一种硅及金属材料的等离子刻蚀机的制作方法

本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种硅及金属材料的等离子刻蚀机。

背景技术：

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体，顺流等离子体，直接等离子体。

现有的硅及金属材料的等离子刻蚀机在使用的时候，1、观察窗的内壁和外壁表面会吸附有灰尘等异物降低观察窗的透明度，降低技术人员的观测效果；2、显示屏固定连接在机壳表面，不方便对其进行位置和角度的调节，存在局限性。为此，我们提出一种硅及金属材料的等离子刻蚀机。

技术实现要素：

本实用新型提供一种硅及金属材料的等离子刻蚀机，旨在解决现有的硅及金属材料的等离子刻蚀机在使用的时候，观察窗的内壁和外壁表面会吸附有灰尘等异物降低观察窗的透明度，降低技术人员的观测效果；显示屏固定连接在机壳表面，不方便对其进行位置和角度的调节，存在局限性的问题。

本实用新型提供的具体技术方案如下：

本实用新型提供的一种硅及金属材料的等离子刻蚀机包括机壳、显示屏、侧门和观察窗，所述观察窗镶嵌在侧门表面，所述侧门铰链连接在机壳表面，所述显示屏位于机壳表面靠近顶端位置，所述观察窗内壁中间位置安装有伺服电机，所述伺服电机的传动输出端传动连接刮板，所述观察窗外部滑动连接有挡板，所述机壳表面固定安装有卡座，所述卡座中间位置通过伸缩架和伸缩杆与显示屏活动连接。

可选的，所述挡板底端通过弹簧与侧门底端位置固定连接，所述侧门表面对称设有导向杆且为固定连接，所述挡板两侧壁滑动插接在导向杆内部。

可选的，所述刮板贴合在观察窗内壁，所述刮板的长度略小于观察窗半径。

可选的，所述伸缩架靠近底端位置与显示屏底端位置活动连接，所述伸缩架靠近顶端位置与伸缩杆一端固定连接，所述伸缩杆另一端与显示屏顶端位置活动连接。

可选的，所述显示屏的高度略小于卡座高度，且显示屏卡接在卡座内部。

可选的，所述机壳两侧壁对称开设有散热窗，所述散热窗一侧粘接有防尘网。

本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型观察窗内壁中间位置安装有伺服电机，伺服电机的传动输出端传动连接刮板，刮板贴合在观察窗内壁，刮板的长度略小于观察窗半径，通过伺服电机驱动刮板对观察窗内壁进行擦拭清洁，提高透视度和清晰度，观察窗外部滑动连接有挡板，挡板底端通过弹簧与侧门底端位置固定连接，侧门表面对称设有导向杆且为固定连接，挡板两侧壁滑动插接在导向杆内部，挡板对观察窗进行遮挡，具有很好的防尘保护功能，想要通过观察窗观测机壳内部的工作情况的时候，下压挡板，挡板沿着导向杆纵向滑动，观察窗为可视状态，撤去压力，挡板在弹簧的作用下复位。

2、本实用新型机壳表面固定安装有卡座，卡座中间位置通过伸缩架和伸缩杆与显示屏活动连接，伸缩架靠近底端位置与显示屏底端位置活动连接，伸缩架靠近顶端位置与伸缩杆一端固定连接，伸缩杆另一端与显示屏顶端位置活动连接，显示屏的高度略小于卡座高度，且显示屏卡接在卡座内部，通过拉动显示屏，伸缩架伸长或收缩，调节显示屏距离机壳的位置，伸缩杆便于改变显示屏的倾斜角度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的一种硅及金属材料的等离子刻蚀机的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例的一种硅及金属材料的等离子刻蚀机的侧视结构示意图；

图3为本实用新型实施例的一种硅及金属材料的等离子刻蚀机的显示屏和卡座连接结构示意图。

图中：1、机壳；2、显示屏；3、卡座；4、侧门；401、观察窗；5、伺服电机；501、刮板；6、挡板；601、导向杆；602、弹簧；7、散热窗；701、防尘网；8、伸缩架；9、伸缩杆。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面将结合图1～图3对本实用新型实施例的一种硅及金属材料的等离子刻蚀机进行详细的说明。

参考图1、图2和图3所示，本实用新型实施例提供的一种硅及金属材料的等离子刻蚀机包括机壳1、显示屏2、侧门4和观察窗401，所述观察窗401镶嵌在侧门4表面，所述侧门4铰链连接在机壳1表面，所述显示屏2位于机壳1表面靠近顶端位置，所述观察窗401内壁中间位置安装有伺服电机5，所述伺服电机5的传动输出端传动连接刮板501，所述观察窗401外部滑动连接有挡板6，所述机壳1表面固定安装有卡座3，所述卡座3中间位置通过伸缩架8和伸缩杆9与显示屏2活动连接。

参照图1所示，所述挡板6底端通过弹簧602与侧门4底端位置固定连接，所述侧门4表面对称设有导向杆601且为固定连接，所述挡板6两侧壁滑动插接在导向杆601内部，挡板对观察窗进行遮挡，具有很好的防尘保护功能，想要通过观察窗观测机壳内部的工作情况的时候，下压挡板，挡板沿着导向杆纵向滑动，观察窗为可视状态，撤去压力，挡板在弹簧的作用下复位。

参照图1所示，所述刮板501贴合在观察窗401内壁，所述刮板501的长度略小于观察窗401半径，通过伺服电机驱动刮板转动，对观察窗内壁进行擦拭清洁。

参照图3所示，所述伸缩架8靠近底端位置与显示屏2底端位置活动连接，所述伸缩架8靠近顶端位置与伸缩杆9一端固定连接，所述伸缩杆9另一端与显示屏2顶端位置活动连接，通过拉动显示屏，伸缩架伸长或收缩，调节显示屏距离机壳的位置，伸缩杆便于改变显示屏的倾斜角度。

参照图2或图3所示，所述显示屏2的高度略小于卡座3高度，且显示屏2卡接在卡座3内部，便于通过卡座对显示屏卡接固定。

参展图1所示，所述机壳1两侧壁对称开设有散热窗7，所述散热窗7一侧粘接有防尘网701，便于加速散热。

本实用新型实施例提供一种硅及金属材料的等离子刻蚀机，观察窗401内壁中间位置安装有伺服电机5，伺服电机5的传动输出端传动连接刮板501，刮板501贴合在观察窗401内壁，刮板501的长度略小于观察窗401半径，通过伺服电机5驱动刮板501对观察窗401内壁进行擦拭清洁，提高透视度和清晰度，观察窗401外部滑动连接有挡板6，挡板6底端通过弹簧602与侧门4底端位置固定连接，侧门4表面对称设有导向杆601且为固定连接，挡板6两侧壁滑动插接在导向杆601内部，挡板6对观察窗401进行遮挡，具有很好的防尘保护功能，想要通过观察窗401观测机壳1内部的工作情况的时候，下压挡板6，挡板6沿着导向杆601纵向滑动，观察窗401为可视状态，撤去压力，挡板6在弹簧602的作用下复位；机壳1表面固定安装有卡座3，卡座3中间位置通过伸缩架8和伸缩杆9与显示屏2活动连接，伸缩架8靠近底端位置与显示屏2底端位置活动连接，伸缩架8靠近顶端位置与伸缩杆9一端固定连接，伸缩杆9另一端与显示屏2顶端位置活动连接，显示屏2的高度略小于卡座3高度，且显示屏2卡接在卡座3内部，通过拉动显示屏2，伸缩架8伸长或收缩，调节显示屏2距离机壳1的位置，伸缩杆9便于改变显示屏2的倾斜角度。

需要说明的是，本实用新型为一种硅及金属材料的等离子刻蚀机，包括机壳1、显示屏2、卡座3、侧门4、观察窗401、伺服电机5、刮板501、挡板6、导向杆601、弹簧602、散热窗7、防尘网701、伸缩架8、伸缩杆9，上述电器元件均为现有技术产品，由本领域技术人员根据使用的需要，选取、安装并完成电路的调试作业，确保各用电器均能正常工作，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本申请人在这里不做具体限制。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样，倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。