接形成PN台阶侧面;第一绝缘层,覆盖PN台阶侧面、部分上台阶面和下台阶面;反射镜层,位于第二半导体层上;电流扩展层,位于反射镜层上;其中,所述反射镜层与相邻的所述PN台阶侧面之间的间距为0~6um。本实用新型的倒装LED芯片大大缩小了反射镜层距PN台阶的侧面的距离,提高反光效率。

技术研发人员:张晓平
受保护的技术使用者:厦门士兰明镓化合物半导体有限公司
技术研发日:2019.11.20
技术公布日:2020.06.09
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1