图像感测装置的制作方法

文档序号:25530426发布日期:2021-06-18 20:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种图像感测装置,该图像感测装置包括:

像素阵列,所述像素阵列包括多个单位像素,每个单位像素被构造为响应于入射光而将所述入射光转换为电信号,并且来自所述像素阵列的电信号表示由所述像素阵列捕获的图像,

其中,所述像素阵列包括:

多个滤色器,所述多个滤色器相对于所述多个单位像素放置并且被配置为对所述入射光进行过滤以透射要被所述多个单位像素接收的预定波长的光;

多个栅格结构,所述多个栅格结构设置在所述多个滤色器之间,并被配置为防止在相邻的滤色器之间发生光学串扰;以及

透镜层,所述透镜层设置在所述滤色器和所述栅格结构上方,并被配置为引导所述入射光以会聚在所述多个滤色器上,

其中,所述透镜层包括:

多个主微透镜,所述多个主微透镜被定位为在空间上分别对应于所述多个单位像素,使得每个主微透镜将所述入射光引导至对应的单位像素;以及

至少一个边缘微透镜,所述至少一个边缘微透镜被设置为与所述主微透镜偏移以至少部分地与相邻的主微透镜共同交叠,并且被配置为将入射在所述主微透镜上的光线向对应的单位像素折射以改善图像感测。

2.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

所述多个主微透镜中的每一个包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域;并且

所述至少一个边缘微透镜设置为至少部分地与所述相邻的主微透镜的所述边缘区域共同交叠。

3.根据权利要求2所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜包括:

多个边缘微透镜,所述多个边缘微透镜的中央部分以所述至少一个边缘微透镜至少部分地与两个相邻的主微透镜的所述边缘区域共同交叠的方式位于所述两个相邻的主微透镜的边界区域。

4.根据权利要求2所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜包括:

多个边缘微透镜,所述多个边缘微透镜的中央部分以所述至少一个边缘微透镜与四个相邻的主微透镜的所述边缘区域共同交叠的方式位于所述四个相邻的主微透镜的边界区域。

5.根据权利要求2所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜包括:

单个边缘微透镜,所述单个边缘微透镜形成为至少部分地与所述多个主微透镜的所述边缘区域以及设置在所述多个主微透镜之间的多个死区交叠。

6.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜形成为中央部分设置为至少部分地与设置在所述相邻的滤色器之间的所述栅格结构交叠的圆形圆顶形状。

7.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

所述至少一个边缘微透镜的中央部分以所述中央部分形成为与在x轴方向延伸的栅格结构和在y轴方向延伸的另一栅格结构被布置为彼此交叉的区域交叠的方式而形成为圆形圆顶形状。

8.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

所述多个主微透镜中的每一个包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域;并且

所述至少一个边缘微透镜形成为与所述相邻的主微透镜的所述边缘区域部分地交叠。

9.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述透镜层还包括:

外涂层,所述外涂层设置在所述边缘微透镜和所述滤色器之间以及所述主微透镜和所述滤色器之间。

10.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜包括比所述多个主微透镜中的每一个具有更高折射率的材料。

11.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述多个栅格结构中的每一个包括:

金属层;

空气层,所述空气层设置在所述金属层上方;以及

覆盖膜,所述覆盖膜形成为覆盖或包覆所述金属层和所述空气层。

12.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

所述单位像素包括光电转换元件,所述光电转换元件被配置为将所述入射光转换为与所述入射光相对应的电信号;并且

所述多个主微透镜中的每一个的中央部分设置成至少部分地与所述光电转换元件的中央部分交叠。

13.一种图像感测装置,该图像感测装置包括:

多个滤色器,所述多个滤色器形成为对入射光进行过滤以透射预定波长的光;

多个主微透镜,所述多个主微透镜以所述主微透镜被设置为一对一地对应于所述滤色器的方式分别设置在所述多个滤色器上方;以及

至少一个边缘微透镜,所述至少一个边缘微透镜以所述至少一个边缘微透镜至少部分地与所述多个主微透镜共同交叠的方式被设置为在相邻的主微透镜之间并与所述相邻的主微透镜交叠。

14.根据权利要求13所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜包括:

多个边缘微透镜,所述多个边缘微透镜形成为至少部分地与两个相邻的主微透镜共同交叠。

15.根据权利要求13所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜包括:

多个边缘微透镜,所述多个边缘微透镜形成为至少部分地与四个相邻的主微透镜共同交叠。

16.根据权利要求15所述的图像感测装置,其中,

所述多个边缘微透镜的中央部分位于设置在所述四个相邻的主微透镜之间的死区中。

17.根据权利要求13所述的图像感测装置,其中,

所述多个主微透镜中的每一个包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域;并且

所述至少一个边缘微透镜形成为与所述多个主微透镜的所述边缘区域部分地交叠。

18.根据权利要求13所述的图像感测装置,其中,所述至少一个边缘微透镜形成为圆形圆顶形状。

19.一种图像感测装置,该图像感测装置包括:

多个光电转换元件,所述多个光电转换元件以行和列布置;

多个滤色器,所述多个滤色器分别对应于所述多个光电转换元件并且分别在对应的光电转换元件上方以行和列布置;

多个第一微透镜,所述多个第一微透镜分别对应于所述多个滤色器,并且分别在对应的滤色器上方以行和列布置,每个第一微透镜包括中央部分和边缘部分;以及

多个第二微透镜,所述多个第二微透镜布置为在所述多个第一微透镜的边缘部分之间并且部分地与所述多个第一微透镜的边缘部分交叠,使得所述第一微透镜和所述第二微透镜一起将入射光的不同空间部分引导至所述多个光电转换元件。

20.根据权利要求19所述的图像感测装置,其中,所述第一微透镜的所述边缘部分被构造为比所述第一微透镜的中央部分更薄并且至少部分地与对应的第二微透镜交叠。


技术总结
图像感测装置包括布置有响应于入射光将入射光转换为电信号的多个单位像素的像素阵列。像素阵列包括:多个滤色器,其相对于多个单位像素放置并配置为对入射光进行过滤以透射要由多个单位像素接收的预定波长的光;多个栅格结构,其设置在多个滤色器之间以防止相邻滤色器之间发生光学串扰;以及透镜层,其设置在滤色器和栅格结构上方以引导入射光会聚在多个滤色器上。透镜层包括:多个主微透镜,其被定位为在空间上分别对应于多个单位像素,使得每个主微透镜将入射光引导至对应的单位像素;以及至少一个边缘微透镜,其设置为与主微透镜偏移以至少部分地与主微透镜共同交叠并配置为将入射在主微透镜上的光线向对应的单位像素折射以改善图像感测。

技术研发人员:朴淳烈
受保护的技术使用者:爱思开海力士有限公司
技术研发日:2020.06.29
技术公布日:2021.06.18
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