1.一种液冷一体化的吹胀型均热板,其特征在于,包括均热板端及冷凝端,均热板端及冷凝端一体成型。
2.根据权利要求1所述的吹胀型均热板,其特征在于,所述均热板端设有注液管、支撑柱和相变工质流动的流道腔体。
3.根据权利要求2所述的吹胀型均热板端,其特征在于,所述流道腔体在均热板端注液及抽真空完毕后通过封口焊接工艺形成密闭空腔。
4.根据权利要求3所述的吹胀型均热板,其特征在于,所述冷凝端包括冷却液出口、冷却液流道及冷却液入口。
5.根据权利要求4所述的吹胀型均热板,其特征在于,冷凝端为全腔体结构、微通道腔体结构、带支撑柱腔体结构或上述结构的复合结构。
6.根据权利要求3所述的吹胀型均热板,其特征在于,流道腔体及冷却液流道采用单面吹胀、双面吹胀或上述组合方式。
7.根据权利要求4所述的吹胀型均热板,其特征在于,冷却液为纯净水、纳米流体或液态金属中的任意一种。
8.根据权利要求2所述的吹胀型均热板,其特征在于,所述相变工质为丙酮、氟利昂、去离子水、甲醇或乙醇中的任意一种。
9.一种如权利要求1-8任一项所述的吹胀型均热板的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
s1流道印刷:根据所需的流道形状设计出在柔性金属板的延展方向上具有一定缩放比的相应丝网铜板为后续在轧制后得到所需的流道形状,然后通过滚轮在金属板上用石墨或氮化硅印刷出流道形状,通过该过程在均热板端印刷出相变工质汽液流道,在冷凝端印刷出冷却液流道;
s2轧制:将另一块柔性金属板覆盖在印刷有流道形状的金属板上,通过加热先进行热轧再冷轧,使两块金属板形成复合板,经过轧制后原来两块金属板之间有石墨的部分没有冷焊在一起,而没有石墨的部分在通过轧制工艺后冷焊在一起形成均热板的支撑柱结构;
s3吹胀:将轧制后的复合板先进行退火然后通入高压气体使印刷有石墨的部分胀起一定高度,并使用模具来保证胀起高度的一致性,通过吹胀过程使得均热板端形成具有一定高度的相变工质的汽液流道,冷凝端形成冷却液流道;
s4管路焊接:对吹胀后的均热板进行剪边、冲切后在均热板端焊接工艺管做作为为抽真空口与相变工质灌注口,在冷凝端焊接工艺管作为冷却液的出入口以方便连接管道;
s5注液:将均热板端进行抽真空及相变工质的灌注;
s6封口焊接:对均热板端的工艺管采用模具进行冷焊封口然后再焊接,防止相变工质的泄漏和杂气侵入均热板端。
10.根据权利要求9所述的制造方法,其特征在于,所述柔性金属板的厚度为1-2mm。