一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及一种除水雾装置，特别涉及一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置。


背景技术：

[0002]
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、gaas、inp、gan等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。
[0003]
1、现有的晶圆涂胶清洗后外表面存在的水雾需要人工进行擦除水雾，导致需要耗费大量的人力成本，且除水雾效率较低；2、现有的晶圆涂胶清洗后外表面存在的水雾去除速度严重过缓，导致严重影响了晶圆生产速度；为此，我们提出一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置，以解决上述背景技术中提到的问题。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型通过风机a运行可以将气流由进风管运输至连接管并随后进入置物槽内部，接着配合加热器运行可以将气流加热干燥从而达到可以将置物板上的晶圆外表面水雾除去的效果，同时通过温度传感器和摄像头运行可以及时对置物槽内部的晶圆进行实时监控，保障了晶圆除水雾的效率，结构简单且实用性较强，适合被广泛推广和使用。
[0005]
本实用新型提供的具体技术方案如下：
[0006]
本实用新型提供的一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置，包括箱体，所述箱体外表面开设有置物槽，且所述置物槽开口端外壁滑动连接有箱门，所述箱体右侧外壁衔接有风机a，且所述风机a右侧外壁固定连接有进风管的一端，所述进风管中间位置安装有过滤器，所述风机a外表面镶嵌有开关b，所述风机 a左侧外壁与连接管的一端固定连接，且所述连接管的另一端延伸至置物槽底面内壁，所述连接管中间位置安装有加热器，且所述加热器外表面镶嵌有开关 a，所述置物槽右侧内壁插接有排风管的一端，且所述排风管的另一端延伸至箱体右侧外壁，所述排风管中间位置安装有风机b。
[0007]
可选的，所述置物槽内侧壁衔接有置物板，且所述置物板的数目为三个，所述置物板上表面开设有通孔。
[0008]
可选的，所述置物板底面外壁插接有摄像头，所述连接管内侧壁固定连接有温度传感器，所述箱体左侧外壁镶嵌有摄像头显示器，且所述摄像头显示器上方位置安装有温度显示器。
[0009]
可选的，所述摄像头的信号输出端与摄像头显示器的信号输入端连接，所述温度传感器信号输出端与温度显示器的信号输入端连接。
[0010]
可选的，所述开关a的信号输出端与加热器的信号输入端连接，所述开关 b的信号输出端与风机a、风机b和过滤器的信号输入端连接。
[0011]
本实用新型的有益效果如下：
[0012]
1、本实用新型首先接通电源并打开开关b，由风机a运行可以将气流由进风管运输至连接管并随后进入置物槽内部，同时通过过滤器运行可以将空气内部的灰尘等有害物质去除，接着配合打开开关a，由加热器运行可以将气流加热干燥从而达到可以将置物板上的晶圆外表面水雾除去的效果，避免了需要人工将晶圆外表面的水雾擦除，与此同时通过通孔的开设以及风机b运行由排风管可以将置物槽内部的气流运输出箱体，保障了置物槽内部的气流流通效率，提高了除水雾的效率。
[0013]
2、本实用新型首先接通电源，接着通过温度传感器运行可以将加热器加热的气流温度信号传输至温度显示器进行显示，随后通过摄像头运行可以及时对置物槽内部的晶圆除水雾进行实时监控，保障了晶圆除水雾的效果，实现了可以及时将晶圆取出以及放入，提高了晶圆除水雾的速度。
附图说明
[0014]
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]
图1为本实用新型实施例的一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置的整体结构示意图；
[0016]
图2为本实用新型实施例的一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置的置物槽结构示意图；
[0017]
图3为本实用新型实施例的一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置的置物板结构示意图。
[0018]
图中：1、箱体；2、置物槽；3、箱门；4、加热器；5、开关a；6、风机a；7、进风管；8、过滤器；9、排风管；10、风机b；11、摄像头；12、置物板；13、连接管；14、温度传感器；15、摄像头显示器；16、温度显示器； 17、开关b；18、通孔。
具体实施方式
[0019]
为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0020]
下面将结合图1～图3对本实用新型实施例的一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置进行详细的说明。
[0021]
参考图1、图2和图3所示，本实用新型实施例提供的一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置，包括箱体1，所述箱体1外表面开设有置物槽2，且所述置物槽2开口端外壁滑动连接有箱门3，所述箱体1右侧外壁衔接有风机a6，且所述风机a6右侧外壁固定连接有进风管7的一端，所述进风管7中间位置安装有过滤器8，所述风机a6外表面镶嵌有开关b17，所述风机a6左侧外壁与连接管13的一端固定连接，且所述连接管13的另一端延伸至置物槽2底面内壁，所述连接管13中间位置安装有加热器4，且所述加热器4外表面镶嵌有开关a5，所述置物槽2
右侧内壁插接有排风管9的一端，且所述排风管9的另一端延伸至箱体1右侧外壁，所述排风管9中间位置安装有风机b10，通过风机a6运行可以将气流由进风管7运输至连接管13并随后进入置物槽2内部，同时通过过滤器8运行可以将空气内部的灰尘等有害物质去除，接着配合打开开关a5，由加热器4运行可以将气流加热干燥从而达到可以将置物板12上的晶圆外表面水雾除去的效果。
[0022]
参照图1和图3所示，所述置物槽2内侧壁衔接有置物板12，且所述置物板12的数目为三个，所述置物板12上表面开设有通孔18，通过通孔18的开设以及风机b10运行由排风管9可以将置物槽2内部的气流运输出箱体1，保障了置物槽2内部的气流流通效率。
[0023]
参照图2和图3所示，所述置物板12底面外壁插接有摄像头11，所述连接管13内侧壁固定连接有温度传感器14，所述箱体1左侧外壁镶嵌有摄像头显示器15，且所述摄像头显示器15上方位置安装有温度显示器16，通过温度传感器14运行可以将加热器4加热的气流温度信号传输至温度显示器16进行显示。
[0024]
参照图1和图2所示，所述摄像头11的信号输出端与摄像头显示器15的信号输入端连接，所述温度传感器14信号输出端与温度显示器16的信号输入端连接，通过摄像头11运行可以及时对置物槽2内部的晶圆除水雾进行实时监控，保障了晶圆除水雾的效果，实现了可以及时将晶圆取出以及放入。
[0025]
参照图1和图2所示，所述开关a5的信号输出端与加热器4的信号输入端连接，所述开关b17的信号输出端与风机a6、风机b10和过滤器8的信号输入端连接，通过操控开关a5和开关b17的开合从而可以分别独立操控加热器4、风机a6、风机b10和过滤器8电路的断通，操控便捷且安全性优异。
[0026]
本实用新型实施例提供一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置，使用时，首先接通电源并打开开关b17，由风机a6运行可以将气流由进风管7运输至连接管13并随后进入置物槽2内部，同时通过过滤器8运行可以将空气内部的灰尘等有害物质去除，接着配合打开开关a5，由加热器4运行可以将气流加热干燥从而达到可以将置物板12上的晶圆外表面水雾除去的效果，避免了需要人工将晶圆外表面的水雾擦除，与此同时通过通孔18的开设以及风机b10运行由排风管9可以将置物槽2内部的气流运输出箱体1，随后通过温度传感器 14运行可以将加热器4加热的气流温度信号传输至温度显示器16中进行显示，然后通过摄像头11运行可以及时对置物槽2内部的晶圆除水雾进行实时监控，保障了晶圆除水雾的效果，实现了可以及时将晶圆取出以及放入，提高了晶圆除水雾的速度以及效率。
[0027]
需要说明的是，本实用新型为一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置，包括图中箱体1、置物槽2、箱门3、加热器4、开关a5、风机a6、进风管7、过滤器8、排风管9、风机b10、摄像头11、置物板12、连接管13、温度传感器 14、摄像头显示器15、温度显示器16、开关b17、通孔18。所述风机a6的具体型号可选用rs1238型风机，所述加热器4的具体型号可选用ptc型空气加热器，所述过滤器8的具体型号可选用hach2412型空气过滤器，所述温度传感器14具体型号为mik-st500温度传感器，所述摄像头11的具体型号可选用dyk 33gx250型摄像头。部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0028]
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样，倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本
实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。