用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法与流程

相关申请的交叉引用

本专利申请要求于2020年1月7日在韩国知识产权局递交的韩国专利申请第10-2020-0002143号的优先权的权益，其公开通过引用以其整体并入本文。

一个或多个实施方式涉及设备和方法，并且更特别地，涉及用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法。

背景技术：

移动装置被广泛使用且通常包括任何手持计算机装置。移动装置的示例包括智能电话和平板个人计算机(pc)。

移动装置包括用于为用户提供诸如图像的视觉信息的显示装置。当驱动显示装置的组件被小型化时，显示装置的尺寸可大大地增加。

技术实现要素：

本公开的一个或多个实施方式包括用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法。

根据本公开的示例性实施方式，用于制造显示装置的设备包括：台架，该台架配置为支撑基板；移动单元，该移动单元配置为相对于台架移动；头单元，该头单元布置在移动单元上并且包括用于将液滴排出到基板上的喷嘴；和传感器单元，该传感器单元配置为发射激光以辐照从头单元下落到基板的液滴并且感测液滴的平面形状的一部分。

传感器单元可将激光导向到与液滴的下落方向垂直的平面的一个区。

传感器单元可将激光配置为具有来自多个可用的线形状中的特定线形状。

在示例性实施方式中，激光被布置在与传感器单元隔开第一距离的区中的液滴反射以产生反射光，并且传感器单元使用反射光来确定平面形状的一部分。

在示例性实施方式中，传感器单元包括向外部发射激光的多个传感器，并且多个传感器布置成一行。

传感器单元可布置在移动单元上。

传感器单元可包括：布置在移动单元上的传感器，产生并且发射激光；以及配置为折弯激光的路径的反射器，反射器与传感器隔开。

传感器单元可沿着相对于液滴下落在其上的基板的顶表面倾斜的平面发射激光。

液滴可包括有机材料。

该设备的控制器可基于由传感器单元感测的液滴的平面形状，控制是否操作头单元、液滴的下落速度和液滴的量中的至少一个。

该设备的控制器可将头单元的操作频率与激光的操作频率同步。

该设备的控制器可基于由传感器单元感测的结果计算液滴的平面形状和相对于传感器单元的液滴的平面中心。

该设备的控制器可基于液滴的平面中心，计算下落到基板的液滴的位置。

头单元可包括多个头，并且可基于从每个头下落的液滴的平面形状的中心，确定各个头之间的相对位置。

该设备配置为基于所感测的平面形状的一部分，控制移动单元或头单元。

根据示例性实施方式，制造显示装置的方法包括：从头单元排出材料以将材料的液滴滴落到基板上；沿着特定平面发射激光以在液滴下落到基板的同时辐照液滴；以及使用从下落的液滴反射的激光的光测量液滴的平面形状的一部分。

发射可沿着特定平面发射至少两束激光，液滴穿过特定平面。

至少两束激光可彼此平行。

特定平面可平行于液滴下落到的基板的顶表面。

特定平面可相对于液滴下落到的基板的顶表面倾斜。

液滴可在与发射激光的点隔开预定距离的点处穿过激光。

液滴可包括有机材料。

该方法可进一步包括：确定所测量的液滴的平面位置，基于液滴的平面位置确定是否要停止排出，以及当确定要停止排出时控制头单元来停止排出。

该方法可进一步包括：从测量的结果计算液滴的平面尺寸，以及基于液滴的平面尺寸控制头单元来调节液滴的排出量。

该方法可进一步包括：基于所测量的平面形状的一部分，控制头单元。

根据本公开的示例性实施方式，制造显示装置的方法包括：将基板布置在台架上；从头单元排出液滴；传感器发射激光以辐照从头单元下落到基板上的液滴；传感器感测从液滴反射的激光的光；通过感测所反射的光计算液滴的平面形状的一部分；以及基于所计算的平面形状的一部分，调节台架和头单元的相对位置以调节基板和头单元的相对位置。

该方法可进一步包括：将头单元的操作频率(例如，排出频率)与传感器的操作频率同步。

从传感器发射的激光的路径可以是可变的。

传感器可相对于台架移动。

由传感器的发射可包括发射至少两束平行激光。

至少两束平行激光可形成平面，并且由至少两束平行激光形成的平面可平行于基板的顶表面或相对于基板的顶表面倾斜。

该方法可进一步包括：基于由传感器感测的液滴的平面形状，控制是否操作头单元、液滴的下落速度和液滴的量中的至少一个。

这些和/或其他方面将从实施方式的以下描述和所附附图中变得显而易见和更容易理解。

这些一般的和具体的方面可通过使用系统、方法、计算机程序或特定系统、方法和计算机程序的组合来实施。

附图说明

本公开的示例性实施方式将从结合所附附图的以下描述中变得更加显而易见，其中：

图1是根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的透视图；

图2是根据本发明构思的示例性实施方式的图1中示出的传感器单元的透视图；

图3是根据本发明构思的示例性实施方式的图2中示出的激光发生器的底表面的后视图；

图4是示出从图2中示出的激光发生器发射的激光到达液滴的平面图；

图5是示出由图1中示出的传感器单元感测的信号的图；

图6是示出根据由图1中示出的传感器单元感测的信号而计算的液滴的中心的图；

图7是根据本发明构思的示例性实施方式制造的显示装置的平面图；

图8是沿着图7的线c-c'截取的显示装置的截面图；

图9是根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的透视图；

图10是图9中示出的传感器单元和液滴的透视图；

图11是根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的传感器单元的透视图；

图12是图11中示出的传感器单元的侧视图。

具体实施方式

现在将详细参考本公开的示例性实施方式，其示例在所附附图中阐释，其中相同的附图标记通篇指的是相同的元件。就这点而言，本实施方式可具有不同的形式，并且不应被解释为限于本文阐述的描述。因此，下面通过参考图仅描述实施方式以解释本描述的方面。如本文所使用的，术语“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和所有组合。本公开通篇中，表述“a、b和c中的至少一个”指示仅a、仅b、仅c、a和b两者、a和c两者、b和c两者、所有的a、b和c，或其变形。

在下文中，参考所附附图详细描述本实施方式。在附图中，对相同的或对应的元件给出相同的附图标记，并且省略了其重复描述。

如本文所使用的，单数形式“一个(a)”、“一种(an)”和“所述”旨在也包括复数形式，除非上下文另外明确指示。

将理解的是，当层、区或组件被称为“形成在”另一个层、区或组件“上”时，其可直接或间接地形成在另一层、区或组件上。即，例如，可存在中间层、区或组件。

在以下示例中，x轴、y轴和z轴不局限于直角坐标系的三个轴，并且可在更广泛的意义上解释。例如，x轴、y轴和z轴可彼此垂直，或可表示彼此不垂直的不同方向。

当可不同地实施特定实施方式时，具体工艺顺序可以与所描述的顺序不同地进行。例如，两个连续描述的工艺可基本上同时进行或以与所描述的顺序相反的顺序进行。

图1是根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备100的透视图。图2是根据本发明构思的示例性实施方式的图1中示出的传感器单元140的透视图。图3是根据本发明构思的示例性实施方式的图2中示出的激光发生器的底表面的后视图。

参考图1至图3，用于制造显示装置的设备100包括台架110、移动单元120、头单元130和传感器单元140。

显示基板d可布置在台架110上。在这种情况下，台架110可以以板形状形成。显示基板d放置并固定在台架110上。在示例性实施方式中，在台架110中存在槽，使得显示基板d的至少一部分被插入到槽中。在示例性实施方式中，台架110的表面中存在凹陷，使得显示基板d的至少一部分被插入到凹陷中。在另一个示例性实施方式中，台架110的表面中存在真空孔，并且台架110包括与真空孔协作吸收真空孔内部的气体的泵。在这种情况下，当泵操作时，真空孔内部的压力可几乎达到真空状态，并且因此显示基板d可固定到台架110。在另一个实施方式中，台架110可包括附着到显示基板d的静电吸盘或粘合吸盘。在另一个实施方式中，台架110可包括布置为可上升和可下降以通过在显示基板d的顶表面上施加力来固定显示基板d的突起，或包括夹紧显示基板d的侧表面的夹具等。

移动单元120可布置为相对于台架110移动。例如，台架110可以是静止的，并且移动单元120可在台架110的一个方向上进行线性运动。在另一个实施方式中，移动单元120是静止的，并且台架110相对于移动单元120在一个方向上进行往复运动。在另一个实施方式中，台架110和移动单元120均可独立地移动。

在图1中阐释的实施方式中，单独的线性驱动器150连接在移动单元120和台架110之间。在示例性实施方式中，线性驱动器150包括滚珠螺杆和电动机，滚珠螺杆连接到移动单元120，并且电动机连接到滚珠螺杆并且固定到台架110。在示例性实施方式中，线性驱动器150包括将移动单元120连接到台架110的线性电动机。在另一个实施方式中，线性驱动器150包括将移动单元120连接到台架110的气缸。在这种情况下，线性运动导轨可布置在移动单元120和台架110之间以在移动单元120相对于台架110移动的同时减小摩擦力。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中线性驱动器150包括线性电动机、台架110是静止的并且移动单元120在台架110的一个方向上进行线性运动的情况。在示例性实施方式中，移动单元120具有门架形状。在示例性实施方式中，移动单元120是包括下述的结构或支架：形状为矩形长方体的第一部分；以直角连接到第一部分的第一侧并朝向台架110延伸的形状为矩形长方体的第二部分；以及以直角连接到与第一侧相反的第一部分的第二侧并且也朝向台架110延伸的形状为矩形长方体的第三部分。从第一部分到第三部分可整合以形成单个部分。

头单元130(例如，用于排出或喷射特定材料的头)和传感器单元140(例如，传感器装置)可布置在移动单元120上。在一个实施方式中，头单元130可固定到移动单元120或布置为可线性移动。在另一个实施方式中，头单元130连接到传感器单元140并且在其中传感器单元140进行线性运动的情况下，头单元130与传感器单元140一起移动。在下文中，为了方便描述，详细描述其中头单元130连接到移动单元120并且相对于移动单元120进行线性运动的情况。

在其中头单元130连接到移动单元120以可线性移动的情况下，可在头单元130和移动单元120之间布置头驱动器(未示出)。头驱动器可形成为与上述的线性驱动器150相同或类似。头单元130可包括排出材料所通过的至少一个喷嘴131。在其中提供多个喷嘴131的实施方式中，多个喷嘴131可彼此间隔开。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中提供多个喷嘴131的情况。

喷嘴131可排出材料。例如，喷嘴131可在与移动单元120的移动方向垂直的方向上成一行地排出材料。例如，喷嘴131可将材料排出到显示基板d上。该材料可包括有机材料。在这种情况下，有机材料可形成下述的中间层(未示出)。在另一个实施方式中，有机材料可形成下述的薄膜封装层(未示出)中的有机层。

传感器单元140可连接到移动单元120或头单元130。在其中传感器单元140布置在移动单元120上的实施方式中，传感器单元140可沿着移动单元120进行线性运动。在这种情况下，传感器单元140可连接到头驱动器或可连接到布置在移动单元120上的单独的驱动器。在这种情况下，因为传感器单元140的运动与头单元130的驱动协作，所以传感器单元140和头单元130可在相同的方向上并以相同的速度一起移动。在另一个实施方式中，传感器单元140连接到头单元130并且与头单元130一起移动。在另一个实施方式中，如上所述，头单元130连接到传感器单元140，并且当传感器单元140进行线性运动时，头单元130与传感器单元140一起进行线性运动。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中头单元130连接到传感器单元140并且头单元130和传感器单元140中的一个连接到移动单元120以可线性移动的情况。

在示例性实施方式中，传感器单元140发射激光la以在与液滴dr下落的方向(例如，图1的-z方向)垂直的方向上辐照液滴dr。在示例性实施方式中，传感器单元140包括传感器141和反射器142。

在示例性实施方式中，传感器141包括传感器主体部分141a和激光发射器141b。

传感器主体部分141a可向外部发射至少两束激光la。激光la的与行进方向垂直的截面可为特定直径或线形状的圆形。传感器主体部分141a可配置为发射在截面中多种不同直径的或具有多种不同线形状的激光la。在另一个实施方式中，传感器主体部分141a可向外部只发射在截面中具有一种线形状(或平面形状)的一束激光la。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中传感器主体部分141a向外部发射至少两束激光la的情况。

传感器主体部分141a可发射一束激光la，将该一束激光la分为多束激光la，并且将该多束激光la引导到激光发射器141b。另外，传感器主体部分141a可感测入射到传感器主体部分141a的激光la的量。例如，激光la从传感器主体部分141a发射，从液滴dr反射以产生反射波(例如，反射的激光)，并且然后该反射波入射到传感器主体部分141a。在示例性实施方式中，传感器主体部分141a包括激光源、扩展器、分束模块(例如，分束器)和多个激光传感器。激光源产生激光la。扩展器扩展激光la。例如，扩展器可增加第一平行输出光束(即，第一激光)的直径以产生较大直径的第二平行输出光束(即，第二激光)。分束模块将扩展的激光la分成(或分解)为多束激光la。多个激光传感器用于感测反射的激光la。在另一个实施方式中，传感器主体部分141a包括多个激光源、多个激光导轨和多个激光传感器，多个激光源各自产生一束激光la，多个激光导轨引导每个激光源，并且多个激光传感器感测反射的激光la。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中传感器主体部分141a包括多个激光源、多个激光导轨和多个激光传感器的情况。

在示例性实施方式中，激光发射器141b包括多个透镜。在这种情况下，多个透镜可彼此间隔开。每个透镜可连接到每个激光导轨并且可将一束激光la引导到外部。可从每个透镜发射一束激光la。另外，激光la或光可入射到每个透镜，激光la或光从液滴dr反射并且然后再次入射。

在示例性实施方式中，传感器141包括彩色共焦线传感器。在这种情况下，传感器141可作为多个传感器被提供并且该多个传感器可彼此连接。

反射器142可改变从激光发射器141b发射的激光la的路径。在这种情况下，反射器142可作为用于引导激光la的路径的一个或多个反射器被提供。在其中提供多个反射器142的实施方式中，反射器142可布置为分别对应于激光la。在其中提供多个反射器142的另一个实施方式中，一些反射器142可以以不同高度和不同位置布置以对应于一束激光la。另外，多个反射器142中的其他反射器142可布置为对应于另一束激光la。多个反射器142中的又一些反射器142可布置为对应于又一束激光la。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中反射器142同时折弯或反射多束激光la的情况。在示例性实施方式中，反射器142由镜子实施。

在示例性实施方式中，反射器142调节多束激光la的路径，使得多束激光la在与从头单元130排出的液滴dr下落的方向垂直的平面上前进。在这种情况下，由反射器142反射的多束激光la可在平行于台架110的顶表面的一个平面laa上方前进。

在其中由设备100制造显示装置的情况下，显示基板d布置在台架110上。在示例性实施方式中，用于制造显示装置的设备100包括室160，在室160中布置台架110、移动单元120、头单元130和传感器单元140。在这种情况下，室160可具有：具有敞开部分的形式。诸如闸阀的敞开/封闭结构可布置在室160的敞开部分上。

另外，用于制造显示装置的设备100可包括配置为调节室160的内部的压力的压力调节器170。在这种情况下，压力调节器170可包括管171和压力调节泵172，管171连接到室160，并且压力调节泵172布置在管171上。在这种情况下，可根据压力调节泵172的操作调节室160的内部的压力。例如，压力调节器170可用于减少或增加室160的内部的压力。

在其中显示基板d布置在台架110上的示例性实施方式中，压力调节器170使室160的内部的压力低于大气压力。例如，压力调节器170可保持室160的内部的压力接近或类似于真空。

在这种情况下，尽管未示出，但显示基板d可通过布置在室160的内部或外部的机器人臂从室160的外部移动到室160中。

在布置显示基板d后，可移动头单元130和移动单元120中的至少一个以将头单元130布置到提前设定的位置。然后，通过喷嘴131排出液滴dr。例如，可通过喷嘴131排出材料以使由材料制成的一个或多个液滴dr下落。液滴dr可下落以对应于显示基板d的像素限定层(未示出)的开口区域，并且形成中间层中的至少一个层。

在进行以上工艺期间，传感器单元140可测量下落的液滴dr的平面形状的一部分。具体地，传感器141可在与液滴dr的下落方向平行的方向上发射激光la。另外，反射器142可将多束激光la反射到与台架110的顶表面平行的一个平面laa。在示例性实施方式中，该一个平面laa与显示基板d的顶表面间隔开。

在其中如上所述多束激光la在与台架110的顶表面平行的一个平面laa上方彼此间隔开的情况下，液滴dr可穿过其上方布置有激光la的一个平面laa。在这种情况下，从传感器141发射的激光la可与在排出期间从喷嘴131排出的液滴dr的排出频率同步发射。例如，在其中从喷嘴131排出的液滴dr的排出频率为约2khz的情况下，传感器141可以以约2khz发射激光la。在示例性实施方式中，传感器141仅在液滴dr从喷嘴131排出时发射激光la。因为在液滴dr从喷嘴131排出之后需要花费时间液滴dr才能到达激光la的路径，所以从传感器141发射的激光la可在液滴dr从头单元130排出之后过去预定时间时从传感器141发射。例如，激光la的发射可被延迟预定时间，并且然后激光la的发射可正常继续进行。

由反射器142反射的激光la可与液滴dr碰撞并返回到传感器141。在这种情况下，传感器141可感测与液滴dr碰撞并且然后从那里被反射的激光la。例如，激光la与液滴dr的碰撞可使激光la的光反射回朝向传感器141，并且然后传感器141可基于接收的反射光(例如，感测的结果)感测已与液滴dr碰撞的激光la。

基于感测的结果可确定液滴dr的参数(例如，液滴dr的形状、液滴dr的平面中心等)。例如，设备100的控制器(传感器单元140的内部或外部)可计算参数。在确定一个或多个参数(例如，液滴dr的形状、液滴dr的平面中心等)之后，可根据所确定的参数(多个参数)控制是否移动移动单元120、是否移动头单元130、是否操作头单元130、是否改变从头单元130排出的液滴dr的尺寸、是否改变液滴dr的排出速度、是否改变头单元130的排出角度等。在示例性实施方式中，控制器基于一个或多个参数确定移动单元120或头单元130需要从其当前位置移动到新的且不同的位置，控制器向线性驱动器150提供控制信号，指令线性驱动器150将对应单元移动到新位置，并且然后线性驱动器150将对应单元移动到新位置。在示例性实施方式中，控制器基于一个或多个参数确定排出速度需要从其当前速度改变到新的且不同的速度，控制器向头单元130提供控制信号，指令头单元130将速度改变到新速度，并且然后头单元130开始以新速度排出材料。在示例性实施方式中，控制器基于一个或多个参数确定排出角度需要从当前角度改变到新的且不同的角度，控制器向头单元130提供控制信号，指令头单元130将角度改变到新角度，并且然后头单元130开始以新角度排出材料。

因此，用于制造显示装置的设备100可准确地排出液滴dr。另外，用于制造显示装置的设备100可测量液滴dr的各种信息并且使用所测量的信息实时控制液滴dr的输出以准确地排出液滴dr。

在下文中，根据本发明构思的示例性实施方式详细描述感测排出的液滴dr的方法。

图4是示出从图2中示出的激光发生器发射的激光la到达液滴dr的平面图。图5是示出由图1中示出的传感器单元感测的信号的图。图6是示出根据由图1中示出的传感器单元感测的信号而计算的液滴dr的中心的图。

参考图4至图6，传感器单元(未示出)向外部发射激光la，并且测量与液滴dr碰撞并且然后从液滴dr反射的激光la的强度以及激光la与液滴dr碰撞的距离l3。在这种情况下，激光la与液滴dr碰撞的距离l3可包括从工作距离l1的端部到液滴dr的距离，工作距离l1包括从传感器(未示出)发射的激光la的距离，这是不能测量的。在这种情况下，工作距离l1可包括穿过激光la的目标可被感测到的距离。从传感器发射的激光la可具有与工作距离l1隔开预定距离的距离以内的测量距离l2。例如，测量距离l2可包括距工作距离l1的端部约230μm以内的距离。距离l1、l2和l3可沿着与激光la相同的轴测量。

在示例性实施方式中，在液滴dr下落在测量距离l2以内的同时，激光la到达液滴dr并且然后由液滴dr反射，并且可再次入射到传感器单元。在示例性实施方式中，传感器单元在感测到由液滴dr反射的至少两束激光la时确定液滴dr已下落。

当如上所述感测到至少两束反射的激光la时，传感器单元可通过反射的激光la计算液滴dr的尺寸、液滴dr的形状和液滴dr的中心ce。例如，传感器单元可通过反射的激光la感测直到液滴dr的距离。传感器单元可根据从至少两束反射的激光la产生的信号确定液滴dr的圆周的一部分。在示例性实施方式中，传感器单元的控制器(例如，控制电路)通过每束反射的激光la计算从传感器单元到液滴dr的距离，并且然后确定与传感器单元间隔开所计算的距离的位置为每束激光la与液滴dr碰撞的点。另外，基于该结果，控制器可确定多束激光la与液滴dr的外表面碰撞的点，计算液滴dr的平面外表面的形状的部分圆周，并且基于部分圆周计算与液滴dr的平面外表面对应的虚拟圆形pc。图5中示出通过感测反射的激光la所获得的示例性信号。

在液滴dr下落的同时，其平面形状可包括圆形。在这种情况下，基于由传感器单元感测的结果所计算的虚拟圆形pc可被确定为液滴dr的平面形状。基于此，可计算液滴dr的平面形状的中心ce和液滴dr的尺寸。

可在每个头单元130和多个喷嘴131中的每一个处进行以上操作。然后，可基于多个头单元130中的一个做出确定(例如，平面形状、平面形状的中心ce或液滴dr的尺寸)。在这种情况下，用作参考的头单元130的位置可位于显示基板d的一个点上以对应于预定位置。

基于从用作参考的头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的位置，可计算从每个头单元130的多个喷嘴131中的一个排出的液滴dr的位置。基于该结果，相对于用作参考的一个头单元130可计算其余多个头单元130中的每一个的相对位移。例如，可计算从每个头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的位置。在这种情况下，通过与从每个头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的外表面碰撞且从那里反射的激光la，可计算每个头单元130和传感器单元之间的距离。另外，通过计算从每个头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的平面形状的中心ce，可计算与从用作参考的头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的平面形状的中心ce隔开的距离。在这种情况下，可以确定与用作参考的头单元130的位置对应的其余多个头单元130(或头)的位置。在示例性实施方式中，基于每个头单元130和传感器单元之间的距离计算在第一方向(例如，图1的y轴方向)上的头单元130的位置。另外，计算平行于激光la的前进方向且穿过从每个头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的平面形状的中心ce的任意直线与平行于激光la的前进方向且穿过从用作参考的头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的平面形状的中心ce的任意直线之间的距离。可计算与用作参考的头单元130在第二方向(例如，图1的x轴方向)上隔开的距离。在这种情况下，基于用作参考的头单元130的位置，可计算其余多个头单元130的相对位置。通过基于从用作参考的头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的平面形状的中心ce计算从另一个头单元130的喷嘴131排出的液滴dr的平面形状的中心ce的相对位置，可计算每个头单元130的位置。

然后，基于通过以上工艺计算的每个头单元130的位置，在向显示基板d排出液滴dr的工艺期间，可控制每个头单元130的位置。在示例性实施方式中，设定每个头单元130的初始位置，使得每个头单元130的喷嘴131对应于显示基板d的像素限定层(未示出)的开口。在这种情况下，每个头单元130可在它的预定位置向显示基板d供应液滴dr。

在示例性实施方式中，在用作参考的头单元130的至少一个喷嘴131匹配到显示基板d的像素限定层的开口区域之后，控制其他头单元130以对应于应该通过控制其他头单元130与用作参考的头单元130隔开的距离布置的位置。

以上工艺可在每个头单元130处单独地进行。在这种情况下，每个喷嘴131可通过根据由每个喷嘴131排出的液滴dr的相对位置精细地控制头单元130的位置，在准确位置处排出液滴dr。除以上情况之外，喷嘴131可布置为在头单元130中移动。在这种情况下，头单元130可包括旋转或线性移动每个喷嘴131的喷嘴驱动器。在这种情况下，基于从每个喷嘴131排出的液滴dr的相对位置，可控制每个喷嘴131的位置或从每个喷嘴131排出的液滴dr的排出方向。

基于以上信号，可针对一个头单元130连续测量所计算的液滴dr的平面形状的中心ce。该结果可被连续反馈且被存储。例如，传感器单元可包括用于存储结果的存储器。

可确定以上结果是否对应于提前设定的中心范围bd。例如，在一个头单元130的每个喷嘴131排出液滴dr多次之后，可确定在提前设定的中心范围bd中包括多少液滴dr的平面形状的中心ce。在示例性实施方式中，当确定大于预定数量的液滴dr的平面形状的中心ce布置在中心范围bd中时，保持头单元130的操作。相反，当确定小于预定数量的液滴dr的平面形状的中心ce布置在中心范围bd中时，可暂停头单元130的操作，可调节(例如，精细地调节)头单元130的位置，可调节从头单元130排出的液滴dr的排出速度，或可调节从头单元130排出的液滴dr的排出量。

在其中喷嘴131布置在一个头单元130上的情况下，在每个喷嘴131处可单独进行以上操作。在这种情况下，在多个喷嘴131中，其中发生问题的喷嘴131可被封闭以防止液滴dr从封闭的喷嘴131的排出。

传感器单元可测量从一个喷嘴131排出的液滴dr并且同时测量从各个喷嘴131排出的液滴dr。在其中传感器单元同时测量多个液滴dr的示例性实施方式中，多个传感器单元中的一些可被识别为一组，并且该组的传感器单元可感测一个液滴dr。

传感器单元可感测液滴dr下落处的显示基板d的位置。在这种情况下，传感器单元可发射激光la，使得激光la接近显示基板d的外表面。例如，传感器单元可发射激光la以在接近显示基板d的外表面的位置处入射。特别地，传感器单元可沿着与液滴dr通过下落形成在其上的显示基板d的外表面间隔开预定距离的平面发射激光la，并且传感器单元可感测穿过激光la的液滴dr的平面形状和平面形状的中心ce。

基于感测的结果，液滴dr下落在显示基板d上的点可基于将头单元130的喷嘴131的中心连接到由传感器单元感测的液滴dr的平面中心的任意(或假想)线和穿过头单元130的喷嘴131的中心且垂直于显示基板d的任意(或假想)线来计算。在这种情况下，在其中使激光la所穿过的平面接近显示基板d的外表面使得显示基板d与激光la所穿过的平面之间的距离非常小的实施方式中，可确定由传感器单元感测的液滴dr的平面形状的中心ce为液滴dr落在显示基板d上的点。

在另一个实施方式中，控制器计算将喷嘴131的中心连接到由传感器单元感测的液滴dr的平面形状的中心ce的向量(例如，或假想线)，并且确定该向量与显示基板d相遇的点为液滴dr下落在显示基板d上的点。

因此，用于制造显示装置的设备(未示出)可实时监测液滴dr的参数(例如，平面形状、平面中心等)。

图7是根据本发明构思的示例性实施方式的通过用于制造显示装置的设备制造的显示装置20的平面图。图8沿着图7的线c-c'截取的显示装置20的截面图。

参考图7和图8，在显示装置20中，可在基板21中限定显示区域da和非显示区域nda，非显示区域nda在显示区域da外部。例如，子像素px可布置在显示区域da中，并且电源线(未示出)可布置在非显示区域nda中。另外，焊盘区域pa可布置在非显示区域nda中。

显示装置20可包括显示基板d和密封构件(未示出)，密封构件布置在显示基板d上。在这种情况下，密封构件可包括密封部分和封装基板(未示出)，密封部分布置在显示基板d上，并且封装基板面向基板21。在另一个实施方式中，密封构件可包括配置为遮蔽显示基板d的至少一部分的薄膜封装层e。

如图8中所示，显示基板d可包括基板21、薄膜晶体管tft和有机发光二极管28，薄膜晶体管tft和有机发光二极管28布置在基板21上方。

基板21可包括玻璃或聚合物树脂。聚合物树脂可包括聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚芳酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯或乙酸丙酸纤维素。包括聚合物树脂的基板21可以是柔性的、可卷曲的或可弯曲的。基板21可具有包括包含聚合物树脂的层和无机层(未示出)的多层结构。

薄膜晶体管tft可形成在基板21上方。钝化层27可覆盖薄膜晶体管tft。有机发光二极管28可形成在钝化层27上。

缓冲层22进一步形成在基板21的顶表面上，缓冲层22包括有机化合物和/或无机化合物。缓冲层22可包括siox(x≥1)或sinx(x≥1)。

有源层23形成在缓冲层22上。有源层23可以以预定图案布置。然后，有源层23被栅绝缘层24掩埋。例如，栅绝缘层24可覆盖有源层23的部分。有源层23包括源区23a和漏区23c并且进一步包括源区23a和漏区23c之间的沟道区23b。

有源层23可包括各种材料。例如，有源层23可包括诸如非晶硅或晶体硅的无机半导体材料。在另一个实施方式中，有源层23可包括氧化物半导体。在另一个实施方式中，有源层23可包括有机半导体材料。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中有源层23包括非晶硅的情况。

有源层23可通过下述来产生：在缓冲层22上形成非晶硅层，将非晶硅层结晶成多晶硅层，并且图案化该多晶硅层。有源层23的源区23a和漏区23c可取决于诸如驱动薄膜晶体管(未示出)和开关薄膜晶体管(未示出)的薄膜晶体管tft的类型来掺杂杂质。

栅电极25和层间绝缘层26形成在栅绝缘层24的顶表面上，栅电极25对应于有源层23，并且层间绝缘层26掩埋栅电极25。例如，层间绝缘层26可覆盖栅电极25的部分。

另外，接触孔h1形成在层间绝缘层26和栅绝缘层24中。然后，源电极27a和漏电极27b形成在层间绝缘层26上以分别接触源区23a和漏区23c。

钝化层27形成在薄膜晶体管tft上。有机发光二极管28的像素电极28a形成在钝化层27上。像素电极28a通过形成在钝化层27中的通孔h2接触薄膜晶体管tft的源电极27a。钝化层27可包括包含无机材料和/或有机材料的单个层或至少两个层。钝化层27可形成为具有平坦顶表面的平坦化层，而不管其下方的层具有折弯的或弯曲的形状。相反，钝化层27可形成为沿着其下方的具有折弯的或弯曲的形状的层折弯或弯曲。在示例性实施方式中，钝化层27包括透明绝缘体以实现共振效应。

在像素电极28a形成在钝化层27上之后，形成像素限定层29以覆盖像素电极28a和钝化层27。像素限定层29包括有机材料和/或无机材料并且暴露像素电极28a。

另外，中间层28b和相对电极28c至少形成在像素电极28a上。在另一个实施方式中，相对电极28c可形成在显示基板d的整个表面上方。在这种情况下，相对电极28c可形成在中间层28b和像素限定层29上。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中相对电极28c形成在中间层28b和像素限定层29上的情况。

像素电极28a用作阳极电极，并且相对电极28c用作阴极电极。像素电极28a和相对电极28c的极性可相反。

像素电极28a通过中间层28b与相对电极28c绝缘。当将具有不同极性的电压施加到中间层28b时，在有机发射层中进行光发射。

中间层28b可包括有机发射层。在另一个实施方式中，中间层28b包括有机发射层并且可进一步包括空穴注入层、空穴传输层、电子传输层和电子注入层中的至少一个。然而，本公开的实施方式不限于此，并且中间层28b可包括有机发射层并且进一步包括各种其他功能层(未示出)。

中间层28b可设置为多个中间层28b。多个中间层28b可构成显示区域da。在这种情况下，多个中间层28b可在显示区域da内部彼此间隔开。

一个单位像素可包括多个子像素px。多个子像素px可分别发射具有各种颜色的多束光。例如，多个子像素px可包括分别发射红光、绿光和蓝光的子像素px，或包括分别发射红光、绿光、蓝光和白光的子像素px。每个子像素px可包括上述的像素电极28a、中间层28b和相对电极28c。

用于制造显示装置的设备100可在显示基板d上形成各种层。例如，用于制造显示装置的设备100可形成中间层28b中的至少一个层。例如，用于制造显示装置的设备100可形成有机发射层、空穴注入层、空穴传输层、电子传输层、电子注入层和功能层中的至少一个。

薄膜封装层e可包括多个无机层，或包括无机层和有机层。

薄膜封装层e的有机层可包括聚合物基类材料。聚合物基类材料可包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚乙烯磺酸酯、聚甲醛、聚芳酯、六甲基二硅氧烷、丙烯酸树脂(例如，聚甲基丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸等)或其任意组合。

薄膜封装层e的无机层可包括氧化铝、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锌、氧化硅、氮化硅和氧氮化硅中的至少一个无机绝缘材料。

暴露于外部的薄膜封装层e的最上层可包括无机层以防止有机发光二极管28的水分传输。

薄膜封装层e可包括至少一个其中至少一个有机层布置在至少两个无机层之间的夹层结构。在另一个实施方式中，薄膜封装层e可包括至少一个其中至少一个无机层布置在至少两个有机层之间的夹层结构。在另一个实施方式中，薄膜封装层e可包括其中至少一个有机层布置在至少两个无机层之间的夹层结构和其中至少一个无机层布置在至少两个有机层之间的夹层结构。

薄膜封装层e可从有机发光二极管28之上依次包括第一无机封装层、第一有机封装层和第二无机封装层。

在另一个实施方式中，薄膜封装层e可从有机发光二极管28之上依次包括第一无机封装层、第一有机封装层、第二无机封装层、第二有机封装层和第三无机封装层。

在另一个实施方式中，薄膜封装层e可从有机发光二极管28之上依次包括第一无机封装层、第一有机封装层、第二无机封装层、第二有机封装层、第三无机封装层、第三有机封装层和第四无机封装层。

可在有机发光二极管28和第一无机封装层之间另外地包括包含lif的卤化金属层。卤化金属层可防止有机发光二极管28在通过溅射法形成第一无机封装层的同时被损坏。

在示例性实施方式中，第一有机封装层的面积小于第二无机封装层的面积。在示例性实施方式中，第二有机封装层的面积小于第三无机封装层的面积。

在其中提供多个无机层的情况下，无机层可被沉积以在显示装置20的边缘区中直接彼此接触，并且有机封装层不被暴露于外部。

中间层28b中的至少一个层和薄膜封装层e的有机封装层中的至少一个可由根据本发明构思的示例性实施方式的设备100制造。在这种情况下，因为根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置20的设备100可以以精细图案向显示基板d供应液滴dr，所以可制造具有均匀质量的显示装置20。特别地，在其中中间层28b中的至少一个层由根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置20的设备100形成的情况下，因为中间层28b中的至少一个层以精细图案形成，所以显示装置20可显示精细图像。

图9是根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备200的透视图。图10是图9中示出的传感器单元240和液滴dr的透视图。

参考图9和图10，用于制造显示装置的设备200包括台架210、移动单元220、头单元230、传感器单元240、线性驱动器250、室260和压力调节器270。在这种情况下，因为台架210、移动单元220、头单元230、室260和压力调节器270与参考图1至图3描述的那些相同或类似，所以省略了其详细描述。

传感器单元240可布置在室260中或台架210上。在这种情况下，传感器单元240可布置在台架210的顶表面上。传感器单元240可固定到台架210。在另一个实施方式中，传感器单元240可布置在台架210上以与头单元230相同的方式移动来与头单元230的运动协作。在这种情况下，驱动器280可布置在台架210上，驱动器280允许传感器单元240进行线性运动。在这种情况下，驱动器280可与线性驱动器250相同或类似。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中传感器单元240使用驱动器280可移动地布置在台架210上的情况。

在这种情况下，从传感器单元240发射的多束激光la可布置在与台架210的顶表面平行的平面上方。即，传感器单元240可发射多束激光la，使得多束激光la与台架210的顶表面平行。

在其中传感器单元240相对于室260布置的情况下，传感器单元240可布置为穿过室260、布置为固定到室260的内部、布置为固定到室260的外部或布置为在室260的外部使得传感器单元240进行线性运动。特别地，在其中传感器单元240布置为穿过室260、布置为固定到室260的内部或布置为固定到室260的外部的情况下，传感器单元240可布置成一行并且可在头单元230的运动范围内感测从头单元230排出的液滴dr。另外，在其中传感器单元240布置为固定到室260的内部、布置为固定到室260的外部或布置为在室260的外部使得传感器单元240进行线性运动的情况下，室260可包括透射窗(例如，透明窗)以透射从传感器单元240发射的激光la。在下文中，为了方便描述，主要详细描述其中传感器单元240可移动地布置在台架210上的情况。在示例性实施方式中，传感器单元240在与移动单元220移动的方向或头单元230移动的方向垂直的方向上移动。

下面描述用于制造显示装置的设备200的操作。通过压力调节器270调节室260的内部的压力并且然后显示基板d可放置并固定在台架210上。

然后，头单元230可通过操作线性驱动器250和头驱动器(未示出)布置在预定位置上。头单元230可操作以向显示基板d供应液滴dr。

在这种情况下，传感器单元240可发射激光la以穿过液滴dr下落的路径。在这种情况下，激光la可与液滴dr碰撞，被液滴dr反射，并且再次入射到传感器单元240。传感器单元240可感测反射的和入射的激光la。

基于感测的结果可计算液滴dr的平面形状。结果的计算可在传感器单元240处进行或在单独提供的控制器处进行。例如，传感器单元240可向可位于室260的内部或外部的外控制器提供结果。传感器单元240可包括与图3的传感器主体部分141a相同或类似的传感器主体部分241a。例如，传感器主体部分241a可发射几束激光la。传感器单元240可通过排除反射器(例如，见图2的反射器142)而与图2的传感器单元140不同。

基于计算的结果，可计算液滴dr的平面形状的直径、中心等。然后，在其中液滴dr的平面形状的直径不同于预定直径的情况下，可控制从喷嘴231排出的液滴dr的量、液滴dr的速度等使得液滴dr的平面形状的直径变为预定直径。另外，确定所计算的液滴dr的平面形状的中心是否包括在提前设定的中心范围(未示出)中。当预定数量的中心布置在中心范围之外时，可暂停或调节相关头单元230的操作或相关喷嘴231的操作。

因此，用于制造显示装置的设备200，和制造显示装置的方法可实时监测液滴dr的一个或多个参数(例如，平面形状等)。

图11是根据本发明构思的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的传感器单元340的透视图。图12是图11中示出的传感器单元的侧视图。

参考图11和图12，用于制造显示装置的设备(未示出)可包括台架(未示出)、移动单元(未示出)、头单元(未示出)、传感器单元340、线性驱动器(未示出)、室(未示出)和压力调节器(未示出)。在这种情况下，台架、移动单元、头单元、传感器单元340、线性驱动器、室和压力调节器可与图9和图10中描述的那些相同或类似。

在示例性实施方式中，传感器单元340相对于显示基板d的表面或平面在偏斜方向上或以偏斜角度发射多束激光la。例如，从传感器单元340的发射多束激光la的部分可相对于图11的xy平面布置在偏斜方向上。在这种情况下，多束激光la可在不同的平面上前进。在示例性实施方式中，激光发射器341b可在zx平面上布置在偏斜方向上以使多束激光la在偏斜方向上发射。

在其中多束激光la布置在与台架平行的平面上的情况下，各束激光la可彼此间隔开并且因此可形成空间。然而，在其中传感器单元340如上所述布置的情况下，当在平面中观看时，多束激光la之间的间隔可比在图1至图3或图9和图10中示出的多束激光la之间的间隔更密集。

在这种情况下，在传感器单元340处感测液滴dr的方法可与上述的方法相同或类似。在其中多束激光la被发射以形成相对于台架的顶表面倾斜的平面的实施方式中，通过多束激光la测量的液滴dr的平面形状可总是包括圆形的一部分。特别地，如上所述，因为多束激光la在平面上是密集的，所以可更准确地测量液滴dr的外部。

通过图11的用于制造显示装置的设备制造显示装置(未示出)的方法与上述的方法相同或类似。

因此，用于制造显示装置的设备(未示出)和制造显示装置的方法可实时监测液滴dr的参数(例如，平面形状等)。

根据本公开的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备和制造显示装置的方法可在制造显示装置时精确地测量形成在至少一个层处的液滴dr。另外，根据本公开的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备和制造显示装置的方法可准确地测量排出液滴dr的喷嘴是否发生故障。根据本公开的示例性实施方式的用于制造显示装置的设备和制造显示装置的方法可实时监测在制造显示装置时使用的液滴dr的平面形状，并且重复获得液滴dr的信息。

尽管已参考图描述了本公开的一个或多个实施方式，但本领域普通技术人员将理解的是，在不背离本发明构思的精神和范围的情况下，可在其中做出形式和细节上的各种改变。